郭育林
,
倪敏璐
,
周嘉
,
竺士炀
,
黄宜平
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.012
为了更深入的了解GaAs经氢离子注入后的剥离特性,实验研究了GaAs晶片经6×1016 /cm2剂量氢离子以不同能量注入,再经过不同温度和不同时间的退火过程后,晶片表面的剥离情况.研究表明:注入能量小的晶片较容易表面剥离,当注入能量大到一定程度,表面将不会出现剥离的现象;在相同的注入能量情况下,GaAs晶片的表面剥离随着退火温度的升高、退火时间的增加变得更加的显著.晶片在300 ℃下退火后,未发现有剥离现象,实验发现GaAs的临界剥离温度在300-400 ℃之间.研究结果有助于优化GaAs/Si异质结构材料的智能剥离制备工艺.
关键词:
GaAs
,
智能剥离
,
异质结构材料
,
氢离子注入
周亚子
,
陈曦
,
刘莎
,
许妍
,
傅大放
,
薛庆举
,
苏小妹
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.08.2016010902
为了解太湖竺山湾及其主要入湾河流表层沉积物重金属污染状况,采用ICP-MS测定了13个采样点中Cr、Ni、Cu、Zn、As、Cd和Pb等7种重金属的含量,并采用地累积指数(Igeo)法和毒性单位(TU)法对其污染特征及潜在生态风险进行了研究.结果表明,7种重金属Cr、Ni、Cu、Zn、As、Cd、Pb的含量分别是相应背景值的2.02、2.18、4.69、5.25、1.62、13.6和2.37倍,均表现出了显著的累计效应.地累积指数表明Cr、Ni、As和Pb总体上处于无污染到轻污染状态,Cu和Zn处于轻污染状态,Cd处于轻污染到重污染状态.结合相关系数分析和聚类分析,可推断Cd主要来自于农业面源,Cu、Zn、Cr、Ni和As主要来自于工业污染,Pb—方面来源于橡胶合成和PVC生产等行业,另一方面来源于交通运输中含铅燃料的使用;生态风险评估结果表明,研究区域内重金属对栖息在沉积物中的动物群有中等到严重程度的毒性风险,7种重金属毒性单位均值由大到小为Ni＞Cr＞Cu＞Zn＞As＞Pb＞Cd.
关键词:
竺山湾
,
入湖河流
,
表层沉积物
,
重金属
,
风险评估
王飚
,
王宇栋
,
张自华
中国腐蚀与防护学报
doi:10.3969/j.issn.1005-4537.2003.01.008
在不锈钢水轮机母材上,用周期反相电镀稀土铬,镀层厚度约0.3 mm,镀层由金属基相和稀土盐颗粒第二相组成,硬度为900Hv～1000 Hv.阳极极化曲线测量表明:镀层的腐蚀阻力为母材的7～8倍.在模拟式小水轮机上考核,镀层的抗磨蚀性为母材的25～28倍,为离子氮化不锈钢的10～12倍.在水电生产中应用,电镀水轮机的工作寿命比原不锈钢高2～6倍.
关键词:
水轮机
,
空蚀磨损
,
电镀
,
稀土铬
柳浩
钢铁研究
为了研究环境温度、搅拌速度、石灰粒度等级和泥灰比(污泥与石灰质量比)等因素对生石灰消化速度的影响,对重庆钢铁公司现场使用的炀琨焰和大宝坡两产地的石灰取样,进行4因素4水平正交试验及单因素试验.试验结果表明:各影响因素对消化速度的影响程度从大到小依次为泥灰比、污泥温度、搅拌强度、石灰粒度;随着污泥温度的升高石灰温升速率逐渐增大;随着泥灰比及石灰粒度的增加,温升速率逐渐降低.最佳生石灰消化参数为:污泥温度60℃,石灰粒度0.5～1.0 mm,转速300 r/min,泥灰比1.5∶1.0.经优化,炀琨焰和大宝坡两产地的石灰温升速率分别提高了2.67倍和3.73倍.
关键词:
烧结
,
生石灰
,
消化速率
杨志刚
,
钟声
功能材料
随着集成电路的特征尺寸减小至深亚微米以下,互连延迟成为集成电路性能进一步提高的主要障碍.为解决互连延迟带来的危机,国际上已开发出以铜为互连材料,大马士革工艺为制造方法的铜互连工艺以取代亚微米时代的铝互连工艺.本文介绍了大马士革工艺中铜金属化以及阻挡层的研究现状.
关键词:
超大规模集成电路
,
金属化
,
铜互连
,
阻挡层
柴万东
,
肖家浩
,
张子民
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.33.04.433
研究了能量在100到300 keV区间的低能宽幅电子束从真空引出到空气中的特性.利用EGS5程序模拟了电子束穿过不同厚度钛箔后,在空气中距离钛箔5～10 cm距离处的能量损失、束流损失和束流分布均匀性等.模拟结果显示,对于低能电子,钛箔厚度应该在10μm左右为宜,其透射率与能量直接相关,在距离钛箔5 cm的位置,电子束的分布不均匀度低于士2％,优于工业应用士10％的标准(特殊情况下要求为士5％),完全满足工业辐照要求.
关键词:
EGS5
,
电子帘加速器
,
能散
,
透射率
,
均匀度
