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SiC厚膜快速外延生长刻蚀工艺研究?

, 王英民 , 李斌 , 赵高扬

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.01.024

10 kV以上高压功率器件的应用提出了高质量快速4H-SiC 外延生长工艺要求.4°4H-SiC 厚膜外延生长时,对于器件制备不利的三角缺陷和台阶聚并是常见问题,使用 HCl气体作为含Cl化合物,研究了不同刻蚀工艺、不同刻蚀温度对于4H-SiC外延层质量的影响.采用1620℃ HCl气体刻蚀衬底5 min,1600℃外延生长的工艺,可以有效降低三角缺陷数量,同时避免台阶聚并的形成.通过刻蚀工艺,以平均55.2μm/h 的外延速率生长了平均55.2μm厚的高质量4H-SiC外延层,三角缺陷数量<1个/cm2,表面粗糙度0.167 nm.

关键词: 同质外延 , 氯化氢 , 快速外延 , 刻蚀工艺

轧辊光纤激光化工艺试验

赵子强 , 张岩 , 裴悦凯 , 王潇 , 张瑞华 , 赵琳

钢铁研究学报 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0963.20130308

利用光纤激光化系统对轧辊进行了化试验,研究了激光化参数对化点阵和粗糙度的影响,并尝试开发了激光无序化工艺.研究结果表明,激光有序化工艺条件下,化点尺寸、形态一致,呈现火山口形貌.激光功率、脉冲频率和脉冲占空比对化点尺寸有较大的影响,而激光功率、脉冲占空比和侧吹气体流量对化粗糙度具有明显的作用.采用脉冲频率调制的方式实现了光纤激光无序化工艺.无序化后,冷轧线工作辊表面粗糙度约为2.2μm,化峰值密度在75 cm-1以上;镀锌线光整机工作辊粗糙度约为3.2μm,化峰值密度在85cm-1以上,平均峰值密度达到了95cm-1.所开发的激光无序化工艺已应用于实际生产.

关键词: 光纤激光 , 有序 , 无序 , 脉冲调制 , 粗糙度 , 峰值密度

涂装絮状缺陷的分析及解决

王戈 , 李杰

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2004.02.009

油漆或粉末涂装涂层表面的杂质缺陷是常见的涂装质量问题,其中絮状物质的影响往往容易被忽视,因为絮状物质的来源多样解决起来也难于对症,而其自身的特点决定了治理的投入较大.除对絮来源进行了分析外,还给出了相应的解决方案,对钢板工件毛刺挂带的絮提出一种解决的新思路.

关键词: 涂装 , 絮类缺陷 , 涂层

不锈钢光纤激光化及其摩擦性能

符永宏 , 王浩 , 杨烨刚 , 符昊 , 华希俊

表面技术

目的:研究光纤激光化应用于模具表面,改善其摩擦特性的可行性。方法采用单因素变化法,研究激光功率、脉宽、频率、离焦量对化形貌的影响规律,分析化区域的显微硬度,并对不同形貌的化试样和光滑试样的摩擦性能进行对比。结果匹配特定的参数,可获得火山口形貌或球冠状形貌。化区域的硬度相对基材提高显著,最大提高了近4倍。同时,在模拟冷冲压拉深模具低速重载工况的摩擦实验中,化试样的摩擦系数比光滑试样大,同时随着化点直径、间距的增大,摩擦系数相应减小。结论激光化技术可对材料表面进行改形改性,能够用于优化模具表面摩擦特性。

关键词: 光纤激光 , 化形貌 , 显微硬度 , 摩擦特性

缝衬套制备技术综述

康晓军 , 黎向锋 , 左敦稳 , 邱佳斌 , 龚靖平

兵器材料科学与工程

综述国内外缝衬套的应用情况及研究现状,介绍缝衬套的主要特征及制备原理。通过对比国内外缝衬套的优缺点,分析缝衬套制备技术现存问题,对提高缝衬套制备技术具有重要的指导意义。

关键词: 缝衬套 , 双轴柔性滚弯 , 抗疲劳制造

机械压缩蒸发工艺处理洗废水实验研究

武江津 , 安同艳 , 孙长虹

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2011.03.043

利用机械压缩蒸发工艺对洗废水进行浓缩实验研究,对出水水质、蒸发量、耗电量等参数进行了考察,并进行了能耗和运行费用分析.实验结果表明,采用机械压缩蒸发工艺将洗废水TS由29.2 g/L浓缩至342.6 g/L过程中,CODcr由42.8 g/L浓缩到463.3 g/L,出水CODcr在100~311 mg/L,吨水耗电量为43.3~75.7 kW.h/t,与四效蒸发相比,节能显著,运行费用低.机械压缩蒸发是一种很有前景的高浓度工业废水处理技术.

关键词: 机械压缩蒸发 , 废水 , 热泵

电沉积铬化工艺及影响参数的研究

谭勇 , 于晓中 , 刘常升 , 孙杰

钢铁钒钛

常规的轧辊化工艺生产的化辊由于粗糙度衰减过快,使用寿命低,化冷轧辊表面形貌中凹坑多于凸起,不利于带钢对其表面粗糙度的复制.为了提高化冷轧辊的使用寿命,设计了一种在IF钢表面电沉积铬化的工艺:以脉冲电源为试验电源,以铬镀层的表面粗糙度Ra及硬度为考察对象,采用直流脉冲进行试验.试验结果表明,通过脉冲电沉积在850mA/cm2的电流密度下其Ra达到3.79μm,得到了具有一定粗糙度且结晶状态为半球状的铬镀层,实现了金属表面的化.通过脉冲电沉积工艺得到的化镀层其硬度(HV)达到1000.

关键词: 冷轧板 , 电镀铬 , 脉冲电镀 , 轧辊 ,

TC4钛合金电子束化的实现方法和试验分析

王西昌 , 郭恩明 , 巩水利 , 李斌

稀有金属材料与工程

提出了一种钛合金电子束化技术实现方法.借助于新型电子束扫描控制系统,通过扫描波形的特殊设计,可以实现电子束化技术,从而在金属表面产生高约几毫米的毛刺.利用这种实现方法,通过选取不同的扫描波形和扫描频率获得了各种不同的毛刺形貌,并进行了毛刺的组织分析.结果表明:六边汇聚型扫描波形化效果最理想,而合适的扫描频率同样也是产生化形貌的关键.毛刺的微观组织区域分成了边缘区、中心区、热影响区和母材.

关键词: 电子束 , 扫描波形和频率 , 毛刺 , 六边型汇聚 , 微观组织

提高小钢包自动浇率

朱纪衡 , 陈树林 , 周淑华 , 张海平

连铸 doi:10.3969/j.issn.1005-4006.2005.04.016

对影响小吨位钢包钢水自动浇率的因素进行分析,并结合安钢的实际情况,通过提高引流砂质量,改进座砖、上水口的结构,减少钢水待浇时间,修改转炉出钢口角度等措施,使二炼钢厂钢包自动浇率达到77.36%.

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