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LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进

王文博 , 王晓慧 , 黄苒 , , 杜寰 , 夏洋 , 韩郑生 , 冯亚云 , 凌志华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.05.021

介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进.通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小.

关键词: LCOS , 微显示 , CMP , 镜面电极

用PECVD制备高抗腐蚀性能SiNx薄膜的工艺研究

刘瑞文 , 焦斌斌 , , 陈大鹏

功能材料

研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺.通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的变化.制备出的氮化硅薄膜可在高温强碱溶液(70℃、33.3% KOH溶液)中支撑12h而无明显变化,并实现自支撑全镂空薄膜.

关键词: 等离子增强化学气相淀积(PECVD) , SiNx薄膜 , 湿法腐蚀

LCoS反射层的实验研究

, 宋玉龙 , 刘明 , 凌志华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2005.06.017

LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术.铝膜作为LCoS的反射电极,要求有较高的反射率和电导率.采用电子束蒸发的方法,以高纯度的Al为靶材,硅片为衬底,制备了不同厚度的Al反射膜,并测量了在可见光范围内反射率曲线,分析了薄膜的致密性和电导率.实验结果表明,当Al层很薄时,膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,膜的导电性不好;如果沉积较厚(1 μm以上)则容易形成"铝丘",即出现多晶态的A1分布,一方面使A1膜表面粗糙,降低其镜面反射率,同样也将严重影响Al膜的电学性能.选定50 nm厚度Al膜作为LCoS的反射层为最佳.

关键词: LCoS , 电子束蒸发 , 反射率 , 电导率

LCoS芯片p-n结光生电流理论分析

, 李大勇 , 刘明

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.01.006

LCoS中像素有源驱动电路受到光照后会在p-n结上产生光生漏电流,而光生漏电流的产生会引起LCoS的图像对比度退化,直接影响其成像质量.从光学和半导体器件物理两方面出发,分析了光生漏电流的产生机理,指出了影响漏电流大小的主要因素是入射光功率和挡光层的厚度.以Al膜作为挡光层材料,实际测量了不同厚度Al膜在可见光范围内的反射率,并在测量数据的基础上分别计算了不同情况下的光生电流的大小.当Al膜厚度为50 nm时,光生电流最大仅为5.15×10-10A,可以抑制光生漏电流的产生,满足了LCoS的实际使用时的要求.

关键词: LCoS , p-n结 , 光生漏电流 , 挡光层

国产Ⅲ车用三效催化剂研究

张爱敏 , 宁平 , 贺小昆 , 赵云昆 , 黄荣光

稀有金属材料与工程

为配合3种国产车达到Ⅲ排放标准,以一种性能优异的铈锆固溶体作为储氧材料,制成3种规格的三效催化剂.分别对100 h台架快速老化前后的催化剂活性及催化剂老化前后与整车匹配后的排放情况,通过发动机台架活性评价装置、发动机快速老化试验台和整车转鼓试验进行了研究.结果表明:该催化剂不仅表现出良好的低温起燃特性、宽空燃比窗口特性和高催化选择性,而且配合整车能满足严格的ⅢⅠ型实验标准要求和8×104 km耐久性的要求.

关键词: 三效催化剂 , 贵金属 , 铈锆固溶体 , Ⅲ标准

高效液相色谱-串联质谱法测定化妆品中的前胡素和异前胡素

陈捷 , 徐娟 , 熊莉华

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2011.00454

建立了化妆品中欧前胡素和异前胡素的高效液相色谱-串联质谱(HPLC-MS/MS)测定与确证方法.样品经甲醇提取,以C<,18>柱为分离柱,10 mmol/L乙酸铵/甲醇溶液-5 mmol/L乙酸铵水溶液(80:20,v/v)为流动相分离,采用电喷雾串联四极杆质谱进行检测.前胡素和异前胡素在0.25~20 μg/L内线性良好(相关系数大于0.999);方法定量限(LOQ)为0.50 mg/kg.在0.50~10.0 mg/kg内,前胡素和异前胡素的回收率范围分别为82.2%~105%和80.0%~103%.相对标准偏差分别为2.7%~4.9%和1.896~4.6%.该方法能够满足化妆品中欧前胡素和异前胡素检测的需要.

关键词: 高效液相色谱-串联质谱 , 前胡素 , 前胡素 , 化妆品

新型稀土基催化材料在Ⅳ车用催化剂上的应用

张爱敏 , 张永 , 吴乐刚 , 刘沁曦 , 杨文勇

稀有金属材料与工程

以共沉淀法和贵金属修饰技术,研制了一种新型的稀土基复合催化材料作为车用三效催化剂的催化涂层.通过发动机台架测试技术评价该催化剂的催化活性,并按严格的Ⅳ排放法规,通过整车转鼓试验和实车道路试验,评价该催化剂对排放废气的处理能力和耐久性.结果表明,以该催化材料制备的催化剂不仅具有十分优异的起燃特性、空燃比特性和废气处理能力,而且劣化程度低、抗老化能力强,完全可以配合所匹配车型达到Ⅳ排放标准的限值要求和耐久性要求.

关键词: 新型稀土基催化材料 , Ⅳ排放标准 , 催化活性 , 耐久性

高效液相色谱法测定非离子造影剂乃帕克

朱秋毓 , 顾勇 , 丁峰 , 林善锬

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2004.01.010

建立了一种快速、灵敏的细径柱高效液相色谱测定非离子造影剂乃帕克的方法.用高氯酸去除血浆蛋白,流动相采用简单的7%(体积分数)甲醇水溶液体系.方法的线性范围为0.5~500 mg/L,相关系数大于0.999 8.乃帕克的最低检测量为154 pg,保留时间为(3.46 ± 0.02) min,总分析时间少于5 min.日内、日间相对标准偏差(RSD)分别小于4.3%和11.4%.方法的平均回收率大于91.51%.

关键词: 高效液相色谱法 , 细径柱 , 非离子造影剂 , 乃帕克

Ⅲ柴油机燃用乙醇-甲酯-柴油时微粒排放的研究

王建昕 , 陈虎 , 帅石金

工程热物理学报

在一台满足Ⅲ排放的柴油机上燃用乙醇甲酯柴油混合燃料,研究其对微粒(PM)总排放、微粒中可溶性有机物(SOF)、干碳烟(DS)和硫酸盐的影响.为了深入考察含氧燃料对碳烟生成过程的影响,用高速CCD摄像机对燃烧过程进行了可视化研究.结果表明:含氧燃料能够大幅度降低Ⅲ柴油机微粒的排放,其中DS的排放大幅度降低,而SOF排放在小负荷时大量增加,硫酸盐排放略有增加.在柴油中加入乙醇后,着火滞燃期变长,燃烧持续期变短;混合燃料的火焰亮度降低,说明含氧燃料抑制碳烟的生成.

关键词: 柴油机 , 甲酯乙醇柴油混合燃料 , 颗粒物成分 , 燃烧可视化

基于珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

张蜡宝 , 熊予莹 , 初本莉 , 余红华 , 肖化

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01117

采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯珀模板上生长氧化锌薄膜, 通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌. 用SEM分析了模板和氧化锌的形貌. 实验结果表明: 模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球, 氧化锌呈六角排列的纳米碗结构. XRD分析结果表明, 实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜. 样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明, 珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4~5倍. 这可能是由于样品的微结构造成的, 其机理值得进一步研究.

关键词: 氧化锌 , opal , magnetron sputtering , photonic crystal

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