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用于MEMS结构的光刻胶牺牲层接触平坦化技术

, 焦继伟 , 王跃林 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.013

实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化(contact planarization)技术,应用于MEMS结构制作.实验研究了温度与光刻胶流动性的关系,以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响,在优化条件下,牺牲层的起伏台阶从2μm减小到20~40nm.与化学机械抛光技术相比,接触平坦化无明显凹陷(Dishing)效应,无衬底损伤,同时呈现出良好的局部和总体均匀性.

关键词: MEMS , 接触平坦化 , 化学机械抛光 , 均匀性 , 凹陷效应

能耗瓶颈诊断模型在钢的应用

甄云璞 , ,孔俊其 , ,苍大强,宋海生 , ,孙家舵 , ,张志辉

钢铁

为深入挖掘钢节能潜力,以e-p分析法为理论基础,建立了适合钢的能耗瓶颈诊断模型。应用能耗瓶颈诊断模型,通过分解吨钢综合能耗为能耗强度与产品结构系数,分析了总生产流程、各生产区域和各工序的能耗瓶颈,确定了影响吨钢综合能耗的因素,指出了下一步钢的节能工作方向。

关键词: 节能 , energy consumption of crude steel , energy-consumption bottleneck , decomposition model , energy-intensity

能耗瓶颈诊断模型在钢的应用

甄云璞 , 孔俊其 , 苍大强 , 宋海生 , 孙家舵 , 张志辉

钢铁

为深入挖掘钢节能潜力,以e-p分析法为理论基础,建立了适合钢的能耗瓶颈诊断模型.应用能耗瓶颈诊断模型,通过分解吨钢综合能耗为能耗强度与产品结构系数,分析了总生产流程、各生产区域和各工序的能耗瓶颈,确定了影响吨钢综合能耗的因素,指出了下一步钢的节能工作方向.

关键词: 节能 , 吨钢能耗 , 能耗瓶颈 , 能量分解模型 , 能量密度

钢结晶器电磁搅拌参数优化研究

邸永田 , 赵定国 , 许士芳 , 董志强 , 赵冬芹

连铸

钢小方坯连铸机上进行试验,系统地研究了国产化结晶器电磁搅拌装置的最佳参数,分析了不同参数对连铸坯碳偏析的影响。试验结果表明,结晶器电磁搅拌改善了铸坯碳偏析现象,有效改善的最小电流为350A,电流强度达到一定值后,继续增加电流强度对铸坯中心偏析的改善效果不明显。

关键词: 结晶器 , 电磁搅拌 , 电流 , 碳偏析

钢结晶器电磁搅拌参数优化研究

邸永田 , 赵定国 , 许士芳 , 董志强 , 赵冬芹

连铸

钢小方坯连铸机上进行试验,系统地研究了国产化结晶器电磁搅拌装置的最佳参数,分析了不同参数对连铸坯碳偏析的影响。试验结果表明,结晶器电磁搅拌改善了铸坯碳偏析现象,有效改善的最小电流为350 A,电流强度达到一定值后,继续增加电流强度对铸坯中心偏析的改善效果不明显。

关键词: 结晶器 , electromagnetic stirring , frequency , electric current

顶吸罩在钢转炉二次除尘中的应用

张玉军 , 贾育华 , 李俊 , 武国峰 , 薛正学

钢铁研究 doi:10.3969/j.issn.1001-1447.2004.02.017

正确选定顶吸罩类型是钢转炉二次除尘改造治理的关键.分析传统的二次收集罩的缺陷,论证了采用顶吸罩的合理性.钢现场试验数据证明,这一除尘方案是成功的.

关键词: 顶吸罩 , 二次除尘 , 应用

地区磁精矿造球的实验和机理

刘成松 , 李京社 , 杨树峰 , , 马博

钢铁 doi:10.13228/j.boyuan.issn0449-749x.20130571

以邯磁铁矿精粉为原料,基于现场造球工业实验,考察了不同膨润土配比量、造球水分以及润磨时间等对邯磁精矿生球性能的影响规律,得出三者分别为2.0%、8.5%~9.0%和6 min的最佳工艺参数;此外,采用实验室预热氧化和焙烧实验,研究了不同预热氧化温度和时间、焙烧温度和时间对邯磁铁矿粉固结性能的影响,并利用光学显微镜分析了预热氧化和焙烧中球团显微结构的变化情况和固结机理。实验结果显示,邯磁精矿球团适宜氧化温度和时间分别为880~920℃和20 min,适宜焙烧温度和时间分别为1250℃和20 min。

关键词: 磁铁矿精粉 , 生球性能 , 显微结构 , 固结机理

脖河铜矿达矿段地质特征及资源/储量估算

江训普 , 黄德镛 , 陈雷 , 钟彩彩

黄金 doi:10.11792/hj20160306

脖河铜矿达矿段Ⅲ1-4号矿群共有5个矿体。通过研究达矿段的地质特征,基本查明了Ⅲ1-4号矿群5个矿体的形态、产状、空间位置及厚度、品位的变化情况;基于地质块段法在探矿区范围内对Ⅲ1-4号矿群进行了资源/储量的估算,获得了5个铜矿体332+333总金属量18559.57 t,为脖河铜矿今后的进一步资源开发规划提供了依据。

关键词: 地质特征 , Ⅲ1-4号矿群 , 资源/储量 , 估算 , 脖河铜矿达矿段

钢连铸小方坯热送热装工艺实践

苑希现 , 蒋毅 , 都玉林 , 张永藏 , 刘玉旗

钢铁

介绍了钢连铸小方坯热送热装的工艺实践,建立了一系列有效的措施.经过三个月的实践证明,该方案工艺合理,投资少.热送热装率为60 %,热装温度达到600 ℃.

关键词: 小方坯 , 热送热装 , 工艺实践

塘金矿堆浸工艺特点

巫汉泉 , 林源

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2002.10.010

介绍了塘金矿多层堆浸的大规模、永久性堆浸场、采用一堆多区、交叉喷淋、逆流浸出、二次吸附和无氰解吸工艺的特点,及生产中取得的技术经济指标.

关键词: 堆浸 , 喷淋 , 工艺特点 , 指标

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