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无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制

李炎 , 刘玉岭 , 卜小峰 , 孙铭斌 , 杨志欣 , 张男男 , 张玉峰 , 程川

目的：研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为：金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%；清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/ min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。

关键词: 复合清洗剂 , 大分子螯合剂 , 表面活性剂 , 铜膜 , 腐蚀速率

低温制备纳米α-Al₂O₃粉体

吴义权 , 张玉峰 , 黄校先 , 郭景坤

无机材料学报

研究了以Ａｌ（ＮＯ_３）_３·９Ｈ_２Ｏ和ＮＨ_３·Ｈ_２Ｏ溶液为原料，采用高纯氧化铝球磨原位引入晶种和添加ＺｎＦ_２、ＡｌＦ_３的制备工艺．通过提高凝胶中晶种的均匀性和加速相转变时物质的扩散和传输，可降低过渡型氧化铝向α型氧化铝相转变温度，所制铝凝胶经９００～９２０℃煅烧可获得平均粒径＜５０ｎｍ的α型纳米氧化铝．

关键词: 氧化铝 , phase transformation , nanometer powders

Ni-W-P/PTFE电刷镀多元复合材料工艺及性能研究

张玉峰

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2002.05.005

用电刷镀技术使基体材料形成一层具有弥散硬质相及自润滑减摩组分的PTFE复合镀层.研究了Ni-W-P/PTFE电刷镀的工艺、刷镀液组成、热处理条件对Ni-W-P/PTFE复合镀层的硬度及磨损率的影响.确定了热处理温度378℃,复合镀层PTFE含量20%～30%时复合镀层的摩擦性能最好;当复合镀层中添加PTFE后能显著降低磨损率,大大提高镀层的耐磨性.

关键词: 电刷镀 , Ni-W-P/PTFE , 复合材料

铝-镁合金材料磨损后刷镀Ni-P合金工艺

张玉峰 , 谭美元 , 李敏睿 , 周厚强

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2003.06.002

研究了铝-镁合金材料表面刷镀Ni-P合金的性能.论述了铝-镁合金材料表面刷镀Ni-P合金的工艺条件;在铝-镁合金材料制做的零部件上刷镀Ni-P合金具有刷镀层硬度高,耐磨性好,解决了铝-镁合金材料表面硬度低,磨损后修复难的问题.

关键词: 铝-镁合金 , 磨损 , 刷镀层 , 工艺性能

常温脱水性防锈油的研究与应用

张玉峰

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2004.04.003

论述了常温脱水性防锈油的配方,用煤油和10号机油混合为基础油,缓蚀剂磺酸钡和氧化石油脂钡皂质量分数的最佳值为12%～14%.采用辛酸二环已胺为防锈剂.通过腐蚀实验和水置换性试验,研究了常温脱水性防锈油的防锈性能和脱水性.常温脱水性防锈油具有优良的防锈效果和脱水性.

关键词: 脱水性 , 防锈油 , 缓蚀剂

可溶性阳极快速刷镀Fe-P合金的研究

张玉峰 , 季德强

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2003.04.002

Fe-P合金刷镀工艺采用可溶性金属阳极纯铁,与石墨阳极比较,刷镀层沉积速度可提高4倍.镀层硬度高、耐磨性好,适合零件磨损后快速修复.提出了Fe-P合金快速刷镀液的配方,研究了刷镀液中亚磷酸浓度、pH值、镀笔运动和工作电压对镀层沉积速度和镀层磷含量的影响.

关键词: 可溶性金属阳极 , Fe-P合金 , 刷镀

SiC纤维补强微晶玻璃基复合材料

张玉峰 , 郭景坤 , 杨函美 , 诸培南 , 黄士忠

材料研究学报

本文通过Nicalon SiC 纤维对铝硅酸锂(LAS)微晶玻璃的补强,发现SiC 含量为30 v.-%时复合材料具有最佳力学性能,抗折强度和断裂韧性分别高达502 MPa 和10.2MP·m~(1/2)。在1000℃,复合材料的抗折强度高达480 MPa。

关键词: SiC纤维 , glass—ceramic , composite , fibre reinforcement

Fe-W-P-Ce合金复合刷镀液组分含量影响的分析

张玉峰

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.08.002

以FeCl2为主盐,在碳素钢上制备了Fe-W-P-Ce复合刷镀层.讨论了主盐类型及含量,辅盐、稀土元素、缓冲剂、亚磷酸以及络合剂含量对镀层组成及沉积速度的影响.结果表明,以上各组分含量对镀层质量及沉积速度均有显著影响:主盐FeCl2型优于FeSO4型,镀液中W6+与Fe2+质量分数比值在20%～30%时,镀层中钨含量增加较快;当四硼酸钠含量为10g/L时沉积速度达最大;当镀液中H3PO3含量为50g/L时,镀层中磷、铁及钨的质量分数分别为8%、48%、32%,镀层为非晶态.

关键词: 刷镀 , Fe-W-P-Ce合金 , FeCl2 , 沉积速度 , 非晶态

溶剂型可剥性刷镀防护膜的应用研究

张玉峰

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2002.04.003

利用可快速凝固的溶剂型耐酸碱可剥性涂层作为防护材料,制成可剥性刷镀防护膜,解决了刷镀工作过程中对非工作面的防护问题.提出了可剥性刷镀防护膜的配方;研究了可剥性刷镀防护膜的阻隔性,耐电净液、活化液、工作液腐蚀的能力;论述了可剥性刷镀防护膜的可快速剥离性及涂覆工艺.可剥性刷镀防护膜也适用于电镀非镀面的防护.

关键词: 可剥性 , 刷镀 , 防护膜