霍骥川
,
刘保亭
,
邢金柱
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
王凤青
,
王侠
,
彭英才
功能材料
以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质.实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达750℃的退火温度仍能保持非晶结构,各膜层之间没有明显的反应和互扩散存在,表明了非晶Ni-Al薄膜具有良好的阻挡效果,可以用作Cu互连的阻挡层材料.
关键词:
Cu互连
,
Ni-Al
,
扩散阻挡层
邢金柱
,
刘保亭
,
霍骥川
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
彭英才
,
王侠
机械工程材料
采用射频磁控溅射法在Si(100)基片上首先沉积了厚度40 nm的非晶钛-铝薄膜,然后在其上又原位生长了厚度100 nm的铜薄膜,制备了铜膜/钛-铝膜/硅试样;对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理,用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探针测试仪对试样的表面形貌、结晶状态及方块电阻进行了分析.结果表明:当退火温度低于750℃时,试样表面平整,表面粗糙度和方块电阻均较小且基本不随退火温度的升高而改变,此时,非晶钛-铝薄膜能够起到阻挡铜向硅中扩散的作用;当退火温度在800℃时,试样的表面粗糙度和方块电阻急剧增大,此时,非晶钛-铝薄膜已经不能起到阻挡层的作用.
关键词:
铜互连
,
阻挡层
,
钛-铝薄膜
,
射频磁控溅射
李丽
,
彭汝芳
,
金波
,
赵凤起
,
徐司雨
,
范利生
,
刘强强
,
楚士晋
功能材料
以富勒烯和乙二胺为原料合成富勒烯乙二胺,富勒烯乙二胺再与硝酸铅反应得到富勒烯乙二胺铅盐.通过单因素方法探讨了反应物物料比、反应温度以及反应时间对富勒烯乙二胺铅盐中铅含量的影响,获得最佳工艺条件为:富勒烯乙二胺和硝酸铅的摩尔比为1∶15,反应时间为2.0h,反应温度为35℃,所得富勒烯乙二胺铅盐中铅含量为49.4％.同时采用FT-IR、1H NMR、XPS及AAS等测试手段对产物结构进行了表征.采用差热和热重分析法对富勒烯乙二胺铅盐的热稳定性进行了研究,结果表明,在空气气氛下,分解峰值温度为310℃,表明产物热稳定性良好.
关键词:
富勒烯乙二胺衍生物
,
富勒烯乙二胺铅盐
,
结构表征
,
热稳定性
李丽
,
孔祥和
,
张树东
,
刘存海
,
孙志青
,
刘建苹
,
张良芳
,
乔光
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2007.04.009
利用飞行时间质谱仪在超声射流冷却条件下研究了CH3I分子在355 nm激光作用下的多光子电离解离机制.得到了分子的飞行时间质谱,质谱中有较强的H+、CH+3和I+信号,较弱的C+,CH+、CH+2和母体离子CH3I+信号,CH3I+的出现表明CH3I分子的多光子电离解离(MPID)属母体离子阶梯模式:CH3I分子由双光子共振激发到里德堡C态,处于该激发态的母体分子继续吸收光子上泵浦至电离态形成母体离子CH3I+,碎片离子可由母体离子解离形成.同时结合母体离子及碎片离子的出现势对CH3I分子的多光子电离解离通道进行分析,提出了可能的解离电离通道.
关键词:
光谱学
,
多光子电离解离
,
碘甲烷
,
飞行时间质谱
刘建苹
,
孔祥和
,
张树东
,
倪志波
,
李丽
,
王艳
,
朱湘君
,
张良芳
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2007.06.004
在波长为266 nm的激光作用下对1,3-二溴苯分子的多光子电离解离过程进行了研究,获得了溴苯分子的MPIF-TOF质谱,并测得了各碎片离子占总离子信号的百分比对激光强度的依赖关系.用这些实验结果分析1,2-二溴苯分子的多光子电离解离机理,得出1,3-二溴苯的MPI过程主要是母体分子解离-中性碎片电离C6H+4,C5H+3,C4H+2,C3H+等碎片离子主要是经过离子离解阶梯模式产生的,并给出了可能的解离通道.
