赵晓锋
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温殿忠
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王天琦
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丁玉洁
功能材料
以高纯SiH4为气源,采用低压化学气相沉积方法在p型〈100〉晶向单晶硅上620℃制备纳米多晶硅薄膜,对不同薄膜厚度纳米多晶硅薄膜分别在700、800、900℃进行高温真空退火,通过X射线衍射(XRD)、Raman光谱(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究薄膜厚度、退火温度对薄膜结晶取向、表面形貌等结构特性影响.结果表明,随薄膜厚度增加,薄膜取向显著且多晶特征明显,沉积薄膜多晶取向为〈111〉、〈220〉和〈311〉晶向,择优取向为〈111〉晶向,TO模强度减弱且加宽,晶粒大小增加;同一薄膜厚度,随真空退火温度升高,X射线衍射峰强度增强,TO模强度增强.
关键词:
纳米多晶硅薄膜
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结构特性
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LPCVD
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退火
丁玉洁
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高建纲
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董文魁
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2007.03.013
在丙酮介质中,稀土苦味酸盐能与邻苯二胺双缩香草醛(L)形成稳定的黄色固体配合物,经元素分析、红外光谱、紫外光谱、差热-热重分析、核磁共振氢谱及摩尔电导等分析表征,确定配合物的可能结构式为[REL(Pic)(H2O)2](Pic)2·nCH3COCH3(RE=La、Ce、Pr、Nd,n=2;RE=Sm、Eu,n=3;Pic-=(NO2)3C6H2O-),其中心稀土离子的配位数为6.
关键词:
稀土
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Schiff碱
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配合物
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合成
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表征
