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氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响

采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密.

关键词: 氮气流量 , ZrN/Zr薄膜 , 色度 , 沉积速率 , 中频孪生靶

工艺参数对磁控溅射ZrN膜耐腐蚀性能的影响

孙维连 , 程越 , 王会强 , 李新领 , 孙铂

材料保护

为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律，在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明：ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加，但超过15mL／min后，膜的耐蚀性反而下降；ZrN膜耐蚀性随反应温度升高而增强；ZrN膜的耐蚀性随反应时间的增加越来越好，但超过15min后，膜的耐蚀性不再增强；以ZrN膜的耐蚀性为依据，最佳溅射工艺参数为N2流量15mL／min，反应时间15min，反应温度200℃。

关键词: 真空磁控溅射 , 工艺参数 , ZrN膜层 , 耐蚀性

磁控溅射温度与时间对ZrN薄膜附着力的影响

孙维连 , 李颖 , 赵亚玲 , 王会强 , 孙铂 , 李新领

材料热处理学报

采用非平衡磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备了ZrN薄膜。用SEM、EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,用光电轮廓仪测量了膜层厚度。并采用划格法测试不同溅射时间和温度制备的薄膜附着力大小。分析不同溅射时间和温度对薄膜附着力的影响规律。结果表明,通过调节磁控溅射时间和温度可以得到具有一定厚度,成分稳定,结构致密的ZrN薄膜,且溅射时间在1-20 min范围内时间越长薄膜附着力越大,溅射时间超过20 min,附着力趋于稳定;溅射温度在30-90℃范围内温度越高薄膜附着力越大,超过90℃溅射温度继续升高附着力减小。

关键词: ZrN薄膜 , 附着力 , 溅射时间 , 溅射温度

采用中频反应磁控溅射技术沉积氮化锆薄膜

杨钰瑛 , 孙维连 , 李新领 , 王会强 , 孙玉梅

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.02.007

采用中频反应磁控溅射技术沉积ZrN薄膜,在真空镀膜机内对称安装了3对矩形孪生靶.利用等离子体发射光谱和质谱仪QMS200分别实时监控真空炉内靶材表面的谱线变化和各种气氛的分压强,并通过控制系统氮气流量自动调控,从而消除了靶中毒和打火现象,确保了溅射镀膜的稳定进行.通过对氮化锆膜层的显微组织观察、X射线衍射和俄歇半定量分析,沉积的氮化锆薄膜膜层致密,与基体的结合牢固.结果表明:当炉内氮气分压强为45%,控制靶电压200V,靶电流为25A,逐步调节Ar与N2比例,可获得成分均匀,膜层致密,结合力较好的金黄色氮化锆薄膜.

关键词: 中频溅射 , 孪生对靶 , 氮化锆 , 薄膜

磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响

孙维连 , 安广 , 孙铂 , 王会强 , 李新领

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.013

采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度.用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜层厚度低于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,L*和a*值无变化,b*值呈线性递增,且颜色逐渐趋于金黄色；膜层厚度高于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,薄膜颜色坐标未有明显变化,颜色为稳定的金黄色.

关键词: 沉积速率 , 膜层厚度 , ZrN薄膜 , 色度

某飞机二领玻璃失效原因分析

夏祥泰 , 王志宏 , 王红英 , 雷兴平 , 孟永刚

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2003.z1.025

某飞机在8300m高空执行飞行任务时,二领玻璃突然爆破.通过分析找出爆破原因是由于玻璃在应力及微量溶剂作用下形成银纹,进而发展成裂纹,在疲劳载荷的作用下进一步发展导致失效.然后又做了微量溶剂-密封胶对有机玻璃腐蚀影响的对比试验,以便考证有机玻璃对密封胶的抗浸蚀能力.

关键词: 二领玻璃 , 腐蚀疲劳

《金属学报》纪念李薰奖金基金简章

金属学报

<正> 一、为纪念李薰创办和主编《金属学报》,继承并发扬他毕生致力于科技进步的业绩,特设立《金属学报》纪念李薰奖金基金.二、基金来源是乐于赞助的科研单位、高等院校、企业、团体的捐赠.基金属于专款,全部存入银行,每年支取利息,直接用于奖励.

关键词:

深切悼念本刊创刊人、主编李薰同志

金属学报

<正> 1983年3月20日凌晨,《金属学报》的创刊人、主编李薰同志和我们永别了。李薰同志1913年11月20日出生于湖南省邵阳县。1937年以优异成绩通过湖南省试,留学英国Sheffield大学,先后获得哲学博士和冶金学的科学博士学位。1950年受中国科学院郭沫若院长聘,翌年毅然回归祖国。历任中国科学院金属研究所所长,中国科学院

关键词:

南李庄矿主井施工突水防治技术

董华兴 , 郑翠敏 , 董凤霞 , 韩建国

黄金 doi:10.11792/hj20130209

防治水是矿山建设施工的重要环节.南李庄矿属于水文地质条件复杂的大水岩溶矿山,介绍了主井掘进-129 m水平突水及治水过程,在查清该矿区水文地质条件及矿井突水要因的基础上,为综合防治竖井掘进期间通过特殊地质构造段突水,提出相应的主井掘进帷幕注浆防治水技术及措施,并在掘进工程中收到了良好的应用效果,对类似特殊条件下的矿山井巷掘进工程具有借鉴意义.

关键词: 大水矿山 , 主井掘进 , 特殊地质构造 , 突水 , 防治