黄君
,
毛智彪
,
景旭斌
,
曹坚
,
甘志峰
,
李芳
,
崇二敏
,
孟祥国
,
李全波
功能材料与器件学报
相对来讲,i线(i-line)抗酸性要大大强于KrF而不容易产生类似的缺陷,但器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后,由于受到分辨率(Resolution)和焦深(Depth of Focus)的限制,双栅极(Dual Gate)蚀刻所用光刻胶由之前通用的i-line(波长365nm)改成KrF(波长248nm).由于这种缺陷会导致在双栅极氧化层湿法蚀刻后应该被蚀刻去除的栅极氧化层有残留,最终导致核心器件区栅极氧化层厚度不均匀而影响器件的性能.因此,KrF抗酸性研究就成为器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后的一个课题.本文主要阐述了对双栅极氧化层湿法刻蚀中KrF光刻胶在DHF(Diluted Hydrogen Fluoride)中浸泡去除清洗过程中出现的隐形残留缺陷问题的发现,并且研究产生这种由于缺乏抗酸性而产生缺陷的机理,进而阐述通过多项基于这种现象和机理的DHF工艺蚀刻时间、光刻胶显影后烘焙硬化处理、UV光照处理、等离子体抗酸处理等实验过程及效果,最终总结出有效的解决方案:基于低温(摄氏90度)、低功率(小于1000W)下的以氧气和氮氢混合气为反应气体的Descum等离子处理非常有效地解决了光刻胶在酸液中形成残留缺陷的问题.
关键词:
贺珂
,
潘志东
,
王燕民
高分子材料科学与工程
采用机械振动干法研磨在碱性条件下对魔芋葡甘聚糖进行了机械力化学脱乙酰基的改性研究,并对经过改性的魔芋葡甘聚糖进行了红外光谱、颗粒学、流变学、吸水性以及热力学性质等方面的表征和分析.结果说明,通过机械力化学改性处理可以有效脱去魔芋葡甘聚糖中的乙酰基,乙酰基的脱除率随着处理时间的延长而提高;机械力化学改性可以降低魔芋葡甘聚糖水溶胶的触变性,提高魔芋葡甘聚糖的吸水性;脱乙酰基的魔芋葡甘聚糖具有较好的热稳定性.
关键词:
魔芋葡甘聚糖
,
脱乙酰基
,
机械力化学改性
赵媛媛
,
裴元生
,
向仁军
,
成应向
环境化学
doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.10.2016021602
给水厂残泥(WTR)已被证实为安全废弃物,掺杂WTR能显著增强土壤对有机磷农药草甘膦的吸附容量与稳定性,与此同时,WTR的掺杂可能会进一步影响土壤中草甘膦的降解行为.本研究通过单次与重复施加草甘膦实验,从土壤中草甘膦及其代谢产物的残留特征、土壤酶活性和总菌丰度等3个方面,对比分析了WTR掺杂对土壤中草甘膦降解的影响.实验结果表明,单次施加草甘膦条件下,掺杂WTR不会影响草甘膦的降解,反而能降低草甘膦在降解过程中的迁移能力,缓解高浓度草甘膦对土壤磷酸酶和脱氢酶的抑制作用,提高土壤微生物丰度;短时间(21 d)内重复施加草甘膦会导致土壤中草甘膦与AMPA的积累,同时,掺杂WTR,特别是当掺杂量≥5%时,将造成草甘膦积累量进一步增加,但其在WTR土壤具有较高稳定性,二次释放风险小.总体而言,与短时间内频繁使用大量草甘膦的农业区相比,在施用草甘膦时间间隔较长的农业区,掺杂WTR能大大降低草甘膦在降解过程中由土壤向水体迁移的风险.
关键词:
给水厂残泥
,
草甘膦
,
降解
,
土壤酶活性
,
微生物丰度
马建龙
,
戴荣继
,
潘琳
,
禹玉洪
,
孟薇薇
,
纪媛媛
,
邓玉林
高分子材料科学与工程
采用乙醇研磨法和水溶醇沉法制备魔芋葡甘聚糖,研究了两种方法对魔芋葡甘聚糖纯度、表现黏度、黏均分子量及溶解性能的影响,结果表明,水溶醇沉法制备的魔芋葡甘聚糖,其纯度、表现黏度、黏均分子量与乙醇研磨法基本相同,但溶解速率差异显著,从26.4 mg/mL·h下降到10 mg/mL·h.用红外光谱,X射线衍射,扫描电镜等方法表征了魔芋葡甘聚糖的结构,结果表明,乙醇研磨法对葡甘聚糖形态及微观结构几乎没有影响,能保留魔芋葡甘聚糖固有的性能,而水溶乙醇沉淀法由于使其分子链发生伸展、重排、卷曲、相互缠绕交织等,其表面形态和聚集态结构发生了变化,从而魔芋葡甘聚糖的溶解速率明显降低.
