材料期刊网

固结磨料研磨SiC晶片亚表面损伤截面显微检测技术

张银霞 , 杨乐乐 , 郜伟 , 苏建修

人工晶体学报

本文对采用截面显微检测法检测SiC晶片亚表面损伤时样品的制备、腐蚀液配方及腐蚀环境进行了系统地研究,并重点分析了固结磨料研磨SiC晶片(0001) Si面和(0001)C面亚表面损伤的深度及微裂纹构型.结果表明,采用腐蚀液配方为KOH:K2CO3 =20 g∶1 g,在420℃下腐蚀3min时亚表面损伤观测效果较好.在研磨压力为2 psi、金刚石磨粒粒径14 μm时,固结磨料研磨SiC晶片的亚表面损伤层深度约为2.6 μn,亚表面微裂纹构型有垂线状、斜线状、钩状、叉状、树枝状、人字状以及横线状.在相同的加工条件下,SiC晶片的(0001) Si面和(0001)C面的损伤深度基本相同.

关键词: SiC晶片 , 截面显微法 , 亚表面损伤 , 固结磨料研磨

硅片加工表面层损伤检测技术的试验研究

张银霞 , 李大磊 , 郜伟 , 康仁科

人工晶体学报

单晶硅片超精密加工表面层损伤较小,检测评价比较困难.为了确定合适的检测技术,对多种硬脆材料表面层质量检测技术进行了系统的试验研究.结果表明,硅片加工表面宏/ 微观形貌可采用各种显微镜及3D表面轮廓仪等进行检测,表面损伤分布可采用择优腐蚀法和分步蚀刻法检测;粗加工和半精加工硅片的损伤深度宜采用角度抛光法检测,而精加工硅片的损伤深度较小,宜采用截面Raman光谱分析和恒定腐蚀速率法检测;损伤层的微裂纹、位错、非晶及多晶相变等微观结构可采用分步蚀刻法、平视和剖视TEM分析法及显微Raman光谱仪检测;表面层宏观残余应力分布可用显微Raman光谱仪检测,其微观应变可采用高分辨X射线衍射仪的双品摇摆曲线的半高宽值来衡量.综合以上检测技术可以对硅片加工表面层损伤进行系统的评价.

关键词: 硅片 , 加工损伤 , 检测技术

SiC晶片研磨加工亚表面损伤深度的研究

王栋 , 张银霞 , 郜伟 , 杨乐乐 , 苏建修

人工晶体学报

SiC晶片研磨加工表面层损伤深度直接影响后续抛光加工的成本和效率,但SiC单晶是典型的难加工材料,亚表面损伤检测极为困难.文中利用截面显微检测技术对SiC晶片研磨加工亚表面损伤深度进行了检测分析,并研究了研磨方式、工艺参数对损伤深度的影响及晶片上损伤深度的分布规律.结果表明,同样的研磨工艺参数条件下,固结磨料研磨SiC晶片损伤深度略小于游离磨料研磨晶片的损伤深度.固结磨料研磨时,随着磨料粒度从W7增大到W28,损伤深度由3.0 μm增大到4.7 μm.随着研磨压力从1 psi增大到3 psi,晶片损伤深度从4.1 μm增大到4.9 μm.在整个晶片上,损伤深度由中心向边缘沿径向逐渐增大,增大幅度约为0.6～1.0 μm.

关键词: SiC晶片 , 研磨加工 , 损伤深度 , 固结磨料

包层折射率改变的光子晶体光纤双折射特性分析

何静 , 郜伟 , 余仲秋

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.05.014

分析了一种通过改变包层空气孔径向折射率产生双折射的光子晶体光纤,比较了几何对称性对这种光纤双折射特性的影响.利用有限元法对该光纤基模的电场分布、归一化双折射,偏振等特性进行了数值分析,并且分析了一些参数对双折射的作用.研究结果表明,可以通过调节包层径向孔内介质折射率n,空气孔直径d和包层空气孔间距A的大小,控制光子晶体光纤的双折射特性.当同时改变光纤的几何结构和径向孔内折射率时,双折射效应明显增大,得到了比普通保偏光纤高出一个数量级的结果.这一结果为光子晶体光纤的设计和制造提供了理论依据.

