ZHU Liya
,
ZHOU Yu
,
TAN Yanshan
,
LIU Wen
,
LI Yong
,
HAN Shouli
,
TAN Wenjin
,
HE Xiaotan
,
WU Xilong
,
XIE Hongchao
,
CHEN Liangwei
贵金属
关键词:
高亮
,
杨建广
,
陈胜龙
,
杨济豪
,
吴玉山
材料导报
TaN薄膜是一种重要的高新技术材料,主要介绍了物理气相沉积法(PVD)、金属有机化学气相沉积法(MOCVD)和原子层沉积法(ALD)制备TaN薄膜的工艺技术,评述了它们各自的优...
关键词:
PVD
,
MOCVD
,
ALD
,
TaN薄膜
,
前驱体
蒋洪川
,
向阳
,
王超杰
,
莫绍毅
,
雷云
,
张万里
材料导报
采用直流磁控溅射制备TaN薄膜,研究了热处理对TaN薄膜微结构及电性能的影响.结果表明,退火温度及退火时间都将影响薄膜的微结构及方阻.随退火温度的升高和时间的延长,
关键词:
TaN薄膜
,
退火
,
微结构
,
方阻