李炎
,
刘玉岭
,
李洪波
,
唐继英
,
樊世燕
,
闫辰奇
,
张金
电镀与涂饰
介绍了一种用于铜膜化学机械抛光的多元胺醇型非离子表面活性剂。研究了该表面活性剂对抛光液表面张力、黏度、粒径、抛光速率和抛光后铜的表面状态的影响。抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO20.5%,H2O20.5%,FA/OII 型螯合剂5%(以上均为体积分数),工作压力2 psi,抛头转速60 r/min,抛盘转速65 r/min,抛光液流量150 mL/min,抛光时间3 min,抛光温度21°C。结果表明,微量表面活性剂的加入能显著降低抛光液的表面张力并大幅提高抛光液的稳定性,但对静置24 h后抛光液黏度的影响不大。表面活性剂含量为0%~2%时,随其含量增大,化学机械抛光速率减小,抛光面的粗糙度降低。
关键词:
铜
,
化学机械抛光
,
非离子表面活性剂
,
表面张力
,
黏度
,
粒径
李炎
,
刘玉岭
,
李洪波
,
樊世燕
,
唐继英
,
闫辰奇
,
张金
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2014.07.009
对d为300 mm blanket铜膜进行了低压低浓度化学机械抛光实验,分析了抛光工艺参数和抛光液组分对铜膜去除速率及其非均匀性的影响.通过实验表明,当抛光压力为13.780kPa,抛光液流量为175 mL/min,抛光机转速为65 r/min,0.5%磨料,0.5%氧化剂,7%鳌合剂,铜膜去除速率为1 120 nm/min,片内速率非均匀性为0.059,抛光后铜膜表面粗糙度大幅度下降,表面状态得到显著改善.
关键词:
化学机械抛光
,
碱性抛光液
,
磨料
,
片内速率非均匀性
,
表面粗糙度
,
铜膜
材料保护
涂装的质量提高和生产成本的降低,可为机电产品制造领域创造附加值,还可以增加市场竞争力,所以人们对21世纪新型涂料开发、涂装作业方式改变、劳动条件改善、涂装工艺技术装备改进、开发等等都抱有很大的期望.全世界对公害和地球暖化等问题更加关心,环保问题是涂装行业最大的问题.涂料、涂装设备、涂装应用三位一体共同合作,是21世纪达到无公害涂装要取得成效的重要一步.我国机械制造大型企业在加强科研开发力量的同时不要忽视涂装技术这一重要领域.
关键词:
涂料
,
涂装
,
装备
,
开发
,
展望
钢铁
21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)型冷轧厂--体现冷轧高附加值扁平产品的柔性生产概念.为了高效生产冷轧、镀锌以及彩涂扁平产品,达涅利威恩联合公司开发了称为"21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)"冷轧工艺.其最简单的形式包括1条推拉式酸洗线、1台单机架或双机架可逆冷轧机、批示退火、1台平整机和1台可配置在线彩涂的热浸镀锌.讨论了21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)型冷轧厂的技术特点并根据预计资本投资和转换成本以及产出产品市场价格进行了经济效益分析.分析说明在大多数情况下大约年产量50万t的冷轧厂能够产生经济效益.
关键词:
21世纪
,
迷你冷轧
王海舟
钢铁
21世纪冶金分析面临复杂体系痕量元素分析、原位状态定量分析(OPA)以及在线实时分析等三大问题.而炼钢过程熔融金属在线分析更是其中最具意义的难点.在展望其可能的研究方向的同时,评述了钢液直接分析技术.
关键词:
冶金分析
,
痕量分析
,
原位状态分析
,
在线实时分析
材料保护
从漆前处理技术、阴极电泳涂装技术、膜过滤技术、自动静电涂装技术、静电粉末涂装技术、烘干技术、汽车用涂料和涂装管理等8个方面围绕环保、高质量、降成本3个主题,展望21世纪汽车涂装的发展趋势.
关键词:
21世纪
,
汽车涂装
,
环保省资源
,
优质低成本