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放电功率对VHF-PECVD微晶硅薄膜生长过程的影响

杨仕娥 , 崔宗超 , , 陈永生 , 李艳阳 , 卢景霄

人工晶体学报

采用基于有限元的数值模拟方法,研究了VHF-PECVD法制备微晶硅薄膜的等离子体放电和气相反应过程,模拟了放电功率对等离子体特性及气相化学的影响,并与光发射谱(OES)在线监测结果进行了比较.模拟结果表明:当放电功率从30 W增大至70W时,等离子体中心区域的电子温度t基本保持不变,电子浓度ne和等离子体电势Φ线性增大;气相中H和SiH3等基元浓度逐渐增大,二者的浓度比nH/nSiH3亦随功率单调增大,模拟结果与OES测量结果吻合的很好.最后,根据数值模拟结果,对实验上不同放电功率下微晶硅薄膜的生长特性进行了解释.

关键词: 微晶硅 , 等离子体 , 数值模拟 , 光发射谱

晶界偏聚与材料脆断间关系的理论研究进展

材料导报

综述和简要评价了晶界偏聚和材料脆性断裂之间关系的理论研究进展情况.

关键词: 晶界偏聚 , 脆性断裂 , 微合金化

薄膜生长计算机模拟概论

文黎巍 , , 丁俊 , 文书堂 , 杨仕娥

材料导报

阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义,介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法,重点阐述了蒙特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展,展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势.

关键词: 薄膜 , 计算机模拟 , 蒙特卡罗 , 分子动力学

内蒙古锡林勒盟东部金属成矿亚带的划分及其意义

杜继旭 , 潘成林 , 邱金柱 , 杨云鹏

黄金 doi:10.11792/hj20160807

内蒙古锡林勒盟东部金属成矿带是中国重要的黑色金属、有色金属、贵金属成矿带,成矿带岩浆活动频繁,构造活动强烈,具备有利的成矿条件.通过对2个成矿带(东乌旗成矿带、西乌旗成矿带)的地质背景及成矿条件的研究,将东乌旗成矿带分为4个成矿亚带,西鸟旗成矿带分为2个成矿亚带,为下一步的地质找矿工作提供依据.

关键词: 成矿带 , 成矿亚带 , 地质特征 , 划分 , 锡林勒盟东部 , 内蒙古

志猛 庄奋强

志猛 , 庄奋强 , 林涛 , 吴峰松 , 殷声

金属学报

根据电化学原理, 得到高阻值衬层穿透性裂纹的电沉积电流与时间的关系曲线, 利用计算机数据采集及处理系统, 对高阻值衬层进行分析与检测, 由此可以定量确定裂纹的大小, 再通过观测在裂纹处所沉积的金属(或采用电极扫描技术)来确定裂纹的位置及表面形状, 最终可以实现对高阻值衬层的快速无损探伤.

关键词: 高阻值衬层 , null , null , null

相变储材料

徐建霞 , 柯秀芳

材料导报

能源的供应和需求在很多情况下都有很强的时间依赖性,为了合理地利用它,常需要把暂时不用的能量储存起来,在需要时再让它释放出来.由于相变储材料(Phase change materials,PCMs)很好地解决此问题,所以其被广泛研究.对相变储材料的概念、分类、热物性及其测定方法、工作性能及其研究方法、应用等方面作了综合介绍.

关键词: 相变材料 , , 热物性 , DTA , DSC , 应用

对称研究进展

陈列文

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.31.03.273

总结了目前基于分析地面实验室以及天文观测数据所得到的关于核物质对称密度相关性的约束。结果表明,在核物质饱和密度ρ0处,关于对称的大小Esym (ρ0)及其密度梯度参数L的不同具体约束强烈地依赖于不同的实验数据或理论方法。另一方面,所有存在的约束都和Esym(ρ0)=(32.5±2.5) MeV以及L=(55±25) MeV一致。如何确定核物质对称的高密行为仍然是一个挑战。

关键词: 对称 , 非对称核物质状态方程 , 核反应 , 核结构 , 中子星

低温奥氏体钢的层错

戴起勋 , 王安东 , 程晓农

钢铁研究学报

根据层错及层错的物理本质和测试层错的依据,明确了层错和层错形核能的定义.借助计算机处理大量试验结果得到了计算层错的表达式.

关键词: 奥氏体钢 , 层错 , 合金元素

薄膜太阳电池

徐慢 , 夏冬林 , 杨晟 , 赵修建

材料导报

薄膜太阳电池作为一种新的能源材料正在得到迅速的发展和进步,主要介绍了非晶硅、多晶硅薄膜太阳电池以及CIGS薄膜太阳电池,通过比较这几种薄膜太阳电池各自的特点阐述了各种薄膜太阳电池的发展状况.

关键词: 光电功能薄膜 , 薄膜 , 太阳电池

化学梯级利用机理探讨

金红光 , 王宝群

工程热物理学报

本文提出化学梯级利用新概念,从理论上证明了物质作功能力(ε)、化学反应作功能力(G)和物理作功能力(ηc)之间的内在联系,拓展了传统热力循环在物理转换利用范畴的局限.通过CH4直接燃烧和化学链燃烧化学品位和(火用)损失的比较,指明化学梯级利用是降低燃烧(火用)损失的有效途径,并指出影响化学梯级利用的关键因素,揭示了化学梯级利用机理.

关键词: (火用) , 化学 , 梯级利用 , 化学链燃烧

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