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等离子体浸没离子注入与沉积合成TiN薄膜的滚动接触疲劳寿命和机械性能

刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 , 周荣锋 , 金青林 ,

金属学报

用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI52100轴承钢表面成功合成了高硬耐磨的氮化钛(TiN)薄膜。膜层元素分布、化学组成和表面形貌分别用X射线衍射(XRD)、X光电子能谱(XPS)和原子力显微镜 (AFM)表征。合成薄膜前后试样的滚动接触疲劳寿命和摩擦磨损性能分别由球棒疲劳磨损试验机和球-盘磨损试验机测定;疲劳破坏后的微观形貌通过扫描电镜(SEM)观察;薄膜力学性能经纳米压痕和纳米划痕试验评价。结果表明,表面膜层中主要存在TiN相,同时含有少量的TO2和钛氮氧的化合物;在优化条件下,氮化钛膜层致密均匀,与基体结合良好,具有很高的硬度和杨氏模量,分别达到25 GPa 和350 GPa;最低摩擦系数由基体的0.92下降到0.2。被处理薄膜试件在90%置信区间下的最大L10、L50、La和L寿命较基体分别提高了5.5倍、2.8倍、2.3倍和2.2倍,疲劳寿命的分散性得到了显著改善.

关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积 , titanium nitride (TiN) film

2Cr13钢的全方位离子注入与离子束增强沉积复合表面强化处理

刘洪喜 , , 王浪平 , 王小峰 , 王宇航 , 于永澔

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2005.02.007

对2Cr13不锈钢表面进行了等离子体浸没离子注入(PIII)与离子束增强沉积(IBED)复合强化处理.对强化后的试样进行了俄歇电子能谱(AES)、X光电子能谱(XPS)分析及显微硬度、摩擦磨损和耐腐蚀性能测试.结果表明,处理后的试样表面层中含有强化相TiN和CrN;与基体相比,被处理试样的显微硬度显著增大,最大增幅达80.4%;摩擦系数降至0.2~0.3,磨痕宽度最大减少了近4倍;腐蚀电位最大提高了5倍,腐蚀电流密度减少了26倍.磨损中粘着现象大大减轻,耐磨耐蚀性能得到了显著改善.

关键词: 全方位离子注入(PIII) , 离子束增强沉积(IBED) , 2Cr13不锈钢 , 耐磨耐蚀性能

TC4合金表面全方位离子注入Ag的耐摩擦磨损和抗腐蚀性能

刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 , 詹肇麟 , 杨天武 ,

稀有金属材料与工程

为改善TC4合金表面的耐磨性能和抗腐蚀性能,用等离子体浸没离子注入(PIII)技术在合金表面注入不同剂量的金属银.采用XRD、XPS、AES等方法分析改性层的元素浓度分布和化学组成,研究Ag离子注入后试样表面的耐摩擦磨损性能、抗腐蚀性能、纳米硬度和弹性模量.结果表明,表面改性层中主要存在Ag相,同时含有少量的TiAg;处理后注入剂量为1×10~(17) ions/cm~2试样的纳米硬度和弹性模量分别提高62.5%和54.5%;磨损面积减小57.6%;摩擦系数由基体合金的0.78下降到0.2.在3.5%NaCl溶液中的腐蚀电位升高,腐蚀电流密度明显减小,耐蚀性得到了显著改善.

关键词: 等离子体浸没离子注入(PIII) , TC4合金 , Ag , 耐摩擦磨损 , 抗腐蚀性能

全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能

刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 ,

材料热处理学报

用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜.膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀.Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp~3)和石墨键(sp~2)组成的混合无定形碳膜,且sp~3键含量大于10%.以纯石墨棒做阴极,C_2H_2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp~3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp~3键含量高.与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍.

关键词: 类金刚石碳膜(DLC) , 等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID) , Raman光谱 , AISI440C不锈钢

TiC薄膜对轴承钢表面滚动接触疲劳寿命和力学性能的影响

刘洪喜 , 王浪平 , 王小峰 , , ,

金属学报

摘要 利用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了碳化钛(TiC)薄膜.测试了合成薄膜后试样表面的化学组成、摩擦磨损性能、纳米硬度、弹性模量和滚动接触疲劳寿命,观察了疲劳破坏后试样断面的光学形貌.XRD结果表明处理后试样表面形成了TiC相.光学显微镜下疲劳裂纹的萌生和扩展形貌揭示出疲劳破坏可能存在表面磨损和膜层剥离两种形式.在赫兹接触应力为5.1GPa,90%置信区间条件下的疲劳寿命延长了5.5倍;最大微观硬度和弹性模量分别增加了28.4% 和 12.1%;相同磨损条件下的摩擦系数从0.95下降到0.15.因此,PIII&D技术能有效的提高轴承钢的滚动接触疲劳寿命和改善其表面的综合机械性能.

