刘春海
,
罗宏
,
金永中
,
宋忠孝
,
陈顺礼
,
汪渊
,
安竹
,
刘明
稀有金属材料与工程
提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层.该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率.用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)进行薄膜电性能和结构的表征.分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构和金属Ta中的N原子浓度,从而获得低阻a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构.600℃高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性.
关键词:
扩散阻挡层
,
电阻率
,
热稳定性
,
微结构
谢莎
,
邓爱红
,
王康
,
王玲
,
李悦
,
王勇
,
汪渊
材料研究学报
用磁控溅射方法制备纳米多晶钨膜,采用x射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM),弹性反冲探测(ERD)和慢正电子束分析(SPBA)等手段研究了在高能He+和H+依次对其辐照后He相关缺陷对H滞留的影响.结果表明,注He+钨膜在退火后从β型钨向α型钨转变；钨膜中的He含量随着退火温度的提高而减少,在873 K退火加剧钨膜中He原子的释放,且造成钨膜空位型缺陷的增加和结构无序度的提高；钨膜中的H滞留总量随着He滞留总量的减少略有下降.
关键词:
金属材料
,
磁控溅射钨膜
,
慢正电子束分析
,
H
,
He
汪渊
,
徐可为
金属学报
用反应磁控溅射的方法制备了MgO薄膜. 基于原子力显微镜观测, 并借助Fourier变换, 计算了薄膜表面形貌的分形维数. 发现分形维数变化对应于薄膜溅射模式的变化, 二者之间有相关性. 氧分压30%的分形维数是一个临界点. 分形维数若发生明显跌落, 意味着溅射模式发生变化. 界于临界值两侧的分形维数, 分别对应两种截然不同的溅射模式. 与临界值对应的溅射状态则处于金属模式和氧化物模式的混和状态.
关键词:
反应溅射
,
null
,
null
,
null
周洪国
,
汪渊
,
尉秀英
,
秦光荣
,
熊玉华
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.01.010
利用丝网印刷技术制备Zr-V-Fe吸气剂薄膜.以Pb玻璃粉作为薄膜与基片的粘结剂,研究了三种不同退火温度下制备的Zr-V-Fe吸气剂薄膜的吸气性能,通过XRD,FESEM,EDS及吸气性能测试,分析讨论了薄膜的相组成、表面形貌和表面成分对吸气性能的影响.结果表明,退火温度变化会使薄膜表面Pb含量发生改变,从而引起吸气剂薄膜的吸气性能发生变化,在玻璃粉的熔点温度(350 ℃)进行退火,所得的薄膜具有更多清洁有效的表面,此时玻璃粉对薄膜的吸气性能影响最小,薄膜的吸气性能最佳.
关键词:
玻璃粉
,
丝网印刷
,
吸气剂薄膜
,
吸气性能
,
退火
汪渊
,
陈元华
,
徐可为
,
马栋林
,
范多旺
金属学报
提出了一种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,
并据此研究了磁控溅射Cu--W薄膜表面结构特征随退火温度的演变. 结果表明, 薄膜表面
聚合过程有两个不同阶段: 孔洞处形核和颗粒生长; 薄膜表面形貌分形维数可很好地描
述表面粗化程度. 研究发现, 表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感. 指出这种结
合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法, 可以较灵敏地探测到Cu--W薄膜
表面结构各向异性变化.
关键词:
Cu-W薄膜
,
null
,
null
汪渊
,
李晓华
,
宋忠孝
,
徐可为
,
尉秀英
稀有金属材料与工程
以不同温度真空原位退火工艺为手段,促使制备在单晶Si(100)和Al2O3基底上的Cu-W薄膜发生相变.用X射线衍射(XRD)分析晶体取向,偏振相位移技术分析薄膜残余应力.结果表明,随退火温度变化,薄膜相变呈现连续变化,由初始的非晶态晶化,出现类W的亚稳态固溶体相,以及随退火温度的进一步增加,发生Spinodal分解,亚稳固溶体完全分解为W和Cu两相.薄膜发生相变时产生拉应力作用,而在晶粒生长阶段,拉应力释放.
关键词:
Cu-W薄膜
,
相变
,
残余应力
,
真空退火
王茂
,
汪渊
稀有金属材料与工程
提出利用氦渗透法优化LiFePO4材料的结晶生长过程,达到提高材料电化学性能的目的.采用磁控溅射法制备含氦LiFePO4薄膜电极,利用扫描电镜观察样品的微观形貌,发现样品表面与截面皆呈现多孔结构.用X射线衍射仪分析含氦LiFePO4薄膜电极的晶体结构.结果表明,氦渗入薄膜后显著增强了材料在29.81°的衍射峰强度,而此处正对应了锂离子在LiFePO4材料中的扩散路径([010]方向).这表明含氦LiFePO4薄膜中存在有利于材料脱锂/嵌锂的结晶择优生长取向,会导致薄膜电极电化学性能的提高.
关键词:
结晶生长取向
,
LiFePO4
,
氦
,
倍率性能
汪渊
,
陈元华
,
徐可为
,
马栋林
,
范多旺
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.02.003
提出了-种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,并据此研究了磁控溅射Cu-W薄膜表面结构特征随退火温度的演变.结果表明,薄膜表面聚合过程有两个不同阶段:孔洞处形核和颗粒生长;薄膜表面形貌分形维数可很好地描述表面粗化程度.研究发现,表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感.指出这种结合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法,可以较灵敏地探测到Cu-W薄膜表面结构各向异性变化.
关键词:
Cu-W薄膜
,
表面各向异性
,
相结构
,
小波变换和分形
张立东
,
王飞
,
陈顺礼
,
汪渊
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2013.00207
通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明,Cu/(AlCrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和(AlCrTaTiNi)N的粘附性.AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.
关键词:
高熵合金
,
双层扩散阻挡层
,
热稳定性
