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影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究

, 彭同华 , 刘春俊 , 袁文霞 , 蔡振立 , 张贺 , 王波

人工晶体学报

选用二氧化硅抛光液抛光4H导电SiC晶片表面,探究影响SiC晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量.实验结果表明,SiC表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果.保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,SiC表面去除速率先增加后保持不变.在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,SiC表面的抛光去除速率进一步增加.通过优化的抛光参数,SiC表面的抛光去除速率达到142 nm/h.进一步研究结果表明,保持化学机械抛光过程中氧化作用与机械作用相匹配,是获得高抛光效率和良好的表面质量的关键.表面缺陷检测仪(Candela)和原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,SiC抛光片表面无划痕,粗糙度达到0.06 nm.外延后总缺陷密度小于1个/cm2,粗糙度达到0.16 nm.

关键词: 碳化硅 , 化学机械抛光 , pH值 , 压力 , 双氧水

内蒙古锡林勒盟东部金属成矿亚带的划分及其意义

杜继旭 , 潘成林 , 邱金柱 , 杨云鹏

黄金 doi:10.11792/hj20160807

内蒙古锡林勒盟东部金属成矿带是中国重要的黑色金属、有色金属、贵金属成矿带,成矿带岩浆活动频繁,构造活动强烈,具备有利的成矿条件.通过对2个成矿带(东乌旗成矿带、西乌旗成矿带)的地质背景及成矿条件的研究,将东乌旗成矿带分为4个成矿亚带,西鸟旗成矿带分为2个成矿亚带,为下一步的地质找矿工作提供依据.

关键词: 成矿带 , 成矿亚带 , 地质特征 , 划分 , 锡林勒盟东部 , 内蒙古

志猛 庄奋强

志猛 , 庄奋强 , 林涛 , 吴峰松 , 殷声

金属学报

根据电化学原理, 得到高阻值衬层穿透性裂纹的电沉积电流与时间的关系曲线, 利用计算机数据采集及处理系统, 对高阻值衬层进行分析与检测, 由此可以定量确定裂纹的大小, 再通过观测在裂纹处所沉积的金属(或采用电极扫描技术)来确定裂纹的位置及表面形状, 最终可以实现对高阻值衬层的快速无损探伤.

关键词: 高阻值衬层 , null , null , null

胶东郭城断裂带金矿找矿潜力分析

彭雪峰 , 姜丽萍 , 郝兴春 , 王龙江 , 李明昱

黄金 doi:10.11792/hj20151104

城断裂带作为郯庐断裂的次级导矿构造,控制着该地区金矿床的分布和产出,并且金矿床还受胶莱盆地边缘层间滑动构造的控制,金矿成矿的地质背景和构造特殊. 从区域成矿背景和矿床特征入手,分析了城断裂带金矿床的找矿潜力及找矿方向. 分析结果表明,城断裂带深部存在含矿大岩体,具有很好的金矿成矿条件,找矿潜力巨大,有存在大型金矿床的可能,应该加强该成矿带的找矿工作力度.

关键词: 金矿床 , 找矿潜力 , 城断裂带 , 胶东

《钢铁研究学报》征稿启事

钢铁研究学报

《钢铁研究学报》是由中国钢铁工业协会主管,中国钢研科技集团有限公司主办的冶金类学术期刊刊物(CN11—2133/TF;ISSN1001—0963),是中国冶金界很有影响力的学术性刊物之一。自1981年创刊以来,先后多次在全国和冶金科技期刊评比中获奖。连续多年人选中文核心期刊和中国科技论文统计源期刊,被国内许多著名检索刊物及数据库收录。现任主编为干勇院士,殷瑞院士为名誉主编。

关键词: 中国钢铁工业协会 , 学报 , 学术性刊物 , 中文核心期刊 , 科技期刊 , 学术期刊 , 论文统计 , 中国科技

《钢铁研究学报》征稿启事

连铸

《钢铁研究学报》是由中国钢铁工业协会主管,中国钢研科技集团有限公司主办的冶金类学术期刊刊物(CN11-2133/TF;ISSN1001-0963),是中国冶金界很有影响力的学术性刊物之一。自1981年创刊以来,先后多次在全国和冶金科技期刊评比中获奖。连续多年入选中文核心期刊和中国科技论文统计源期刊,被国内许多著名检索刊物及数据库收录。现任主编为干勇院士,殷瑞院士为名誉主编。

关键词: 中国钢铁工业协会 , 学报 , 学术性刊物 , 中文核心期刊 , 科技期刊 , 学术期刊 , 论文统计 , 中国科技

《钢铁研究学报》征稿启事

钢铁

《钢铁研究学报》是由中国钢铁工业协会主管,中国钢研科技集团有限公司主办的冶金类学术期刊刊物(CN 11-2133/TF;ISSN 1001-0963),是中国冶金界很有影响力的学术性刊物之一。自1981年创刊以来,先后多次在全国和冶金科技期刊评比中获奖。连续多年入选中文核心期刊和中国科技论文统计源期刊,被国内许多著名检索刊物及数据库收录。现任主编为干勇院士,殷瑞院士为名誉主编。《钢铁研究学报》现为月刊,大开,页码为页,期刊为自办发行。

关键词: 中国钢铁工业协会 , 学报 , 学术性刊物 , 中文核心期刊 , 学术期刊 , 科技期刊 , 论文统计 , 中国科技

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