关键词: 纤维与波导光学 , 光子晶体光纤 , 有限元法 , 双折射

环氧粉末涂层在高温稀氯化钠溶液中介质伟输行为研究

王震宇 , 李劲 , 柯伟 , 张立新 , 史志明

涂料工业 doi:10.3969/j.issn.0253-4312.2000.08.002

利用静态浸泡法通过绘制增重率-时间曲线及采用红外光谱研究了环氧粉末涂层在高温稀氯化钠溶液中抗介质渗透能力.探讨了高温(120℃)下该涂层在蒸馏水及稀氯化钠溶液中 ?传输行为.试验结果表明,交联度小的环氧涂层在氯化钠溶液中的增重率较水中的增重率无明显的变化;而交职大的环氧涂层在氯化钠溶液中的增重率则小于其在水中的增重率.

关键词: 环氧树脂 , 粉末涂料 , 介质传输 , 静态浸泡

技术创新,促进行业绿色发展——访科思创CAS业务部大中华区副总裁陆伟国

涂料工业

关键词:

初论胶东福山北部地区斑岩成矿系统

孙丰月 , 丁正江 , 刘殿浩 , 张丕建 , 于晓飞

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2011.01.004

福山北部地区位于胶东栖(霞)-蓬(莱)-福(山)成矿带北段.该区粉子山群大面积出露,褶皱断裂构造发育,中生代燕山晚期伟德山超单元幸福山单元和雨山超单元王家庄单元、水夼单元斑岩出露广泛,形成一套完整的斑岩多金属成矿系统.与该成矿系统有关的矿床成矿系列包括邢家山(钼钨)、王家庄(铜锌)、杜家崖(金银)和隆口(金铜)等矿床式.从现有研究成果看,该区具有较大找矿潜力,中-低温热液脉型、斑岩-矽卡岩型多金属矿应作为找矿主攻方向.

关键词: 斑岩 , 成矿系统 , 成矿系列 , 胶东 , 福山北部

原位生成金属间化合物/Fe-Cr-Ni复合材料的耐蚀性

杨霓虹 , 柯伟 , 张玉生

中国腐蚀与防护学报

原位生成金属间化合物／Ｆｅ－Ｃｒ－Ｎｉ复合材料的耐蚀性杨霓虹，柯伟，张玉生（西南交通大学成都６１００３１）（中国科学院金属腐蚀与防护研究所沈阳１１００１５）１前言铬、镍和铝含量很高的铁基合金在一定条件下可生成大量均匀分布的金属间化合物，形成原位生成的金属间化合物／Ｆｅ－Ｃｒ－Ｎｉ复合材料ｌ‘］．金属间化合物具有很高的硬度，而且耐蚀性良好，同具有优良耐蚀性的Ｆｅ－Ｃｒ－Ｎｉ合金基体复合所形成的?...

关键词: null , Intermetallics / Fe-Cr-Ni composite , Passivity

氢蚀程度对20G钢K_(IC)及△K_(th)的影响

郦建立 , 李晓刚 , 谢根栓 , 李彦 , 姚治铭 , 李劲 , 柯伟

中国腐蚀与防护学报

氢蚀程度对２０Ｇ钢Ｋ_（ＩＣ）及△Ｋ_（ｔｈ）的影响郦建立，李晓刚，谢根栓，李彦，姚治铭，李劲，柯伟（中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀与防护国家重点实验室沈阳１１００１５）（抚顺石油学院，抚顺石油三厂）１引言氢腐蚀（ＨＡ）使材料的力学性能和疲劳断裂性能严重恶化，是化学工业、石油化工、煤转化工业临氨装置主要的损坏形式。对临氢后的２．２５Ｃｒ－ＩＭｏ＄疲劳性能、断裂性能的研究结果表明，氢蚀使西Ｋ?...

关键词: null , Fracture toughness , Fatigue threshold , 20G carbon steel

点阵式LCD在电磁阀检测仪中的应用

李伟 , 周凤星

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.01.022

采用点阵式LCD作为电磁阀检测仪的显示终端,介绍了一种在C语言环境下,在液晶显示屏上实现多级嵌套菜单显示并通过键盘和单片机通信的简便方法.给出了一个结构紧凑、实用的程序模型,编写了实际中经常用到的一些程序,这些程序已在伟福E6000/L仿真器中编译通过,在实际的检测过程中能让LCD正确显示电磁阀检测仪采集的电压、电流、压降等实时数据,还能很好地嵌套显示电磁阀检测仪其他的一些相关信息,显示图像稳定、清晰.

关键词: LCD , 汉字字模 , AT89C55 , C语言 , 嵌套菜单