黄卫东
,
彩霞
,
徐步陆
,
程兆年
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.03.009
以一种新型高G值MEMS加速度传感器为例进行有限元模拟,将实际封装简化为一种最简单的封装结构,进行频域分析和时域分析,讨论粘结传感器芯片和封装基体的封接材料对其输出信号的影响.频域分析表明,封接材料的杨氏模量对封装后加速度传感器整体的振动模态的影响很大,封接胶的杨氏模量很小时会致使加速度传感器的信号失真,模拟表明可选用杨氏模量足够高的环氧树脂类作高G值传感器的封接材料.时域分析静态模拟表明,封接材料的杨氏模量对最大等效应力、最大正应力以及沿加载垂直方向的正应力的最大值与最小值基本无影响.时域分析动态模拟表明,随着封接材料杨氏模量的提高,动态模拟输出的悬臂梁末端节点位移的波形和经数字滤波后输出的信号变好,封接材料的杨氏模量不影响输出信号的频率和均值,在加速度脉冲幅值输入信号变化时,悬臂梁末端位移平均值输出信号与输入有良好的线性关系.
关键词:
高G值加速度传感器
,
传感器封装
,
频域分析
,
时域分析
彩霞
,
黄卫东
,
徐步陆
,
程兆年
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2002.05.011
利用实验和Fick扩散方程模拟塑封材料对水的吸收过程,得到水汽在塑封材料中的扩散系数和饱和浓度塑封材料中的水分子存在于高分子链围成的微孔洞中,并与高分子聚合物以氢键相连.当塑封材料中水汽浓度达到饱和时,在水分子进入的有效体积内,水汽的密度为标准状态下水蒸气密度的100倍,为液态水密度的8%,这表明在塑封材料中水分子以一种特殊的液态水形态存在在一定的水汽浓度下,在界面处的微孔洞中水气液两相共存.在两相共存的微孔洞中由于水分子争夺高分子的氢键使高分子与芯片表面的二氧化硅层的结合减弱,逐步扩展形成可以观察到的分层.
关键词:
塑封材料
,
吸水
,
分层
,
液态水
