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一种新型紫外型光刻胶膜树脂的制备及光刻性能研究

谢文 , 刘建国 , 李平

影像科学与光化学

本文合成了N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺单体,并将其与N-苯基马来酰亚胺共聚得到共聚物聚N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(NCMA-co-NPMI)).将此共聚物作为膜树脂,与感光剂、溶剂等复配得到一种新型耐高温紫外型光刻胶.本文探讨了该光刻胶的最佳配方组成和最佳光刻工艺.最佳配方组成为:15%-20%膜树脂,4.5%-6% 感光剂和70%-80%溶剂;最佳光刻工艺为:匀胶30 s(4000 rpm),前烘4 min(90 ℃),感度为30-35 mJ/cm~2,在0.2%TMAH溶液显影10 s和后烘2 min(90 ℃).

关键词: 紫外型光刻胶 , 光刻

两种耐高温紫外型光刻胶膜树脂的制备及性能

刘建国

影像科学与光化学

分别通过N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺与N-苯基马来酰亚胺、N-苯基甲基丙烯酰胺与N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚合,制备了两种聚合物树脂聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(HPMA-coPMI))和聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺( poly( MPAco-HPMI)).结果表明,这两种聚合物都是按1:1的摩尔比交替共聚的,它们都具有良好的溶解性、膜性和亲水性,并且它们的玻璃化温度Tg都在280℃以上.将它们分别与感光剂2,1,5-磺酰氯的衍生物、助剂二苯甲酮等复配成两种紫外型光刻胶,初步光刻实验表明,其最大分辨率都可以达到1μm,并且都可以耐270℃的高温.

关键词: 紫外型光刻胶 , 膜树脂 , 耐热性 , 聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺 , 聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺

筒形件旋三刚塑性有限元分析

许沂 , 张士宏 , 杨柯 , 李萍 , 单德彬 , 吕炎

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2000.04.005

建立了更加符合筒形件强旋实际过程的有限元模型,对筒形件旋进行了三刚塑性有限元数值模拟,获得了筒形件旋变形各阶段的应力和应变速率分布,解释了旋时的胀径、缩径及母线偏转和隆起等问题,求得了旋过程中旋压力的变化,与实测结果吻合较好.

关键词: 筒形件 , , 刚塑性有限元

相模式/反相模式的二液相色谱系统的构建与应用

兰韬 , 焦丰龙 , 唐涛 , 王风云 , 李彤 ,

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2008.03.023

以50 mm×4.6 mm的Hypersil SiO2相色谱柱为第一色谱系统,250 mm×4.6 mm的Kromasil C18反相色谱柱为第二色谱系统,通过升高第二色谱温度增加两色谱流动相间互溶性的方法构建了定量环-阀切换接口的二液相色谱系统(NPLC×RPLC).根据有机溶剂的特征,在第一相色谱流动相中加入二氧六环,第二反相色谱流动相中加入异丙醇,由此改善流动相兼容性的同时,有效地调整了分离选择性.采用此系统对中成药天丸样品进行分离分析,峰容量达到 1 220 的色谱系统.

关键词: 液相色谱系统 , 相液相色谱/反相液相色谱联用 , 定量环-阀切换接口 , 天丸 , 中成药

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