柴士磊
,
史新伟
,
周秋霞
,
靳慧智
,
姚宁
,
王新昌
,
张兵临
材料保护
在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜.利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态.结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2 h时,薄膜与衬底的结合力最好.
关键词:
MPCVD
,
微-纳米复合金刚石薄膜
,
附着力
,
界面
杨晓朋
,
宋平新
,
王新昌
,
姚宁
,
张兵临
材料导报
移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势.
关键词:
压电薄膜
,
金刚石
,
声表面波
周秋霞
,
史新伟
,
靳慧智
,
姚宁
,
王新昌
材料导报
概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展,详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响,总结出提高附着力的主要方法,并分析了金刚石薄膜的应用状况,指出了扩大金刚石薄膜应用的新方向及存在的主要问题.
关键词:
金刚石薄膜
,
附着力
,
预处理
,
过渡层
,
沉积条件
梅金丽
,
田永涛
,
程亮
,
王新昌
,
李光明
,
李新建
材料导报
采用低温气相传输方法,在不同的氧分压、生长时间、生长温度和衬底上有无Ni等生长条件下合成一系列一维ZnO纳米结构.结果显示,衬底上沉积的Ni会导致产物的结构多样化,温度的不同会影响纳米线的排列分布,并且这些生长条件对产物的尺寸都有影响.因此改变生长条件能改变znO的形貌,可能在一定程度上实现ZnO的可控生长.
关键词:
氧化锌
,
可控生长
,
生长机制
王新昌
,
田四方
,
贾建峰
,
王前进
材料科学与工程学报
采用脉冲激光沉积技术,在以c轴取向ZnO作为缓冲层的金刚石/硅基底上制备出了结晶良好的高c轴取向LiNbO3薄膜.利用X射线衍射对薄膜的结晶质量和c轴取向性进行了研究,结果表明制得的LiNbO3薄膜具有高度c轴取向且结晶质量良好.采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析,发现薄膜表面光滑,晶粒尺寸均匀,薄膜表面粗糙度约为20nm.
关键词:
LiNbO3压电薄膜
,
金刚石/硅基底
,
脉冲激光沉积
王新昌
,
叶志镇
材料导报
LiNbO3薄膜具有优良的压电、热释电、声光及非线性光学特性,在光电子学及集成光学等领域有许多重要应用.着重介绍LiNbO3的结构、性质与薄膜制备技术,以及在光通信领域中的应用.
关键词:
LiNbO3
,
薄膜
,
制备
,
光通信
刘少辉
,
贾建峰
,
王娇
,
胡行
,
王新昌
,
刘世江
材料科学与工程学报
采用溶胶凝胶法制备了Li掺杂的NiO基氧化物热电材料,研究了Li掺杂对其热电性能的影响,实验结果表明：在x=0.03,0.06,0.09掺杂比例范围,Li＋很好地进入了NiO的晶格,没有形成新的杂相。热电性能测试结果显示,在室温至750K的范围内随着Li掺杂量的增加,电导率显著增加,而样品的Seebeck系数随着掺杂浓度增高明显降低,样品Ni0.94Li0.06O在750K的功率因子PF=1.9×10-5 W.m-1.K-2,随温度升高,PF增加趋势明显,表明在高温环境中可具有更大的PF。
关键词:
NiO
,
溶胶凝胶
,
热电材料
王英华
,
王新昌
,
李光明
,
张兵临
,
田永涛
,
姚宁
人工晶体学报
利用未采用催化剂的真空热蒸发法合成了不同形貌的硅基ZnO纳米结构,研究了氧分压对纳米ZnO结构及光学性能的影响.研究结果表明氧分压对ZnO纳米结构的形貌及光学性能具有明显的影响,在氧分压为25%、10%和5%时制得的纳米ZnO结构分别为纳米线、纳米带和纳米梳.X射线衍射测试表明制得的不同ZnO纳米材料均为六方纤锌矿结构,并具有明显的c轴择优取向性.采用PL谱对制备纳米结构的光学性能进行了测试.
关键词:
热蒸发沉积法
,
ZnO纳米结构
,
氧分压
,
形貌
,
光学性能
王晓
,
史新伟
,
崔立斌
,
王新昌
,
姚宁
稀有金属材料与工程
使用直流磁控溅射法,通过改变沉积压强在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.通过椭圆光谱法研究了TiO2薄膜的光学性能;利用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射对薄膜的表面形貌和结构进行了表征.结果表明:压强的大小在磁控溅射法制备TiO2薄膜过程中能有效控制其晶粒尺寸、膜厚及薄膜的折射率.压强越大,晶粒尺寸越小,吸收边“蓝移”越明显;薄膜厚度随压强的增大先增加后减小;平均折射率随压强的增大呈下降趋势,消光系数在可见光波段的平均值趋于零.
关键词:
TiO2薄膜
,
椭圆光谱法
,
磁控溅射
,
压强
曹亮亮
,
叶志镇
,
王新昌
材料导报
LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.
关键词:
LiNbO3
,
薄膜
,
声表面波
,
压电性能
