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硅基高度择优取向PZT厚膜的制备及性能研究

刘保亭 , 程春生 , 赵庆勋 , 闫正 , 马良 , 李锋 , 武德

功能材料

应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/ Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm.研究了异质结的结构和性能.实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以及较高的极化强度和较小的极化强度对脉冲宽度的依赖性;当外加电压为50V时,电阻率仍>108Ω·cm.

关键词: 硅衬底 , 锆钛酸铅 , 溶胶-凝胶法 , 厚膜

高介电栅介质材料HfO2掺杂后的物理电学特性

武德 , 姚金城 , 赵红生 , 张东炎 , 常爱民 , 李锋 , 周阳

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.012

采用激光分子束外延法(LMBE)在P型Si(100)衬底上沉积了(HfO2)x(Al2O3)Y(NiO)1-x-y,栅介质薄膜,研究了其热稳定性以及阻挡氧扩散的能力.X射线衍射表明在HfO2中掺入Ni和Al元素明显提高了其结晶温度.原子力显微镜测试显示:在N2中退火后薄膜表面是原子级平滑连续的,没有发现针孔.900℃N2中退火后的薄膜在高分辨透射电镜下没有发现硅酸盐界面层.实验结果表明在氧化物薄膜与硅衬底之间引入Ni-Al-O置入层能够防止硅酸盐低介电界面层的生成,这有利于MOS晶体管的进一步尺度缩小.

关键词: 高介电栅介质材料 , 激光分子束外延 , 二氧化铪

沉积温度对LaNiO3薄膜结构和性能的影响

刘保亭 , 武德 , 闫正 , 乔晓东 , 赵庆勋 , 王英龙

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.016

采用磁控溅射法在(001)SrTiO3 基片上制备了LaNiO3氧化物薄膜,应用X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)、四探针测试仪等技术系统研究了沉积温度对LaNiO3薄膜结构和性能的影响.结果表明在较低的生长温度和较宽的温度范围内(250~400℃)都能得到外延LaNiO3薄膜.输运性质的测量结果表明在其它条件不变的情况下,250℃温度下生长的LaNiO3薄膜具有最高的电导率.

关键词: LaNiO3 , 外延薄膜 , 磁控溅射

高介电栅介质材料研究进展

武德 , 赵红生 , 姚金城 , 张东炎 , 常爱民

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00865

传统的栅介质材料SiO2不能满足CMOS晶体管尺度进一步缩小的要求, 因此高介电栅介质材料在近几年得到了广泛的研究, 进展迅速. 本文综述了国内外对高介电材料的研究成果, 并结合作者的工作介绍了高介电栅介质在晶化温度、低介电界面层、介电击穿和金属栅电极等方面的最新研究进展.

关键词: 高介电栅介质 , recrystallization temperature , lowK interface layer , metal gate

高介电栅介质材料研究进展

武德 , 赵红生 , 姚金城 , 张东炎 , 常爱民

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.001

传统的栅介质材料SiO2不能满足CMOS晶体管尺度进一步缩小的要求,因此高介电栅介质材料在近几年得到了广泛的研究,进展迅速,本文综述了国内外对高介电材料的研究成果,并结合作者的工作介绍了高介电栅介质在晶化温度、低介电界面层、介电击穿和金属栅电极等方面的最新研究进展.

关键词: 高介电栅介质 , 晶化温度 , 低介电界面层 , 金属栅电极

管线钢皮原因探讨

巨建涛 , 折媛 , 张朝晖 , 鲁思渊 , 吕振林

钢铁

通过金相观察、扫描电镜和EDS分析,对国内某钢厂生产的L245MB(B)管线钢出现的皮缺陷进行了研究,发现连铸坯出现表面微裂纹且裂纹附近存在O、Si、Al、Ca和Cu元素的富集,确定铸坯中存在的氧化物夹杂及铜含量的超标引起的铸坯表面微裂纹是导致热轧卷板表面皮的主要原因,钢的清洁度和连铸工艺是皮的重要原因.分析了非金属氧化物、铜等低熔点金属及连铸工艺对铸坯表面微裂纹的影响机理,并由此提出了相应的防止措施.

关键词: , 表面裂纹 , 氧化物夹杂 , 管线钢

管线钢皮原因探讨

巨建涛

钢铁

通过金相观察、扫描电镜和EDS分析,对国内某钢厂生产的L245MB(B)管线钢出现的皮缺陷进行研究。发现连铸坯出现表面微裂纹且裂纹附近存在O,Si ,Al,Ca和Cu元素的富集,确定铸坯中存在的氧化物夹杂以及铜含量的超标所引铸坯的表面微裂纹是导致热轧卷板表面皮的主要原因。分析了非金属氧化物以及铜等低熔点金属对铸坯表面微裂纹的影响机理。并由此提出了相应的防止措施。

关键词: 皮;表面裂纹;氧化物夹杂;管线钢

带钢皮成因分析及改进

李萌 , 柴斯羽 , 肖鹏程 , 朱立光 , 刘增勋

钢铁钒钛 doi:10.7513/j.issn.1004-7638.2017.02.028

针对某厂Q195冷轧镀锌带钢皮缺陷,应用金相显微镜、大样电解、扫描电镜及能谱分析对冶炼过程中各工序钢水内的大型夹杂物及显微夹杂物进行分析.结果表明,冷轧缺陷主要是由于钢包卷渣和钢包耐火材料剥落所致.通过优化生产工艺及调整钢包浇注料材质等措施,基本消除了冷轧带钢表面皮和镀锌挂渣缺陷,提高了镀锌板表面光洁度.

关键词: 冷轧带钢 , , 夹杂物 , 卷渣 , 镀锌挂渣

螺栓外围涂层"皮"脱落分析

曾敏生

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2005.05.003

对螺栓外围涂层容易"皮"脱落的现象进行了分析.讨论了各变形因素、磷化膜层、涂层硬度与厚度及环境温度件对涂层脱落的影响,得出磷化膜层质量、厚度和工件变形是引起涂层脱落的主要原因.对工艺改进后,涂层脱落现象完全消除.总结了一般涂层体系内存在的附着力、内聚力和内应力三者的大小关系及其对涂层体系的不良影响.

关键词: 螺栓外围 , 涂层 , 脱落 , 变形

60 kg/m级钢轨表面皮缺陷分析

任安超 , 吉玉 , 张友登

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2007.06.013

60kg/m钢轨在运行一段时间后表面出现皮缺陷.采用金相检验和低倍检验等方法对表面皮钢轨的显微组织和低倍特征等方面进行了分析和研究.结果表明,皮缺陷的形成是由铸坯角部裂纹和中间裂纹缺陷所引起的.提出了改进措施.

关键词: 60kg/m钢轨 , 表面 , 金相组织

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