邢向龙
,
焦继伟
,
王跃林
,
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.013
实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化(contact planarization)技术,应用于MEMS结构制作.实验研究了温度与光刻胶流动性的关系,以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响,在优化条件下,牺牲层的起伏台阶从2μm减小到20~40nm.与化学机械抛光技术相比,接触平坦化无明显凹陷(Dishing)效应,无衬底损伤,同时呈现出良好的局部和总体均匀性.
关键词:
MEMS
,
接触平坦化
,
化学机械抛光
,
均匀性
,
凹陷效应
甄云璞
,
孔俊其
,
苍大强
,
宋海生
,
孙家舵
,
张志辉
钢铁
为深入挖掘邢钢节能潜力,以e-p分析法为理论基础,建立了适合邢钢的能耗瓶颈诊断模型.应用能耗瓶颈诊断模型,通过分解吨钢综合能耗为能耗强度与产品结构系数,分析了总生产流程、各生产区域和各工序的能耗瓶颈,确定了影响吨钢综合能耗的因素,指出了下一步邢钢的节能工作方向.
关键词:
节能
,
吨钢能耗
,
能耗瓶颈
,
能量分解模型
,
能量密度
邸永田
,
赵定国
,
许士芳
,
董志强
,
赵冬芹
连铸
在邢钢小方坯连铸机上进行试验,系统地研究了国产化结晶器电磁搅拌装置的最佳参数,分析了不同参数对连铸坯碳偏析的影响。试验结果表明,结晶器电磁搅拌改善了铸坯碳偏析现象,有效改善的最小电流为350A,电流强度达到一定值后,继续增加电流强度对铸坯中心偏析的改善效果不明显。
关键词:
结晶器
,
电磁搅拌
,
电流
,
碳偏析
苑希现
,
蒋毅
,
都玉林
,
张永藏
,
刘玉旗
钢铁
介绍了邢钢连铸小方坯热送热装的工艺实践,建立了一系列有效的措施.经过三个月的实践证明,该方案工艺合理,投资少.热送热装率为60 %,热装温度达到600 ℃.
关键词:
小方坯
,
热送热装
,
工艺实践