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衬底温度对氢化非晶硅薄膜特性的影响

, 杨雯 , 陈小波 , 杨培志 , 宋肇宁

人工晶体学报

采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统,以乙硅烷和氢气为气源,石英玻璃和单晶硅片为衬底制备了氢化非晶硅(a-Si∶ H)薄膜.采用扫描电子显微镜、X-射线衍射仪、台阶仪、紫外可见分光光度计、傅里叶变换红外光谱仪和电子能谱仪等分别表征了a-Si∶H薄膜的表面形貌、结晶特性、沉积速率,光学带隙,键合结构和Si化合态等特性.结果表明:随着衬底温度的增加,a-Si∶H薄膜表面的颗粒尺寸减小,均匀性增加,沉积速率则逐渐降低;衬底温度从80℃增加到130℃时,光学带隙显著增加,而在130℃至230℃范围内,光学带隙基本不随衬底温度变化;以SiH键对应的伸缩振动的相对峰强度逐渐增加,而以SiH2或(SiH2)n键对应的伸缩振动的相对强度逐渐减小;a-Si∶H薄膜中Si0+态的相对含量增加.因此,衬底温度大于130℃有利于制备优质a-Si∶H薄膜,230℃是沉积a-Si∶H薄膜的最佳衬底温度.

关键词: PECVD , 衬底温度 , 沉积速率 , 光学带隙 , 键合方式 , 化合态

衬底温度对含硅量子点的SiCx薄膜结构及其光学特性的影响

赵飞 , 杨雯 , 陈小波 , , 杨培志

人工晶体学报

采用磁控共溅射沉积法,以Si靶和SiC靶为靶材,单晶Si(100)和石英为衬底,在不同衬底温度下沉积了富硅SiCx薄膜.在氮气氛下于1100 ℃退火,得到包含硅量子点的SiCx薄膜.采用傅立叶变换红外吸收光谱、拉曼光谱、掠入射X射线衍射和吸收谱对退火后的SiCx薄膜进行了表征.结果表明:当衬底温度从室温(25℃)升至300℃时,薄膜的晶化率增至71.3%,硅量子点尺寸增至8.9 nm,而光学带隙则减至2.42 eV;随着衬底温度进一步升高,薄膜的晶化率降至63.1%,硅量子点尺寸减小至7.3 nm,而光学带隙却增加至2.57 eV;当衬底温度从室温(25℃)升至400℃时,薄膜的吸收系数呈先增大后减小趋势.在本实验条件下,最佳衬底温度为300℃.

关键词: 衬底温度 , 硅量子点 , SiCx薄膜 , 磁控溅射

浪油田污水腐蚀影响因素

刘丽玲 , 国翠 , 牛耀玉 , 田超

腐蚀与防护

浪油田污水处理系统污水水质、腐蚀挂片等数据分析,结果表明,该污水处理系统腐蚀严重.为了确定腐蚀影响因素,进行了污水流速、温度、pH等因素对腐蚀速率影响的试验研究.初步确定了这些因素对浪油田污水腐蚀影响规律,为日后制定防腐蚀措施可以提供参考.

关键词: 污水 , 腐蚀 , 影响因素

钛股份的2004年及2010年展望

钛工业进展

回顾了2004年钛股份的生产经营情况,并介绍了近期中国钛行业所面临的问题,简述了钛股份的"十一五"发展战略及相应的策略.

关键词: 钛股份 , 2004年 , 经营 , 展望

浪油田含油污水腐蚀行为的研究

李胜彪

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.07.018

采用XRD分析、X射线衍射、电子探针和电化学试验方法,研究了浪油田含油污水处理系统主要设备腐蚀产物、腐蚀形貌和腐蚀原因,并对腐蚀影响因素进行了试验研究.结果表明,污水处理系统中设备主要存在CO2腐蚀、O2腐蚀和SRB腐蚀,通过试验发现,改变含油污水的pH值、温度和SRB含量等对污水的腐蚀性有不同程度的影响.找出了浪油田污水腐蚀的主要原因及影响因素,为油田污水处理系统防腐蚀提供了参考依据.

关键词: 腐蚀 , 污水处理系统 , 浪油田 , 因素

钛股份2005年生产经营状况及2006年目标

贾栓孝 , 雷让岐

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2006.05.006

通过对钛股份两年来主要经济利润指标的比较、对公司在完成生产经营目标中所采取的策略与措施及近期公司技改方面的情况介绍,说明钛股份2005年的生产经营状况及2006年规划.

关键词: 经济运行 , 持续发展 , 策略措施

2号高炉锌平衡的研究

冯帅 , 谢建军 , 王纲 , 王明松

钢铁研究

通过分析邯2号高炉锌的走向及平衡,计算得出:2号高炉的锌负荷为0.555 9kg/t,入炉原料中烧结矿是高炉锌的主要来源,烧结矿带入高炉锌的比例达到81.76 %;2号高炉的排锌率仅为46.12%,高炉正处于锌的积蓄期,有可能使炉况出现波动和风口上翘.严格控制烧结矿、球团矿的锌含量是解决锌危害的有效措施.随着焦炭中ZnO含量的升高,焦炭的CRI提高,CSR降低;随着ZnO含量的提高,烧结矿和球团矿RDI+6.3下降,RDI-3.15和RDI-0.5均上升,但烧结矿粉化比球团矿严重.

关键词: 锌平衡 , 排锌率 , 焦炭 , 烧结矿 , 球团矿

浪油田区域土壤腐蚀性分析

黄青松 , 吕瑞典 , 张健

腐蚀与防护

通过土壤理化性质的测定与分析、土壤埋片试验分析以及腐蚀电化学分析等方法,对浪油田区域四种类型的土壤进行了腐蚀性分析,得出该区域土壤的综合腐蚀性以及强弱分布规律,对浪油田埋地管道防腐蚀措施的选择具有重要的指导意义.

关键词: 浪油田 , 土壤腐蚀性 , 腐蚀速度

钛股份2006年生产经营状况及2007年发展

雷让岐

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2008.01.004

通过对钛股份两年来主要经济利润指标的比较,对公司在完成生产经营目标中所采取的策略与措施及近期公司技改方面的情况介绍,说明钛股份2006年的生产经营状况,并概述2007年发展.

关键词: 经济运行 , 持续发展 , 策略措施

露天矿采场最终边坡稳定性分析

张飞 , 董辉 , 云建平 , 颜春军

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2009.06.006

针对石露天矿3个采坑采场最终边坡出现的不稳定现象,根据其工程地质和水文地质条件,并结合现场工程地质勘察和岩石力学试验,运用极限平衡分析法对其整个采场的最终边坡进行了详细的分析和研究.分析结果表明,石露天矿采场边坡均处于稳定状态,但是A、B、C、E、F、I、K、L 8个分区边坡从稳定性考虑,需要减缓边坡角,D、G、H、J 4个分区边坡角可提高,加陡时应考虑现场工程地质状况.

关键词: 露天矿 , 边坡稳定性 , 极限平衡法

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