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磁控溅射技术制备硅纳米晶多层膜及微观结构表征

赵志明 , 马二云 , 张晓静 , 田亚萍 , 屈直 , 百穹 , 曹智睿 , 白力静 , 张国君 , 蒋百灵

摘要：在室温下，分别利用常规磁控溅射和反应磁控溅射技术交替沉积Si薄膜和Si1-xNx薄膜在单晶硅基体上制备了Si／Si1-xNx纳米多层膜。接下来，在高温下对Si／Si1-xNx多层膜进行退火诱发各层中形成硅纳米晶。研究了Si1-xNx层厚度和N2流量沉积对si／Si1-xNx多层膜中Si量子点形成的影响。TEM检测结果表明，N2流量为2．5mL／min时沉积的多层膜退火后形成了尺寸为20-30nm的等轴Si3N4纳米晶；N2流量为5．0mL／min时沉积的多层膜退火后在Si层和Si1-xNx层中均形成了硅纳米晶，而在7．5mL／min N2流量下沉积的Si／Si1-xNx多层膜退火后仅在Si层中形成了硅纳米晶。

关键词: 磁控溅射技术 , Si/Si1-xNx多层膜 , Si纳米晶 , Si3N4纳米晶 , TEM

反应磁控溅射制备AZO薄膜相结构的演化及机理研究

赵志明 , 丁宇 , 田亚萍 , 张晓静 , 马二云 , 白力静 , 蒋百灵

人工晶体学报

在室温下,利用直流反应磁控溅射技术在不同的氧气流量下沉积ZnO∶ Al (AZO)薄膜.采用XRD、SEM和TEM技术分析薄膜相成分、表面截面形貌及微观结构.结果表明:氧气流量为2.5 sccm时,沉积形成的薄膜为不透明具有金属导电性能的AZO/Zn( AZO)双层复合膜结构；氧气流量为3.5 sccm时,沉积形成了透明导电的AZO薄膜；氧气流量为5.0 sccm时,形成了透明不导电且含有纳米Al2O3颗粒的AZO薄膜；此外,AZO薄膜在400℃退火后,薄膜晶粒长大和(002)晶面方向择优生长更加明显以及高氧气流量沉积的AZO薄膜中的纳米Al2O3颗粒消失.

关键词: 直流反应磁控溅射 , AZO薄膜 , Al2 O3纳米颗粒

CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究

赵志明 , 丁宇 , 曹智睿 , 田亚萍 , 屈直 , 张国君 , 蒋百灵

材料导报

利用磁控溅射技术在Sode-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响.结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo靶溅射功率可以促进薄膜晶粒长大、提高薄膜的致密性、降低电阻率;合适的基片脉冲电压脉宽促进了晶核的形成、长大并有助于沉积过程中Mo晶粒长大,进而降低薄膜电阻率;通过延长预清洗时间可获得致密性好、电阻率低的Mo薄膜,所获得的Mo薄膜最低电阻率为3.5×10-5Ω·cm.

关键词: Mo薄膜 , 磁控溅射 , XRD , SEM

田口方法在钕铁硼品质分析中的应用

戎利军 , 李培忠 , 陈大力 , 李红 , 贾海军

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2009.05.016

介绍了田口方法在钕铁硼生产品质分析中的应用方法,并应用田口方法对钕铁硼产品厚度偏差问题提出了新的解决思路和解决方案.

关键词: 田口方法 , 钕铁硼 , 厚度偏差 , 品质分析

玲珑金矿田金矿成矿地质背景特征研究

戴立新 , 宿晓静 , 马德云 , 尹波

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2007.11.002

通过研究前人关于玲珑金矿田的大量科研文献,从地层和岩浆岩的成生时代、控矿构造特征,系统地分析了玲珑金矿田内金矿产出的地质背景,指出了玲珑金矿田内的找矿方向,为东山矿床深部探、找矿方案设计提供了基础依据.

