王新
,
向嵘
,
任新光
,
李野
,
姜德龙
,
端木庆铎
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.012
对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究.在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°.两种样品在可见光区都具有很高的透过率,其中玻璃衬底上生长的薄膜的透过率约为92%,PET上生长的薄膜的透过率高达87%.两种薄膜均具有良好的导电性,玻璃衬底上薄膜的电阻率为4.2×10-4Ω·cm,柔性PET衬底上薄膜的电阻率为4.7×10-4Ω·cm.实验结果证明,完全可以采用磁控溅射的方法在柔性衬底上生长出高质量的ITO薄膜.
关键词:
氧化铟锡
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
透光率
,
电阻率
王新
,
刘楠
,
向嵘
,
李野
,
端木庆铎
,
田景全
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20112602.0158
在室温条件下,采用射频磁控溅射的方法在石英衬底上制备了NiO薄膜,深入研究了不同溅射功率对NiO的结构、光学和电学特性的影响.随着溅射功率的升高,NiO薄膜逐渐由非晶态薄膜转变成具有(111)择优取向的晶态薄膜,同时发现NiO薄膜在可见光区透过率较大,而在紫外光区透过率减小;随着溅射功率的升高,薄膜在可见光区域和紫外区域的光学透过率均明显减小,同时禁带宽度也减小,但导电性增强.
关键词:
射频磁控溅射
,
氧化镍
,
结构
,
光学
,
电学
材料研究学报
金属材料品界在金属蜘变和蜘变断裂中的作用················1·····,····,································……孔庆平戴勇(2一1)贝氏体相变机制··········································································,·‘···············,·,·····,,一徐?...
关键词:
申文竹
,
李春福
,
王朋飞
,
陈功剑
腐蚀与防护
常见的常温常压CO2腐蚀预测模型不能用于庆深气田高温高压实际环境中CO2腐蚀的预测.介绍了针对庆深气田实际环境进行的高温高压CO2腐蚀试验方法.在积累大量已有的庆深气田测井钢丝高温高压CO2腐蚀试验数据基础上,提出建立数据库的构想,以便数据管理和腐蚀速率的图形显示,方便用户快速查询和对腐蚀速率进行预测.
关键词:
CO2腐蚀
,
腐蚀预测模型
,
数据管理
,
庆深气田
