李志明
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江海鹰
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李金屏
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甘小冰
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胡仕刚
人工晶体学报
本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化.为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量.
关键词:
MOCVD
,
有限元
,
均匀性
张涛
腐蚀与防护
doi:10.11973/fsyfh-201506012
针对湛江海洋环境冶金设施紧固件防腐蚀需要,设计并研究了粉末渗锌和锌铝膜复合涂层防腐蚀体系.采用浸涂烘干焙烧方法制备锌铝膜涂层,利用电化学方法测试粉末渗锌和锌铝膜复合涂层的性能.结果表明,采用主要成分为鳞片锌粉285 g/L、鳞片铝粉65 g/L和钼酸钠30 g/L等组成的涂液体系进行浸涂并经70~80 C干燥及300 C焙烧可制备性能较好的锌铝膜,锌铝膜和渗锌层与钢基体相比同属于阳极,其自腐蚀电位和自腐蚀电流密度明显低于40Cr钢基体;3.5%NaCl中锌铝膜在约-0.80 V~-0.30 V(Ag/AgCl)电位区间存在钝化现象.
关键词:
锌铝膜
,
渗锌
,
防腐蚀
,
紧固件