功能材料与器件学报
优化原位腔清洗工艺可延长清洗之间Al刻蚀腔加工时间(MTBC),不损伤清洗腔内部,同时也保持了合理的产额.Cl/O2能非常有效地去除碳基聚合物,而BCl3/Cl最有利于去除Al副产品.通过提高压力得到了顶盖/侧壁清洗均匀性方面最好的改进.实行最佳清洗工艺后,MTBC提高了4倍.
关键词:
胥蕊娜
,
姜培学
工程热物理学报
本文对空气流过烧结微多孔介质内部对流换热进行了实验研究,分析了不同颗粒直径下对流换热努谢尔特数随流量的变化.结果表明:当颗粒直径为200～40μm时,实验得到的对流换热努谢尔特数与已有研究结果符合很好;当颗粒直径为20μm和10 μm时,实验结果略小于已有研究结果,说明空气在微多孔介质中的对流换热需要考虑微尺度效应的影响.同时,根据实验结果给出了微多孔介质内对流换热努谢尔特数与雷诺数的经验关联式,并提出了考虑努森数的修正关联式.
关键词:
微多孔介质
,
实验研究
,
对流换热
,
微尺度效应
梁戈
,
李洪涛
,
蒋百灵
,
吴文文
,
张红军
,
杨平
功能材料
采用不同等离子体清洗工艺对镁基金属样品进行清洗,随后磁控溅射沉积纯Cr镀层.利用SEM、划痕仪分析了不同等离子体清洗工艺下镁基金属的表面形貌与膜／基结合强度的变化.结果表明,过高的清洗偏压作用下,基体表面会产生深径比＞0.5的孔洞状结构缺陷;过长清洗时间后,离子轰击产生的能量积淀效应使基体表面温升显著,局部区域出现熔融、烧结现象,二者均使后续沉积镀层结合强度变低.
关键词:
等离子体清洗
,
镁合金
,
表面形貌
,
结合强度
杨纪倩
,
王庆娜
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.z1.017
针对强制循环蒸发器循环液量大、设备操作复杂、工艺条件不易控制、汽耗高、长时间高浓度操作结垢速度快运转率低等不足之处,通过改变循环泵的安装方式,将其传统的蒸发室切向进料方式改变为轴向进料,改变了物料的流向,实现蒸发室物料的反循环运转.结合在烧结法氧化铝生产实际应用中遇到的情况说明了反循环蒸发器在操作中的生产条件控制及应注意的事项.试验研究表明:反循环结晶蒸发技术,在氧化铝生产母液蒸发工序推广应用,可以有效的延缓强制循环蒸发器加热管结疤速度,延长清理周期,提高传热效率,提高设备的运转率及生产能力,达到节约费用,提高产能,降低消耗,提高效益目的.
关键词:
强制循环蒸发器
,
反循环
,
提产降耗
,
烧结法氧化铝生产
杨德伟
,
黄善波
,
林日亿
工程热物理学报
采用直接电加热法对平均为101 μm、403 μm及801 μm的铜丝进行加热,使用高精度电阻仪测量电加热前及电加热后的铜丝的电阻值,根据温度与金属电阻之间的关系能够相当精确的测量整个铜丝电加热后的平均温度值.电加热时的电压及电流也同时被测量.实验结果表明,在自然对流条件下,实验得到的努谢尔特数与经典的准则关联式得到的努谢尔特数随着外径的减小,其偏差越来越大,最大偏差超过50%.
关键词:
微尺度换热
,
细铜丝
,
电阻
,
努谢尔特数
徐静
,
赵永利
,
刘加平
材料导报
采用了德国JRS、国产某BH及新型絮状木质纤维,通过谢伦堡沥青析漏、马歇尔稳定度、动稳定度、水稳定性、渗水系数及构造深度等试验,研究木质纤维性能对提高沥青混凝土的路用性能的影响.结果表明,易于分散、低含水率、高吸油率、惰性大、动弹模高的木质纤维有利于增强SMA的路用性能.
关键词:
木质纤维
,
沥青混凝土
,
沥青玛蹄脂碎石(SMA)
