顾锦华
,
汪浩
,
兰椿
,
钟志有
,
孙奉娄
,
杨春勇
,
侯金
人工晶体学报
以不同钛掺杂含量的氧化锌陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上沉积了Ti掺ZnO(TZO)透明导电薄膜,通过XRD、XPS、分光光度计和霍尔效应测试系统,研究了钛掺杂含量对TZO薄膜微观结构和光电特性的影响.结果表明:所有TZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且具有(002)择优取向,钛掺杂含量对薄膜性能具有明显的影响.当钛掺杂含量为3wt％时,TZO薄膜的结晶质量最好、可见光平均透过率最高、电阻率最低、品质因数最大(748.15 S/cm),具有最佳的光电综合性能.TZO薄膜的光学带隙随钛掺杂含量增加而单调增大.
关键词:
磁控溅射
,
ZnO∶Ti
,
透明导电薄膜
钟志有
,
张腾
,
顾锦华
,
孙奉娄
人工晶体学报
采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺锡氧化铟(ITO)透明导电薄膜,通过XRD、XPS、四探针仪和分光光度计等测试方法,研究了沉积速率对ITO薄膜微观结构和光电性能的影响.实验结果表明:ITO样品为具有(222)择优取向的立方锰铁矿结构,其晶体结构和光电性能明显受到沉积速率的影响.当沉积速率为4 nm/min时,所制备的ITO薄膜具有最大的晶粒尺寸(32.5 nm)、最低的电阻率(1.1×10-3Ω·cm)、最高的可见光区平均透过率(86.4％)和最大的优良指数(7.9×102 S·cm-1),其光电综合性能最佳.同时采用Tauc法则计算了ITO薄膜的光学能隙,结果显示沉积速率增大时,ITO薄膜的光学能隙单调减小.
关键词:
透明导电薄膜
,
掺锡氧化铟
,
晶体结构
,
光电学性能
钟志有
,
顾锦华
人工晶体学报
以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貌、力学和光电性能的影响.结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～ 400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2S,具有良好的光电综合性能.同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系.
关键词:
掺铝氧化锌薄膜
,
磁控溅射
,
微观结构
,
光电性能
钟志有
,
顾锦华
,
孙奉娄
,
杨春勇
,
侯金
人工晶体学报
采用射频磁控溅射方法在玻璃基片上制备了镓掺杂氧化锌(Ga∶ ZnO)透明导电薄膜,通过XRD、XPS、四探针仪和分光光度计等表征技术,研究了衬底温度对Ga∶ ZnO薄膜结构、组分、光学和电学性质的影响.结果表明:所有样品均为具有(002)择优取向的高质量透明导电薄膜,其晶体结构和光电性能与衬底温度密切相关.当衬底温度为673 K时,所制备的Ga∶ ZnO薄膜具有最大的晶粒尺寸(72.6 nm)、最低的电阻率(1.3×10-3Ω·cm)、较高的可见∶ZnO薄膜的光学能隙,结果显示随着衬底温度的升高,薄膜的光学能隙单调增加.
关键词:
氧化锌薄膜
,
磁控溅射
,
光电性能
陈创天
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.01.004
本文讨论了近10年来我们研究组在探索紫外、深紫外非线性光学晶体方面的经历。这些经历中有成功的一面，也有不成功的一面。成功的一面包括KBBF晶体的发现及最短倍频波的输出(184.7nm)，以及最近使用的一种特殊的器件设计，使KBBF晶体能够产生有效的深紫外谐波光输出；KABO晶体的发现及厘米级晶体的获得，有可能使此晶体在Nd∶YAG激光的4、5倍频器件中得到应用。而我们没有想到的是线性和非线性光学性能均很优秀的SBBO晶体，却发现结构的完整性有问题，目前还不能得到实际的应用，在今后仍需花很大的精力去研究它。最后，我们虽然已花了10年时间，但深紫外非线性光学晶体仍旧没有得到理想的解决，还需我们继续努力。由此可见，一个科学问题的认真解决，是需要花非常长的时间。本文希望把我们研究组的近10年来的经验写出来，供大家参考，以求共勉。
关键词:
非线性光学晶体
,
紫外
,
深紫外
,
结构性能关系
,
KBBF
,
KABO
赵忠文
钢铁
回顾了济钢球团竖炉的发展及其主要设备的技术改造,介绍了不同发展时期的主要做法和经验.
关键词:
竖炉球团
,
发展
,
回顾
孟广耀
,
陈初升
,
刘卫
,
刘杏芹
,
彭定坤
膜科学与技术
doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2011.03.014
值庆贺《膜科学与技术》杂志创刊三秩之年,陶瓷分离膜技术从核燃料浓缩分离转而民生应用至今也走过了大约30个春秋.现借机简要回顾其三个十年的历史性发展,阅历现状、展望未来,以期对促进无机膜在新工业革命中发挥关键创新作用有所助益.
关键词:
陶瓷膜
,
膜技术
,
水处理
,
新能源
王铀
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.09.001
概述了热喷涂纳米涂层的发展,包括通过纳米粉体的再造粒技术形成热喷涂纳米结构涂层的过程,热喷涂纳米结构氧化铝/氧化钛耐磨抗蚀涂层材料的研发、产业化与成功应用,偶然获得热喷涂纳米自润滑涂层的过程,液料热喷涂纳米热障涂层的研发,新型热喷涂纳米热障涂层材料等.展望了热喷涂纳米涂层技术在国防和民用领域的应用前景,预计到2025年,全球热喷涂纳米涂层市场会达到65亿美元,其中20％左右的市场份额在中国.最后,指出通过对纳米粉体进行再造粒,在纳微观尺度上调控可喷涂粉体喂料的成分和组织结构,能够获得各种所需性能的纳米结构热喷涂涂层,可以用纳米材料制备出常规材料无法获得的全新高性能热喷涂纳米涂层,以满足各种高端装备关键构件的各种表面性能需求.所以,要通过政产学研用合作创新,加快纳米结构可喷涂粉体喂料产业化,发展高性能的热喷涂纳米涂层.
关键词:
热喷涂
,
纳米粉体
,
再造粒过程
,
纳米涂层
