唐心亮
,
刘玉岭
,
王辰伟
,
牛新环
,
高宝红
功能材料
Cu的双大马士革工艺加上化学机械平坦化（CMP）技术是目前制备Cu布线行之有效的方法。CuCMP制程中，抛光液起着至关重要的作用，针对目前国际主流酸性抛光液存在的问题和Cu及其氧化物与氢氧化物不溶于水的难题，研发了多羟多胺碱性Cu布线抛光液，研究了此抛光液随压力、转速及流量变化的特性，同时也研究了其对布线片的平坦化能力。结果表明，抛光液对Cu的去除速率随压力的增大而显著增大，随转速及流量的增加，Cu的去除速率增大缓慢。显著性依次为压力》转速〉流量。通过对Cu布线抛光实验表明，此抛光液能够实现多种尺寸Cu线条的平坦化。说明研发的碱性抛光液能够实现Cu布线抛光后产物可溶，且不含抑制剂等，能够实现布线片的平坦化。
关键词:
Cu布线化学机械平坦化
,
碱性
,
速率
,
高低差
黄妍妍
,
高宝红
,
张海涛
,
康军广
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142906.1024
LCD 液晶屏是对表面洁净度有严格要求的部件，基于数字图像处理的残留液晶识别方法能够定量、客观地评价表面的洁净度。针对复杂背景图像中残留液晶难以准确识别的问题，本文提出并实现了有效的图像处理流程和算法，包括分割、边缘连接、图像填充、去除多余边界以及噪声等操作。提出了一种边缘连接算子，在对图像进行分割后，将不连续的图像边界连接为闭合，为图像填充奠定基础。提出并实现了一个基于二叉分类方法的模式分类器，用于对污染物几何形状进行自动识别。实验表明，针对单一背景残留液晶的识别与分析方法能够精确获得残留液晶边缘，并且控制了噪声的干扰；针对复杂背景残留液晶识别与分析方法能够对背景存在明显差异的特定类型图像进行准确的处理。
关键词:
图像处理
,
污染物识别
,
模式识别
,
液晶屏
邓海文
,
檀柏梅
,
张燕
,
高宝红
,
王辰伟
,
顾张冰
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.06.038
在化学机械抛光(CMP)过程中,加入苯并三氮唑(BTA)抑制 Cu 界面和布线条的腐蚀.但同时,会与Cu发生化学反应生成的Cu-BTA钝化膜是CMP后主要的清洗对象之一.采用FA/OⅡ型螯合剂作为清洗液的主要成分,采用接触角测试仪及原子力显微镜来表征BTA的去除效果.通过改变 FA/OⅡ型螯合剂的浓度完成一系列对比实验,确定最佳的清洗效果.通过对比实验得知,当清洗液中螯合剂的浓度为1．50×10－4~200×10－4时,此时清洗液的pH 值＞10,能有效去除Cu-BTA 钝化膜以及其它残留的有机物,接触角下降到29°,表面的粗糙度较低.
关键词:
CMP后清洗
,
FA/OⅡ螯合剂
,
Cu-BTA钝化膜
,
接触角
,
粗糙度
夏海平
,
章践立
,
王金浩
,
茅森
材料导报
研制了折射率nD达1.65左右高含钡的BaO-SiO2-B2O3-ZnO系统的金红与硒红玻璃.从大量的熔制试验中,获得合适配方与无分相的透明玻璃.对原始玻璃进行合适的热处理,获得一定尺寸的Au与Cd(S,Se)颗粒,显示出红颜色,同时,对显色玻璃的透过光谱作了较详细的研究,发现玻璃组分中,BaO及TiO2的引入,不仅有效地提高了玻璃的折射率,还使得硒红玻璃的吸收边蓝移.同时发现,随着热处理时间的增加,硒红玻璃的吸收边明显红移;而金红玻璃未有明显的位移现象.
关键词:
高折射率
,
红玻璃
,
吸收光谱
侯能邦
,
李祖碧
,
李崇宁
,
王加林
,
曹秋娥
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2002.05.006
利用铱催化高碘酸钾氧化丽春红G(PG)的褪色反应,建立了测定痕量铱的催化动力学光度法.在硫酸介质和90℃加热15min的条件下,于500nm波长处,采用固定时间法测定丽春红G吸收值的降低.Ir(Ⅳ)的浓度在0～1.0μg/25mL范围内与催化反应的速率有良好的线性关系,检出限为1 81 ×10 mg/mL.对0.3μg/25mLIr(Ⅳ)测定的相对标准偏差为1.61%(n=11).体系至少稳定3.5h.考察了40多种共存离子的影响,大多数常见离子不干扰,方法有较好的选择性.催化反应对Ir(Ⅳ)和丽春红G均为一级反应,催化反应的表观活化能为103.66kJ/mol.用于冶金产品及岩矿中铱的测定,结果与推荐值十分吻合.
