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评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置.

溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体

在微波等离子体化学气相沉积系统中,利用脉冲氮离子束溅射二氰二氨靶产生的碳氮粒子作为合成前驱物,在石英玻璃基片上研究了SiCN晶体的合成.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDX)、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)研究了基片温度对薄膜的形貌、成分和结构的影响.结果表明:随着基片温度的降低,沉积物由截面为六方形的结晶良好的SiCN晶体(800℃)变成发育不完全的聚片状晶体(700℃),直到变成颗粒细小的无定形碳氮薄膜(550℃).衍射峰的强度以及晶胞参数a和c的值随温度的降低而减小.薄膜为C原子部分取代Si_3N_4中的Si原子位置而形成的SiCN晶体,其中N原子主要与Si原子结合,C原子以sp~3C-N、sp~2C=N和sp~2C=C键的形式存在.降低基片温度有利于提高薄膜中的C含量和sp~3C-N键的含量.

关键词: SiCN晶体 , 微波等离子体 , 溅射 , 二氰二氨

环保无磷型脱脂剂

韩琳 , 万军

电镀与涂饰

开发了一种金属材料涂装前处理用环保无磷型脱脂剂.研究了不同组分和工艺条件对脱脂剂除油率的影响,得到脱脂剂的最佳组成和工艺条件为:碳酸钠5 g/L,五水偏硅酸钠5 g/L,葡萄糖酸钠4 g/L,4A沸石5g/L,亚硝酸钠l g/L,聚氧乙烯型非离子表面活性剂4 g/L,温度40 ～ 50℃,时间3～5 min.该脱脂剂具有优良的低泡性能,HLB为14.3,浊点为62℃.

关键词: 无磷脱脂剂 , 环保 , 低温 , 配方

脉冲电弧放电电离甲醇/氨水溶液合成结晶氮化碳薄膜

马志斌 , 万军 , 黄杨风 , 汪建华

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2004.02.002

利用脉冲电弧放电在大气压下产生的高密度等离子体研究了结晶氮化碳薄膜的低温合成.直流脉冲电弧等离子体由甲醇/氨水溶液液滴通过高压电极时诱导放电产生.利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman光谱分析了薄膜样品的形貌和结构.在基片温度为450 ℃时所制样品的X射线衍射分析表明薄膜中含有α-C3N4和β-C3N4两种结构晶体,Raman光谱给出了明显的特征峰,这些特征峰与氮化碳晶体的理论预言值符合较好.当基片温度提高到550 ℃时,Raman光谱分析表明,样品为炭膜.

关键词: 氮化碳薄膜 , 脉冲电弧放电 , 甲醇/氨水溶液

回转窑煅烧硅铝质耐火原料产生的废料的均化利用

万军

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2006.05.029

关键词:

PEALD原位掺杂制备纳米TiO2-xNx光催化剂

饶志鹏 , 万军 , 冯嘉恒 , 李超波 , 夏洋

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12490

采用等离子体增强型原子层沉积(PEALD)系统原位掺杂制备了TiO2-xNx光催化剂.利用光电子能谱(XPS)、高分辨率透射电镜(HRTEM)、光致发光(PL)光谱和紫外-可见光(UV-Vis)光谱对催化剂进行了表征,并研究了TiO2-xNx纳米薄膜在可见光照射下水接触角的变化和催化降解亚甲基橙(MO)溶液的性能.结果表明,等离子体功率变化可以改变掺入氮原子的结构,在功率为50W时主要形成替换式氮原子,含量约为1.22at％,晶体为锐钛矿(101)型.结构无明显缺陷,且掺杂后TiO2-xNx薄膜光生电子-空穴对复合率低,有利于光催化效率的提高.该方法解决了传统ALD工艺制备TiO2-xNx光催化剂时容易形成氧空位的问题,实现了TiO2-xNx纳米材料的可见光(λ＜800 nm)吸收和可见光光催化性能.

关键词: 等离子体增强原子层沉积 , 原位 , TiO2-xNx , 光催化剂

氮化铝/聚合物复合导热塑料研究进展

王媛 , 万军 , 乔旭升 , 樊先平

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.06.031

导热塑料由于具有质轻、耐化学腐蚀、易加工成型、力学性能优异等性能而成为了人们研究的热点.本文分析了氮化铝复合材料的导热机理,综述了氮化铝/聚合物型导热塑料的研究进展,并详细阐述了填料(粒径、用量、表面处理、复配)和复合工艺等对导热塑料导热、绝缘和力学性能的影响.最后,对导热塑料今后的研究方向进行了展望.

关键词: 导热塑料 , 氮化铝 , 填充 , 热导率