关键词:
魔芋
,
魔芋葡甘聚糖
,
高分子杂多糖
陈小非
,
毛礼娜
,
郭康
,
殷超凡
,
陈启明
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.06.016
目的:合成增甘膦,研究增甘膦及其复配液缓蚀性能。方法以亚磷酸、甲醛、甘氨酸为原料,在酸性条件下,合成增甘膦。通过塔菲尔曲线法和电化学阻抗谱,测试酸性条件下LY12硬铝在增甘膦溶液中的缓蚀性能,并与同类有机膦系缓蚀剂氨基三甲叉膦酸( ATMP)进行比较。同时,在碱性条件下,测试LY12硬铝在增甘膦复配液中的缓蚀性能。结果当pH=1,增甘膦缓蚀液质量分数为0.5%时,缓蚀率可达90%。在相同酸性条件及缓蚀剂含量下,增甘膦缓蚀效果较ATMP好。在碱性条件下,增甘膦单独使用缓蚀效果不佳,与三乙醇胺复配后缓蚀效果较好。当增甘膦与三乙醇胺复配含量为0.5%(质量分数)三乙醇胺+0.4%(质量分数)增甘膦时,LY12硬铝在pH=8.7体系中的缓蚀率为65.5%。结论增甘膦单独使用,在酸性条件下有很好的缓蚀效果;与三乙醇胺复配后,在碱性条件下也有较好的缓蚀效果。
关键词:
增甘膦
,
缓蚀剂
,
极化曲线
,
电化学阻抗谱
,
复配
庞杰
,
张甫生
,
康彬彬
,
田世平
高分子材料科学与工程
为进一步探索和研制高性能生物材料,以生物大分子葡甘聚糖为原材料,利用物理共混法制成复合高分子生物材料,探讨了温度、时间、电解质各因素对材料稳定性的影响.并通过DSC等分析手段从材料的动态粘弹性、相容性研究了复合材料的稳定机理.结果表明,生物大分子经共混后产生交联反应形成强度、韧弹性、稳定性等方面性能优良的复合生物材料,并初步提出生物大分子复合后形成了互穿型与内包型网络结构模式.
关键词:
葡甘聚糖
,
复合生物材料
,
物理共混
朱于鹏
,
徐梅
,
汪超
,
吕文平
,
李冬生
,
曹约泽
高分子材料科学与工程
以魔芋葡甘聚糖(KGM)为对象,红外辐照时间、辐照温度、KGM含水量及分子量为考察因子,单因素探讨了红外辐照对KGM品质的影响,同时运用静态激光光散射、扫描电镜、红外光谱及X射线衍射研究了红外辐照对KGM分子结构的影响。结果显示,KGM溶胶黏度下降率与分子量呈线性正相关,溶胶黏度随红外辐照温度升高和时间延长逐渐降低,辐照温度影响尤为显著;结构表征表明73℃的红外光照射能显著降低KGM分子量及结晶度,破坏其部分有序结构,主要为分子链氧化断链所致。
关键词:
魔芋葡甘聚糖
,
红外光
,
黏度
,
辐照温度
,
结构
李娜
,
罗学刚
,
李万利
高分子材料科学与工程
以高锰酸钾引发魔芋葡甘聚糖与丙烯酰胺的接枝共聚并流延成膜.按L16(45)正交实验主要研究交联剂、增塑剂等各因素对KGM膜拉伸强度、断裂伸长率和吸水率的影响.结果表明,当甲醛用量14mL、甘油用量10 mL、魔芋精粉与丙烯酰胺质量比1:2、反应时间3 h、高锰酸钾浓度1.0×10-3mol/L时膜的综合性能较好.
关键词:
魔芋葡甘聚糖
,
丙烯酰胺
,
薄膜
,
拉伸强度
,
断裂伸长率
,
吸水率
李祥平
,
齐剑英
,
陈永亨
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.04.017
采用新型抑制器和电导检测器,建立了大体积直接进样离子色谱法测定环境水体中草甘膦和氯乙酸的方法. 采用大容量IonPacAS9-HC阴离子色谱柱,进样体积为500 μL,以25 mmol/L Na2CO3+2.0 mmol/L NaOH为淋洗液,流速1.0 mL/min,在22 min内可以测定环境水体中的草甘膦、氯乙酸,其中草甘膦、二氯乙酸、三氯乙酸的检出限分别为0.03、0.005、0.014 mg/L(S/N=3),回收率在92.6% ~103.9%. 用于测定河水和自来水中的草甘膦、二氯乙酸及三氯乙酸,结果令人满意.
关键词:
离子色谱
,
二氯乙酸
,
三氯乙酸
,
草甘膦
,
环境水体