关键词:
铱
,
丽春红G
,
高碘酸钾
,
催化光度法
侯能帮
,
李祖碧
,
曹秋娥
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2002.04.009
在硫酸和热水浴中,Rh(Ⅲ)催化高碘酸钾氧化偶氮胭脂红B(A2B)褪色,由此建立了测定铑的新催化光度法.测定铑的线性范围为0～1.1μg/25mL,检出限为4.08×10-9g/mL.对1.0μgRh(Ⅲ)/25mL测定的相对标准偏差为2.20%(n＝11).催化反应的表观活化能为100.38kJ/mol.考察了40多种共存离子的影响,Os(Ⅳ),Ru(Ⅲ)和Ir(Ⅳ)干扰,其它贵金属、有色金属和铁不干扰.此法已用于某些催化剂和冶金产品中痕量铑的测定,结果满意.
关键词:
铑
,
偶氮胭脂红B
,
高碘酸钾
,
催化光度法
徐勇
,
李楠
,
韩兵强
,
彭云涛
,
黄刚
耐火材料
doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2008.04.003
以莫来石M40(3～1mm、≤1 mm和≤0.088 mm)和红柱石(1～0.5 mm、≤1 mm和≤0.074 mm)为原料,固定骨料和基质质量分数分别为70%和30%,调整红柱石的加入量(≤0.088 mm的加入量分别为0、5%、10%、15%、20%)和粒度(3种粒度分别添加10%),外加5%的硅溶胶结合剂,经混合、成型和烘干后,于1 200～1 600℃的空气气氛中保温3 h煅烧,测定烧后试样的线变化率、显气孔率、体积密度、耐压强度、荷重软化温度和抗热震性,并用SEM观察热震前后试样的显微结构.结果表明:(1)在相同煅烧温度下,随红柱石粉(≤0.088 mm)含量的增加,试样的线收缩率减小,显气孔率增大,体积密度下降或基本保持不变,耐压强度总体上逐渐增大;(2)在红柱石粉添加量相同的情况下,随煅烧温度的提高,试样线收缩率增大,显气孔率下降,体积密度增大,耐压强度升高;(3)加入不同粒度的红柱石均有利于提高材料的荷重软化温度,且采用1～0.5 mm的红柱石和提高烧成温度更加有效;加入不同粒度红柱石的试样,抗热震性均不是很好,其中以加入≤1 mm红柱石的试样抗热震性最好,加入1～0.5 mm的次之,加入≤0.074 mm的最差.
关键词:
红柱石
,
莫来石
,
高硅氧玻璃
,
荷重软化温度
,
抗热震性
崔占斌
,
王倩
,
崔占辉
,
范磊
,
王青峰
,
高聿为
钢铁研究
doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0963.20140015
利用Gleeble热力学模拟机、扫描电镜、透射电镜、着色腐蚀金相等方法研究了控冷返红温度对TMCP交货态低屈强比(不大于0.80)Q460GJE高建钢组织和力学性能的影响.结果表明:随着返红温度的升高,一方面,粒状贝氏体数量减少,针状铁素体数量增加,晶粒显著粗化,屈服强度降低;另一方面,硬相M-A岛的数量增多、尺寸增大,抗拉强度略有上升,屈强比和冲击功(-40℃)降低.拉伸和冲击性能均满足低屈强比Q460GJE钢要求的返红温度范围是590～620℃.
关键词:
Q460GJE高建钢
,
中温转变组织
,
M-A岛
,
力学性能
谢朝晖
,
叶国田
,
张艳利
,
黄亚冬
,
王春生
耐火材料
doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2011.01.010
以山西特级矾土熟料为主要原料制备高铝质低水泥浇注料,研究了分别用质量分数为0、3%、5%、7%的林州天然硅线石-红柱石复合矿粉等量替代矾土熟料粉对浇注料基质物相和浇注料性能的影响.结果表明:将硅线石-红柱石复合矿粉加入到高铝质低水泥浇注料中,明显改善了浇注料的物理性能,提高了材料的烧后冷态强度和高温强度,改善了浇注料的抗热震性能,而且适量加入还明显提高了材料的荷重软化温度.综合各项性能认为,加入硅线石-红柱石复合矿粉的质量分数以5%为佳.
关键词:
硅线石-红柱石复合矿粉
,
高铝浇注料
,
莫来石
,
高温强度
,
抗热震性
,
荷重软化温度
