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Ba_0.9Sr_0.1TiO₃薄膜的椭偏光谱研究

阳生红 , 李辉遒 , 张曰理 , 莫党 , 田虎永 , 罗维根 , 蒲兴华 , 丁爱丽

用椭偏光谱仪首次在光子能量为２．１～５．２ｅＶ的范围内，测量了不同热处理温度下Ｂａ_０．９Ｓｒ_０．１ＴｉＯ_３（ＢＳＴ）薄膜的椭偏光谱，建立适当的拟合模型，并用Ｃａｕｃｈｙ色散模型描述ＢＳＴ薄膜的光学性质，用最优化法获得了所有样品的光学常...

关键词: 椭偏光谱 , optical constant spectra , BST films

Ba0.9Sr0.1TiO3薄膜的椭偏光谱研究

阳生红 , 李辉遒 , 张曰理 , 莫党 , 田虎永 , 罗维根 , 蒲兴华 , 丁爱丽

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.02.018

用椭偏光谱仪首次在光子能量为2.15.2eV的范围内，测量了不同热处理温度下Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)薄膜的椭偏光谱.建立适当的拟合模型，并用Cauchy色散模型描述BST薄膜的光学性质，用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及禁带能Eg.比较这些结果，初步得到了B...

关键词: 椭偏光谱 , 光学常数谱 , BST薄膜

直流磁控反应溅射制备IrO₂薄膜

王世军 , 丁爱丽 , 仇萍荪 , 何夕云 , 罗维根

无机材料学报

为研究氧化依（ＩｒＯ_２）对ＰＺＴ铁电薄膜疲劳性能的影响，利用直流（ＤＣ）磁控反应溅射（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）工艺成功地在ＳｉＯ_２／Ｓｉ（１００）衬底上制得了高度取向的ＩｒＯ_２薄膜．并在其上制成ＰＺＴ铁电薄膜．讨论了溅射参数（溅射功率、...

关键词: 氧化铱薄膜 , DC magnetron reactive sputtering , thermal annealing

水基溶胶-凝胶法制备Ba_0.5Sr_0.5TiO₃薄膜及其介电性能研究

齐兵 , 何夕云 , 丁爱丽 , 仇萍荪 , 陈先同 , 罗维根

无机材料学报

本文研究了一种以水为溶剂的Ba_0．5Sr_0.5TiO₃（BST）液体源溶液，并用Sol－Gel技术制备出BST薄膜，实验中，对水基BST液体源浓缩凝胶进行了DTA／TGA分析，XRD谱分析显示，BST膜呈现纯钙钛矿相结构．从SEM电镜...

关键词: 钙钛矿 , null , null , null

溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响

曾晟 , 丁爱丽 , 仇萍荪 , 何夕云 , 罗维根

无机材料学报

采用射频磁控溅射工艺，在（111）Pt／Ti／SiO₂／Si衬底上用PZT（53／47）陶瓷靶制备铁电薄膜．用快速光热退火炉对原位沉积的薄膜进行RTA处理．薄膜的相结构由XRD确定．通过改变氩气和氧气的比例以及衬底温度，研究了溅射气氛和衬底温度对PZT铁电薄膜结构的影响．实验表...

关键词: 射频磁控溅射 , null , null , null

溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响

曾晟 , 丁爱丽 , 仇萍荪 , 何夕云 , 罗维根

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.018

采用射频磁控溅射工艺,在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用PZT(53/47)陶瓷靶制备铁电薄膜.用快速光热退火炉对原位沉积的薄膜进行RTA处理.薄膜的相结构由XRD确定.通过改变氩气和氧气的比例以及衬底温度,研究了溅射气氛和衬底温度对PZT铁电薄膜结构的影响.实验表明,在不同的溅射气氛和...

关键词: 射频磁控溅射 , 铁电薄膜 , 烧绿石相 , 钙钛矿相

直流磁控反应溅射制备IrO2薄膜

王世军 , 丁爱丽 , 仇萍荪 , 何夕云 , 罗维根

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.04.027

为研究氧化铱(IrO2)对PZT铁电薄膜疲劳性能的影响，利用直流(DC)磁控反应溅射(sputtering)工艺成功地在SiO2/Si(100)衬底上制得了高度取向的IrO2薄膜. 并在其上制成PZT铁电薄膜. 讨论了溅射参数(溅射功率、Ar/O2比、衬底温度)以及退火条件对氧化铱薄膜的结晶、取向和...

关键词: 氧化铱薄膜 , 直流磁控反应溅射 , 热退火

Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的制备、结构及性能研究

叶扬 , 丁爱丽 , 唐新桂 , 罗维根

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.021

研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并降低薄膜的结晶温度.利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度...

关键词: BST薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 乙二醇 , P-E电滞回线