关键词: 等离子浸没离子注入与沉积 , Titanium carbide film , Rolling contact fatigue (RCF)

钇的预注入对Ti-6Al-4V合金氮等离子体浸没离子注入行为的影响

王浪平 , , 王小峰 , 王松雁 , 刘爱国 , 田修波

中国稀土学报

为了提高氮等离子体浸没离子注入Ti-6Al-4V合金时氮原子的峰值深度, 利用钇来增加氮在基体中的注入深度和扩散深度, 先用20 kV的电压进行钇等离子体浸没离子注入处理, 然后用30 kV的电压进行氮等离子体浸没离子注入处理. 俄歇能谱测试表明氮原子的峰值深度有明显提高, 注钇时间为30 min的试件, 氮原子的峰值深度从50 nm上升到100 nm. 摩擦性能测试表明处理后试件的抗磨损能力大大提高.

关键词: 稀土 , , 钛合金 , 等离子体浸没离子注入 , 峰值深度

钛合金的等离子体浸没离子注入表面强化处理

刘洪喜 , , 王浪平 , 王小峰

稀有金属材料与工程

研究了等离子体浸没离子注入(PⅢ)技术对Ti6Al4V合金表面性能的影响.分析比较了灯丝放电PiⅢ和射频辉光放电PⅢ对基体表面进行氮离子注入后的改性效果.应用X射线衍射仪(XRD),扫描电镜(SEM)分析了注入层的相组成和组织结构;测试了经不同PⅢ工艺参数处理后试样的显微硬度和摩擦磨损性能.结果表明:氮离子注入使Ti6Al4V的粗大晶粒(α-β相)转变为细小致密的晶粒,表面层中形成了耐磨相TiN;处理后试样表面的显微硬度提高了80%,摩擦系数降到0.16,抗磨损性能得到了显著提高.

关键词: 等离子浸没离子注入 , Ti6Al4V , 显微硬度 , 摩擦磨损性能

9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究

刘洪喜 , , 王小峰 , 王浪平 , 于永澔 , 孙韬

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.02.004

采用不同的等离子体浸没离子注入(PⅢ)工艺在9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛(TiC)、类金刚石(DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD).对处理后的试样进行了X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、俄歇电子能谱(AES)和拉曼光谱(Raman)分析;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数.结果表明:处理后试样表面均形成了不同的改性层,且改性层中化学组成和各元素的浓度-深度分布随处理工艺的不同而变化;处理后试样的显微硬度都有较大提高,最大增幅达77.7%;表面摩擦系数由0.8下降到0.16;磨痕宽度减少了23倍;与PⅢ工艺相比,相同参数下,PⅢD处理后的试样表面综合性能更加优异.

关键词: 等离子体浸没离子注入(PⅢ) , 等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD) , 9Cr18轴承钢 , 摩擦磨损性能

等离子体浸没离子注入改善45钢的摩擦学性能

刘洪喜 , , 王浪平 , 王小峰 , 于永澔 , 孙韬

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2004.06.020

采用灯丝放电和射频(RF)辉光放电等离子体浸没离子注入(PⅢ)工艺对45钢表面进行了氮离子注入强化处理.通过X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度、针-盘磨损和电化学腐蚀试验等测试手段,分析比较了经灯丝放电PⅢ和RF辉光放电PⅢ改性后试样表面元素的浓度分布、显微硬度、摩擦磨损性能和耐腐蚀性能.结果表明:不同条件下的氮离子注入均能提高45钢表面的显微硬度、耐磨性和抗腐蚀性能;且RF辉光放电PⅢ处理后试样的显微硬度提高了76.8%,摩擦系数下降到0.3,与灯丝放电PⅢ处理后的试样相比,其表面强化效果更加明显.

关键词: 等离子体浸没离子注入(PIII) , 45钢 , 摩擦磨损性能 , 耐腐蚀性

类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响

刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 , 詹肇麟 ,

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2009.01.009

使用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在轴承钢基体表面合成类金刚石(DLC)薄膜,研究了薄膜的结构和性能,结果表明,所制备的DLC薄膜主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳,且sp3键含量大于10%,DLC膜层致密均匀,与基体结合良好,DLC膜具有很高的硬度和杨氏模量,分别达到40 GPa和430 GPa;其最低摩擦系数由基体的0.87下降到0.2,被处理薄膜试件在90%置信区间下的L10、L50、La和平均寿命L较基体分别延长了10.1倍、4.2倍、3.5倍和3.4倍,PIII&D轴承钢滚动接触疲劳寿命的分散性得到了显著改善.

关键词: 材料表面与界面 , 等离子体浸没离子注入与沉积 , 类金刚石薄膜 , 滚动接触疲劳寿命 , 轴承钢

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