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一种实用的 PECVD 腔体检漏工具设计方法

周梁 , , 孙泉钦 , 王丹名 , 李华 , 陈垚

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153005.0813

在 TFT-LCD 行业,PECVD 设备主要用于 Array TFT 基板工艺中的气相沉积;产生的非金属膜层,为金属电路提供保护、开关作用;在 PECVD 工艺制程中,腔体设计复杂,反应条件苛刻,产生的制程物会造成产品不良,故需要定期进行 PM(pre maintenance 预防性维护)。本文以 PECVD PM 作业为背景,针对设备 PM 耗时长的问题,制定了改善方法,并着重介绍了腔体检漏工具的设计过程。设计制作了一台国产化检漏工具,成功运用于量产。通过测试,检漏工具3 min 内达到10 mT(1 mT=0.133 Pa),漏率为0.45 mT/min,基本符合设备 Spec.(标准)要求。

关键词: TFT-LCD , PECVD , 腔体检漏工具 , 自主设计

基于阻尼特性的淀粉流变相接枝改性

王建坤 , , 吕海荣

材料研究学报

对淀粉进行了流变相接枝改性,测定织造区域内经纱表面浆膜温度,分析了PVA共混浆膜及原淀粉共混浆膜的动态力学行为.结果表明:在经纱表面浆膜的温度28.3-35.1℃范围内PVA共混浆膜的阻尼特性优于原淀粉共混浆膜,其储能模量(400-450 MPa)和耗能模量(25-30 MPa)均远大于原淀粉共混浆膜的储能模量(<50 MPa)和耗能模量(<5 MPa);经流变相接枝改性后,接枝淀粉的储能模量和耗能模量分别达到500-520 MPa和35-40 MPa,分别提高了900%和600%.流变相接枝改性改善了原淀粉共混浆膜的阻尼特性,解决了浆膜脆、硬、落浆落物等问题.

关键词: 高分子材料 , 纺织浆料 , 流变相接枝 , 阻尼特性

孔水凝胶的研究现状

丛巍巍 , 肖玲 , 王科 , 于雪艳 , 陈正涛 , 张华庆 , 吕钊

材料导报

综合阐述了国内外三代孔水凝胶的发展状况,指出孔结构提高了水凝胶的吸水速率以及吸水倍率,为满足工业、农业、医药以及工程材料等各个领域的应用需求,相关研究主要致力于改善其力学性能以及溶胀行为.同时论述了孔水凝胶的制备方法,主要包括发泡法、致孔法、冷冻干燥法、相分离法以及前线聚合法等,重点阐述了发泡法和致孔法合成大孔水凝胶.

关键词: 水凝胶 , 孔结构 , 吸水速率

腹圆蛛丝的形态结构

潘志娟 , 张长胜 , 李春萍 , 刘敏 , 盛家镛

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.04.015

利用扫描电子显微镜分析了成熟雌性腹圆蛛牵引丝、内外层包卵丝和蛛网框丝以及未成熟腹圆蛛、幼蛛、Nephlia幼蛛牵引丝的形态结构特征.研究了离子刻蚀后不同成熟度蜘蛛牵引丝的形态特征,表明蜘蛛的成熟程度与其结构间存在着密切的关系.运用计算机图象处理技术对各试样的几何形态尺寸和外层包卵丝纳米级孔隙分布进行了定量测定.

关键词: 腹圆蛛 , 牵引丝 , 包卵丝 , 蛛网框丝 , 形态结构

丝束碳纤维薄层化技术

罗云烽 , 孙永春 , 段跃新 , 肇研

复合材料学报

采用机械式多辊系统薄层化技术,分析研究了丝束碳纤维在不同形状辊子组合上的受力状态和可能的纤维运动状态,以及不同形状辊子组合对纤维损伤、薄层化后纤维分布状态的影响,在此基础上确定采用等径异型辊组合作为薄层化装置的核心部件,研究了采用3种不同曲率的等径异型辊时,不同纤维张力对丝束碳纤维薄层化效果的影响.最终确定了该套薄层化装置达到最佳薄层化效果的等径异型辊的曲率半径应为330 mm,所施加的纤维张力应为46.6 N.

关键词: 丝束碳纤维 , 薄层化 , 薄层化技术 , 异型辊 , 等径异型辊

风电场的涡数值模拟

吴兵恒 , 宋梦譞 , 陈凯 , 张兴

工程热物理学报

本研究小组开发了一个应用于风电场微观选址的涡数值模拟程序,本文介绍了利用该程序分别模拟气流通过方柱、半圆柱和半球等障碍物的流场,并通过比较一段时间内非稳态流场的模拟平均值与实验测量结果,检验了程序的准确性和精确度,同时对模拟结果和实验结果进行了误差分析。

关键词: 风电场微观选址 , 湍流 , 涡模拟

厚板尾部压下法的应用

胡贤磊 , 曾庆亮 , 丁敬国

钢铁 doi:10.13228/j.boyuan.issn0449-749x.20140299

提高厚规格板材的道次变形量对改善厚规格板材的性能具有重要意义。分析轧制扭矩在道次轧制中的变化特点,可知头部咬入阶段的峰值扭矩是制约道次压下量的关键因素。结合轧制过程的稳态轧制扭矩的变化规律,提出尾部压下法,即在正向道次的尾部阶段增大压下量,将板材尾部轧制成楔形或阶梯形,反向道次轧制时,由于头部厚度薄,对扭矩冲击小,可适当增加道次压下量,从而增大整个道次压下量。通过推导轧制扭矩和压下量的关系式,分析了道次压下量的放大范围。该方法能在不改动轧机设备的前提下提高厚规格板材的芯部变形能力。

关键词: 扭振 , 轧制扭矩 , 中厚板 , 压下量

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