关键词: 玲珑金矿田 , 成矿地质背景特征 , 成矿靶区预测

"田口方法"在吸波涂料中的应用

高焕方

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.04.025

应用"田口方法"的优化设计思想,针对吸波涂料柔韧性差、附着力低的不足及其特点.通过系统设计及参数设计详细地介绍了"田口方法"在吸波涂料中的应用,通过大量实验研制了一种柔韧性好、附着力高的吸波涂料.

关键词: "田口方法" , 吸波涂料 , 优化设计

芬顿试剂对田菁胶的氧化降解

薛蔓 , 张磊 , 崔元臣

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.023

考察了芬顿试剂对田菁胶的氧化降解行为. 系统研究了H_2O_2和Fe~(2+)用量、温度和降解时间对田菁胶粘度的影响. 结果表明,H_2O_2和Fe~(2+)合适的体积比为2:1. 在较低的温度(25 ℃)和较短的时间(20 min)内芬顿试剂就能使田菁胶粘度下降90%以上. 另外,pH值的变化对其降解性能影响不大,显示了较好的降解效果.

关键词: 芬顿试剂 , 田菁胶 , 氧化降解 , 粘度

季铵型阳离子田菁胶的制备及絮凝作用

崔元臣 , 王新海 , 李德亮 , 李明玉 , 周大鹏

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.07.015

以水、乙醇为分散介质,用季铵型阳离子试剂(CHPAC)修饰天然聚多糖大分子田菁胶,得到了高取代度的季铵型阳离子田菁胶.研究了反应条件对田菁胶中伯羟基(PHG)取代度的影响,初步探讨了季铵型阳离子田菁胶在水处理中的絮凝特性.结果表明,在n(田菁胶中伯羟基):n(阳离子试剂)=1:1、反应温度为50℃、pH值为9～10、V(乙醇):V(水)=1:10、反应时间为6 h条件下,取代度可达0.68;所得季铵型阳离子田菁胶与聚合硫酸铁复配处理城市生活废水CODcr去除率达90%,与聚合氯化铁复配处理黄河水时可使吸光度降至0.1以下.

关键词: 阳离子田菁胶 , 化学改性 , 混凝

高分子田菁胶化学结构式修饰方法综述

陈虹宇 , 唐洪波 , 王锦霞 , 谢宏伟

高分子材料科学与工程 doi:10.16865/j.cnki.1000-7555.2017.03.033

田菁胶是从田菁种子胚乳中提取的一种天然多糖类高分子有机物.天然的化学结构反映出的理化性质限制了其应用和推广.化学结构式的修饰改进是扩大其应用的有效手段.修饰改进后的田菁胶无毒、无污染,在石油开采、煤开采、纺织、印刷、造纸和食品等领域得到了广泛应用.文中对羧甲基法、羟乙基法、羟丙基法、交联法、羟烷基-羧甲基法、羧甲基-羟烷基法、阳离子法、酶解法、氧化法和两性法等田菁胶化学结构式的主要修饰改进方法进行了详述.总结了修饰改进技术注意事项,并对前景进行了展望.

关键词: 田菁胶 , 羧甲基法 , 羟基法 , 阳离子法 , 酶解法 , 改性

一种基于块模糊增强的玉米田遥感图像边缘检测方法

梁若飞 , 杨风暴 , 王毅敏 , 李大威 , 冯裴裴

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.190

针对高分一号卫星(GF-1)玉米田遥感图像中玉米田光谱复杂和地块边缘模糊导致的面积统计误差大的问题,本文提出一种块模糊增强和最小值边缘提取相结合的边缘检测方法进行玉米田地块分割处理,以减小面积统计误差.首先将彩色遥感图像从RGB变换到I1I2I3彩色空间,提取出含丰富特征的单色图I1;然后利用模糊理论对I1进行基于块的增强处理;再对增强后的图像进行最小值边缘提取;最后利用Full Lambda-Schedule算法对区域边缘进行优化.通过与Canny和Sobel等边缘提取方法比较,证明本文的边缘检测结果能有效地分割出玉米田地块目标,减少了玉米田光谱复杂和边缘模糊带来的影响,检测出的边缘更符合玉米田实际分布,玉米田面积统计结果更符合实际.

关键词: 块模糊增强 , 边缘检测 , 玉米田地块分割

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