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铜/钽/绝缘介质用碱性化学机械抛光液的优化

张文倩 , 刘玉岭 , 王辰伟 , 高娇娇 ,

电镀与涂饰

在工作压力2 psi,抛光头转速55 r/min,抛光盘转速60 r/min,流量150 mL/L,温度22.7℃的条件下,采用一种不合H2O2的碱性抛光液对Cu、Ta、SiO2绝缘介质3种材料进行化学机械抛光(CMP).通过研究抛光液中SiO2磨料粒径和用量、FA/OⅡ型螯合剂和非离子型表面活性剂用量对3种材料去除速率的影响,得到了高选择性的阻挡层抛光液:SiO2粒径为50 nm的浆料20%(质量分数),FA/O Ⅱ型螯合剂0.15%(体积分数),表面活性剂3%(体积分数).该抛光液的SiO2/Ta/Cu去除速率之比为3.4∶1.6∶1.0.采用该抛光液抛光后,铜的表面粗糙度由5.18nm降至1.45 nm,碟形坑和蚀坑分别由116nm和46 nm降至42 nm和24 nm.

关键词: , , 二氧化硅绝缘介质 , 化学机械抛光 , 选择性 , 去除速率

树籽提取物在5%H2SO4中对A3碳钢的缓蚀性

肖云 , 魏国升 , 王瑛

腐蚀与防护

采用失重法、电化学阻抗谱法、极化曲线法测试了25℃时树籽提取物(KPSE)在5% H2SO4溶液中对A3碳钢的缓蚀作用.结果表明,树籽提取物缓蚀剂质量浓度为15 g/L时,缓蚀率高达93.88%.因其在钢铁表面吸附而起缓蚀作用,吸附模型符合Langmuir吸附等温式.运用相关公式,求出△G的值在-20~0 kJ/mol之间,属于物理吸附;求出腐蚀反应的Ea,△H*和△S*值,并讨论了缓蚀机理.极化曲线表明树籽提取物是混合型缓蚀剂.

关键词: 树籽提取物 , 缓蚀率 , 硫酸 , 缓蚀机理

科学评价,务实求真——熊英等作者的论文编后记

材料科学与工程学报

本刊2012年第五期第801页刊登了熊英等作者的论文,这是本刊编辑部自创刊以来收到的第一篇这样的论文,该文对本刊在材料科学期刊中所处的地位及面临问题、发展方向作出如此客观、中肯的评价与指引,均使编辑部成员十分感动。今年恰是本刊创刊30周年纪念,谨以此《编后记》供奉广大读者,

关键词: 科学评价 , 论文 , 作者 , 务实 , 科学期刊 , 编辑部 , 创刊

西气输沿线水土腐蚀勘测方法

阳光 , 罗心 , 高立群

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2003.01.008

简要介绍了西气输工程中水土腐蚀勘测的方法,给出了郑州至郸城高桥段水土腐蚀性勘测结果.

关键词: 西气 , 腐蚀调查 , 土壤

坪金矿充填采矿法充填工艺的实践

米继武 , 王爱民

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2004.12.009

叙述了坪金矿两步骤回采嗣后充填采矿法充填工艺,介绍了充填过程中的技术措施,并提出了进一步改进设想.

关键词: 坪金矿 , 充填采矿法 , 块石胶结充填 , 充填设施

川气送管道内腐蚀调查分析

尹恒 , 董华清 , 原徐杰 , 陈维 , 王方 , 李爱莲

腐蚀与防护

为了调查川气送管道内的腐蚀状况,根据相关标准 NACE SP0110-2010对管道的内腐蚀环境参数进行了调查,并对管道内积水来源、水露点、管道临界角和清管作业进行了主要的分析。结果表明,川气送管道已经发生了内腐蚀。

关键词: 天然气管道 , 内腐蚀 , 水露点 , 管道临界角

塔里木解放渠油田采出水腐蚀特性研究

韩霞 , 刘娜

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2000.03.004

利用电化学方法对塔里木解放渠油田采出水的腐蚀及点蚀特性进行研究,指出了控制腐蚀的主要因素,并有针对性地筛选出适宜的缓蚀剂.

关键词: 油田采出水 , 腐蚀特性 , 腐蚀控制

日电源厂纯水制备系统设计总结

程振华 , 高常庆 , 张桂霞

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.1998.02.011

总结了日电源厂纯水制备系统设计,阐述了高矿化度原水制取纯水工艺选择的要素,以及电渗析-离子交换联合脱盐系统应用于高矿化度原水制取纯水工艺的可行性和经济性.

关键词: 纯水 , 离子交换 , 脱盐 , 电渗析 , 阳床 , 阴床 , 混床

煤沾污结渣特性研究

王礼鹏 , 赵永椿 , 张军营 , 姚斌 , 郑楚光

工程热物理学报

煤易着火、燃尽率高,是优良的动力用煤,但高水分、高碱金属含量特性导致其在锅炉燃用过程中出现严重的沾污结渣.系统采集燃用准煤比例约为75%的新疆某电厂1#炉各部位灰渣样,采用X射线荧光光谱、X射线衍射仪和环境扫描电子显微镜等微观分析手段对灰渣样进行了系统分析,结果表明:钠在烧结灰块中的沉积多于浮灰,整个烟气流程中,中温对流受热面(500~700℃)上的灰渣中钠含量最高;灰渣的矿物组成包括常见的强沾污性的硫酸钙,同时还含有钠长石、钠铁硫酸盐和钠钙铝硅酸盐.

关键词: , 沾污结渣 , 矿物质 ,

成灰温度对准煤灰理化特性影响的实验研究

付子文 , 王长安 , 车得福 , 翁青松

工程热物理学报

将3种新疆准煤和4种对比煤种在不同温度下制灰,研究了成灰温度对灰理化特性的影响,并分析了准煤的积灰结渣特性.研究表明:灰分量、灰成分、灰熔融性、灰挥发特性均与成灰温度密切相关,成灰温度过高会导致碱金属挥发,过低则灰中含有可燃成分.过高或过低的成灰温度均不能准确反映准煤灰的理化特性,655℃ 成灰温度比较适合准煤.提出了采用ST与碱金属含量相结合的结渣判定方法,提高了准煤结渣判别的准确性.

关键词: , 成灰温度 , 碱金属 , 灰熔融性 , 灰成分

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