关键词:
光谱学
,
飞行时间质谱
,
多光子电离解离
,
1,3-二溴苯
张贵英
,
倪邦发
,
李丽
,
田伟之
,
王平生
,
黄东辉
,
张兰芝
,
刘存兄
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2005.01.031
中子固体气泡探测器被认为是唯一能够满足国际辐射防护委员会ICRP60要求的个人中子剂量计,它具有从低能中子到高能中子的平坦响应曲线和对γ射线不灵敏的优点.本工作将过热液滴均匀地分布在一种软聚合物中,制成了个人中子气泡剂量计,其灵敏度达到每毫雷姆40个气泡.还介绍了个人中子剂量气泡探测器的原理和制作过程.
关键词:
气泡探测器
,
个人中子剂量
张雪梅
,
陈涛
,
许晨晨
,
丁慧君
,
李欢欢
,
王雪儿
,
丁阳
,
李丽
硅酸盐通报
本文采用石英砂尾矿、沉淀法白炭黑以及纳米TiO2部分替代钛白粉添加到苯丙乳胶涂料中制取拥有耐老化、抗菌等优越性能的涂料.试验中制取不同含量石英砂尾矿、白炭黑以及纳米TiO2的涂料样板,干燥后对其耐老化、抗菌等性能进行检测,检测结果表明石英砂尾矿含量从0％～70％及白炭黑含量从0％～40％变化时,涂膜的硬度逐渐增加,涂膜吸收紫外线能力逐渐增强,涂料老化推迟.纳米TiO2含量从0％～100％逐渐增加时,涂料的抗菌性逐渐增强,杀菌率高达95％.此外涂膜的反射率下降率从6.6％降到0.6％表明涂料的耐沾污性得到明显提高;涂料的耐碱性可达96 h,耐洗刷次数超过6800次,耐水性达到140 h,试验制得的涂膜综合性能高于GB/T9755-2014中优等品的要求.
关键词:
石英砂尾矿
,
沉淀法白炭黑
,
纳米TiO2
,
耐老化
,
抗菌
张瑞
,
李卉
,
张国
,
史克英
,
宫丽红
,
井立强
,
李丽
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.12.030
为研究催化剂及原料对氮掺杂碳纳米管(CNxNTs)产品的产率及氮含量的影响,以Fe/MgO和CoxMg1-xMoO4为催化剂,吡啶、二乙胺、丙胺、乙腈和乙二胺为原料制备了CNxNTs.其中以CoxMg1-xMoO4为催化剂,丙胺为原料制备的CNxNTs产品产率(920％)最高.采用湿化学法在不经过任何酸处理过程的CNxNTs表面修饰了具有磁性功能的FeNi合金颗粒,研究了该复合材料的磁性能.结果表明,Fe1-xNix/CNxNTs复合材料为软磁性材料,对有机污染物罗丹明B(RhB)有很好的吸附分离性能.
关键词:
氮掺杂碳纳米管
,
FeNi合金颗粒
,
复合材料
,
磁性
张磊
,
丁铁柱
,
尚涛
,
王晓波
,
闫祯
,
李丽
,
何杰
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2011.04.007
采用溶胶-凝胶工艺制备了Ni0.4Co0.24Zn0.36LaxFe2-xO4铁氧体,利用XRD和微波网络矢量分析仪对其相成分和吸收特性进行研究,实验发现:适量掺杂镧时能够增大吸收频带宽度,改善吸收性能；当x =0.07时,最大吸收可达38.55dB,几乎在整个频段内吸收量都大于15dB,这非常有利于作为高频吸波材料.通过对Ni0.4Co0.24Zn0.36La0.07Fe1.93O4铁氧体烧结温度的分析,发现在1000℃烧结,晶粒只有80nm左右,吸收性能最好.
关键词:
溶胶-凝胶
,
Ni0.4Co0.24Zn0.36LaxFe2-xO4
,
微波吸收性能
王宽冒
,
刘保亭
,
倪志宏
,
赵敬伟
,
李丽
,
李曼
,
周阳
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,制备了Pt/Pb(Zr,Ti)O3(PZT)/Pt和SrRuO3(SRO)/PZT/SrRuO3(SRO)异质结电容器,并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响.XRD测试表明,两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构,SRO/PZT/SRO、Pt/PZT/Pt均具有较好的铁电性和脉宽依赖性,5 V电压下两电容器的剩余极化强度Pr和矫顽电压Vc分别为28.3 μC/cm2、1.2 V和17.4 μC/cm2、2.1 V.在经过1010次翻转后,SRO/PZT/SRO铁电电容器疲劳特性相对于Pt/PZT/Pt电容器有了较大的改善,但SRO导电层的引入也带来了漏电流增大的问题.
关键词:
钌酸锶
,
锆钛酸铅
,
快速退火
