唐章东
,
杨传仁
,
廖家轩
,
张继华
,
冷文建
,
陈宏伟
,
符春林
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00713
用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜, 用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征. 结果表明, 常规晶化时, BST薄膜表层约3～5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST, 随着温度的升高该厚度增加; 快速晶化时, 该厚度减薄至1nm内, 随着温度的升高没有明显增加. 元素的化学态分析结果表明, 非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物, 而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关. GXRD和AFM表明, 致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散, 从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.
关键词:
BST
,
surface layer
,
crystallization
,
perovskite structure
,
XPS
唐章东
,
杨传仁
,
廖家轩
,
张继华
,
冷文建
,
陈宏伟
,
符春林
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.032
用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征.结果表明,常规晶化时,BST薄膜表层约3～5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST,随着温度的升高该厚度增加;快速晶化时,该厚度减薄至1nm内,随着温度的升高没有明显增加.元素的化学态分析结果表明,非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物,而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关.GXRD和AFM表明,致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散,从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.
关键词:
BST
,
表层
,
晶化
,
钙钛矿结构
,
XPS
陈宏伟
,
杨传仁
,
符春林
,
赵莉
,
高志强
功能材料
采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.
关键词:
钛酸锶钡
,
薄膜
,
膜厚
,
晶粒尺寸
,
介电性能
余桉
,
杨传仁
,
张继华
,
陈宏伟
,
王波
,
张瑞婷
材料导报
铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.
关键词:
移相器
,
铁电薄膜
,
相控阵天线
,
BST可变电容
,
BST薄膜
胡文成
,
杨传仁
,
张万里
,
廖希异
功能材料
通过热力学推导,建立了零电场下热释电晶体的极化与温度的方程.由热释电系数的定义,对热释电晶体的极化方程对温度求导,得出由热力学模型建立的热释电方程.并对热释电晶体硫酸三甘氨酸(TGS)和掺胍TGS(GLTGS)的实验曲线进行了模拟,该理论基本符合.
关键词:
热释电晶体
,
极化方程
,
热力学模型
,
热释电方程
胡立业
,
杨传仁
,
符春林
,
陈宏伟
功能材料
采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.
关键词:
钛酸锶钡
,
薄膜
,
C-V曲线
,
不对称
,
界面
符春林
,
杨传仁
,
陈宏伟
,
王迎新
,
胡立业
材料导报
铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.
关键词:
电畴
,
铁电薄膜
,
临界尺寸
,
表征方法
张继华
,
莫尚军
,
闻伟
,
陈宏伟
,
杨传仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.002
在低成本的石英玻璃衬底上制备高性能电光薄膜非常有吸引力.本文采用溅射方法,并结合Pb3O4气氛退火工艺,在ITO/石英玻璃衬底上制备锆钛酸铅镧(PLZT 8/65/35)薄膜.结果表明:在优化工艺条件下,薄膜为(110)方向择优生长,表面均方根粗糙度为3.1nm,可见光范围内透过率为81.3%,消光系数为0.003.这种表面光滑和高光学性能的PLZT薄膜在集成光学和光电子器件具有重要的应用潜力.
关键词:
铁电
,
锆钛酸铅镧(PLZT)
,
薄膜
,
光学性能
杨传仁
,
叶耀红
,
杨成韬
,
何进
,
游文南
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.02.010
本文研究了Bi2O3、PbO及Sm2O3对BaO-Nd2O3-TiO2(简称BNT)系陶瓷材料微波性能的影响.实验表明,在BNT系材料中掺入Bi2O3或PbO可降低材料的频率温度系数τf,但同时也使材料的tgδ增大.采用Sm取代部分Nd,形成BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(简称BNST)四元系陶瓷材料,可有效降低材料的τf,改善频率温度稳定性,而不会降低材料的品质因素Q0.当Sm2O3∶Nd2O3=7∶3(mol比)时,可得到εr=80.80,tgδ=2.92×10-4(2.7GHz测),τf=23.63ppm/℃的高性能BNST四元系微波介质陶瓷材料.
关键词:
微波介质陶瓷
,
介质谐振器
,
钕钛钡
,
钐钛钡
