黄君
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毛智彪
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景旭斌
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曹坚
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甘志峰
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李芳
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崇二敏
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孟祥国
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李全波
功能材料与器件学报
相对来讲,i线(i-line)抗酸性要大大强于KrF而不容易产生类似的缺陷,但器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后,由于受到分辨率(Resolution)和焦深(Depth of Focus)的限制,双栅极(Dual Gate)蚀刻所用光刻胶由之前通用的i-line(波长365nm)改成KrF(波长248nm).由于这种缺陷会导致在双栅极氧化层湿法蚀刻后应该被蚀刻去除的栅极氧化层有残留,最终导致核心器件区栅极氧化层厚度不均匀而影响器件的性能.因此,KrF抗酸性研究就成为器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后的一个课题.本文主要阐述了对双栅极氧化层湿法刻蚀中KrF光刻胶在DHF(Diluted Hydrogen Fluoride)中浸泡去除清洗过程中出现的隐形残留缺陷问题的发现,并且研究产生这种由于缺乏抗酸性而产生缺陷的机理,进而阐述通过多项基于这种现象和机理的DHF工艺蚀刻时间、光刻胶显影后烘焙硬化处理、UV光照处理、等离子体抗酸处理等实验过程及效果,最终总结出有效的解决方案:基于低温(摄氏90度)、低功率(小于1000W)下的以氧气和氮氢混合气为反应气体的Descum等离子处理非常有效地解决了光刻胶在酸液中形成残留缺陷的问题.
关键词:
肖万峰
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李光明
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黄瀚霄
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马东
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张智林
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曲扎
黄金
doi:10.11792/hj20131005
班公湖-怒江成矿带跨班公湖-怒江缝合带两侧，是近年来发现的一条重要的多金属成矿带。商旭金矿床位于班公湖-怒江缝合带中段，主要矿体呈透镜状或脉状产于中-下侏罗统木嘎岗日群浅变质海相复理石建造中，受近东西向断裂构造控制。矿石类型以石英脉型为主，其次为蚀变岩型，近矿围岩蚀变较弱，蚀变类型包括硅化、绢云母化、绿泥石化、碳酸盐化等。矿石中金属矿物主要为自然金、黄铁矿及方铅矿；脉石矿物以石英、方解石以及黏土矿物为主。初步研究表明，该矿床主要受地层及构造因素控制，成因类型为造山型金矿床。在此基础上，初步总结了矿区的主要找矿标志，包括岩性及构造标志、蚀变标志、硫化物标志、化探异常及古采矿遗迹标志等，并认为区域上存在找到商旭式金矿床的可能。
关键词:
商旭金矿床
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地质特征
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控矿因素
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矿床成因
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找矿标志
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藏北
鲁云华
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赵洪斌
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迟海军
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董岩
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肖国勇
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胡知之
绝缘材料
以1,4-双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯(6FAPB)为含氟二胺单体,均苯四甲酸二酐(PMDA)和1,2,3,4-环丁烷四酸二酐(CBDA)为二酐单体,经低温溶液缩聚反应得到聚酰胺酸,再经热酰亚胺化处理制备出含氟共聚聚酰亚胺(CPI)薄膜.采用红外(IR)、紫外(UV-Vis)、溶解性测试等对CPI进行结构与性能表征,考察两种二酐单体的不同物质的量之比对共聚聚酰亚胺光学性能和溶解性的影响.结果表明:随着脂环二酐CBDA摩尔配比的增加,CPI薄膜在410 nm处的光透过率逐渐增加,薄膜颜色逐渐变浅,溶解性有所改善.
关键词:
聚酰亚胺
,
共缩聚
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含氟
,
结构与性能
石声泰
中国腐蚀与防护学报
<正> 国际金属腐蚀会议自1960年首次在英国伦敦揭幕以来,每三年举行一次。曾先后在纽约、莫斯科、阿姆斯特丹、东京、悉尼和里约热内卢等地召开。今年的第八届国际金属腐蚀会议在德意志联邦共和国(西德)的迈冈兹市(Mainz)举行。中国腐蚀与防护学会(以下简称我会)征集了九篇论文,派四名代表参加。以后中国科学院等部门也分别选派代表参加。行前由国家利委将与会代表组织起来,由笔者任代表团长,我会副理事长沈增祚及左景伊二同志任副团长,理事李铁藩同志任秘书,团员有曹楚南、单义斌、管垣荣、王葆初、高佩钰、冯力群、孙德全、李金桂、王盛水、马重辉、徐仁生、火时中、陆柱、李挺芳等同志。
关键词:
