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MEMS加工中对准误差的在线提取结构

钱晓霞 , 李伟华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.025

对准误差是MEMS表面加工工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义.目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长.主要对MEMS表面加工工艺中导电层和非导电层之间的对准误差测试结构进行了研究,可用于测量表面工艺中牺牲层和多晶硅层之间的对准误差.通过对集成电路中所用的锥形梳状游标结构进行改进,把对准误差的测量转化为电阻的测量,从而实现对准误差的快速电测量,理论上可达到0.1μm的分辨率,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成.

关键词: 对准误差 , 表面加工 , 电测量

"夹锡钱"疑案何时解?

黄维

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2005.02.022

本文在前人研究宋代"夹锡钱"成果的基础上,对124枚宋代铁钱进行了检测,发现铁钱中存在高锡相.这些含锡铁钱的发现,可能就是"夹锡钱"问题的物证.

关键词: 夹锡钱

济阳拗陷临南-钱官屯地区烃类微渗漏特征及异常成因

杨俊 , 沈忠民 , 王国建 , 程同锦

中国材料进展 doi:10.3969/j.issn.1671-9727.2015.06.09

探讨济阳拗陷临南—钱官屯地区化探异常成因机制。通过对临南—钱官屯地区不同构造单元油井和干井中酸解烃特征和微渗漏方式的研究，结合石油地质条件，从油气成藏的角度分析烃类运移、聚集及其微渗漏散失的全过程。结果表明研究区北部地层中以扩散为主，南部以渗透为主或者不存在微渗漏效应，揭示渗漏源和盖层条件是烃类微渗漏的主控因素。临南—钱官屯地区近地表化探异常模式为“渗漏源影响下的断控异常模式”，钱斜14井以北盖层条件和渗漏源条件都最优越，是研究区内最有利的勘探区。

关键词: 临南-钱官屯地区 , 化探异常 , 酸解烃 , 微渗漏 , 渗漏源 , 主控因素 , 异常模式

湖北随州硬玉质变霓霞正长岩的岩石矿物特征及应用研究

赵文俞 , 王勤燕 , 陈文怡 , 叶先贤

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2000.02.014

随州硬玉质变霓霞正长岩的岩石组织结构、矿物赋存状态、矿石可选性和玻璃陶瓷原料应用试验研究表明:该资源具有易采易选两大优点,矿石经单一磁选的精矿可作玻璃和陶瓷的原料;同时已反复试验证实该资源可烧成原矿用量达90%的釉面墙地砖.

关键词: 湖北随州 , 硬玉质变霓霞正长岩 , 玻璃陶瓷原料

科学评价,务实求真——熊晓英等作者的论文编后记

无

材料科学与工程学报

本刊2012年第五期第801页刊登了熊晓英等作者的论文,这是本刊编辑部自创刊以来收到的第一篇这样的论文,该文对本刊在材料科学期刊中所处的地位及面临问题、发展方向作出如此客观、中肯的评价与指引,均使编辑部成员十分感动。今年恰是本刊创刊30周年纪念,谨以此《编后记》供奉广大读者,

关键词: 科学评价 , 论文 , 作者 , 务实 , 科学期刊 , 编辑部 , 创刊

怀念钱英教授

膜科学与技术

关键词:

材料科学家--钱匡武

兵器材料科学与工程

关键词:

李晓刚：材料腐蚀信息学界的“追梦郎中”--记国家材料环境腐蚀平台主任、北京科技大学新材料技术研究院李晓刚教授

孙金 , 吴钰重

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2016.02.01

关键词:

高粉矿结构下白云石取代轻晓白云石的可行性实验

张红丽 , 陈旋 , 杨美涛 , 韦欢

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2011.05.016

关键词:

化学镀镍研讨班在京举办

腐蚀学报（英文）

化学镀镍研讨班在京举办中国腐蚀与防护学会咨询工作委员会于93年12月7日至14日在北京科技大学举办了全国化学镀镍技术研讨班.来自全国25个单位近30人参加了研讨班.研讨班学员大多来自从事化学镀镍的厂矿企业.中科院金属研究所姜晓霞研究员,机电部武汉材保所沈伟高级工程师,北京科技大学杨德钧教授,孙冬柏博士分别就化学镀镍工艺的原理、特点、应用、设备以及质量控制、三废处理等广大工程技术人员所关心的主题进行了系统,全面?...

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