张新安
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张景文
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张伟风
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王东
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毕臻
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张杰
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侯洵
功能材料
采用光刻剥离工艺和射频磁控溅射法分别在(100)硅片和ITO玻璃衬底上制备了以氧化锌为沟道层的底栅式薄膜晶体管(ZnO-TFT).用X射线衍射仪、原子力显微镜对生长在绝缘层上的ZnO薄膜进行了表征.在硅衬底ZnO-TFT中,热氧化生长的二氧化硅薄膜作为绝缘层,金属铝用作源漏电极,该器件工作在N沟道增强模式,其阈值电压为8V,电流开关比为5×103,电子的场迁移率达到0.61cm2/(V·s).在以ITO玻璃为衬底的透明ZnO-TFT中,分别采用了SiO2、Al2O3、SiNx、PbTiO3薄膜作为绝缘层,实验表明生长在不同绝缘层上的ZnO薄膜都有很高的c轴择优取向,透明ZnO-TFT在可见光波段的平均透过率达到85%.
关键词:
ZnO 薄膜
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薄膜晶体管
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绝缘层
,
光学透过率
张新安
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张景文
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张伟风
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侯洵
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.04.018
采用光刻剥离法和射频磁控溅射技术在带有热氧化层的硅衬底上制备了以氧化锌(ZnO)为沟道层的薄膜晶体管(ZnO-TFT).研究了不同温度退火处理对ZnO-TFT电学性能的影响,发现随着ZnO薄膜退火温度的增加,ZnO-TFT的阈值电压减小,电子的场效应迁移率增大.用原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜的微区结构进行观察,发现ZnO薄膜的平均粒径随退火温度的增加而增大,表明ZnO-TFT电学性质和沟道层薄膜晶粒大小密切相关.
关键词:
氧化锌
,
薄膜
,
晶体管
,
退火
魏明浩
黄金
doi:10.11792/hj20130801
牢固树立“安全生产能力是矿山企业第一竞争力”的理念，根据金洲矿业公司生产实际及新形势的发展要求，从体系构建、教育培训、机制建设、科技进步、文化倡树等层面，与时俱进地探索创新安全管理的有效途径，真正做到了思想重视、监管有力、保障到位，连续多年实现零工亡、零重大环保事故的“双零”目标，保证了矿山的持续稳定健康发展，为矿山企业的安全管理提供了有益的启示。
关键词:
矿山企业
,
安全管理
,
探索创新
,
金洲矿业公司
钢铁
西马克德马格公司在冶金工业方面是一个领先的工业工厂解决方案提供商.统一设计的机械、电气和自动化方案使我们的用户无论是在产品质量、产量、生产的灵活性、工艺的稳定性以及易维护性方面,拥有了生产具有高性能的高级材料的技术.在薄板坯连铸连轧领域,这样的共同开发的例子如下:①CSP薄板坯连铸.结晶器液面控制,液压结晶器振动,用于楔形和速度优化的自动导航,带有LCR3(液芯压下)的液压扇形段调整,动态二冷水和结晶器监视系统;②CSP轧机.用于带材板形、连续凸度、平直度控制和自由轧制,采用了特定的磨辊以及相配套的串辊策略的CVC+技术;③用于实现厚度小于1mm带钢高效热轧的"薄规格技术包",包括采用"张力差活套"或"张力计活套"以及快速液压机构配合相应的自动化模块,如自动调平控制,以活套测量为基础的平直度控制,尾部监控或以楔形测量为基础的调平预设定.不仅是机械和电气的共同设计,还有共同的项目执行都将使工厂的运营者受益.例如,对于现代化改造项目和新安装的工厂,通过在交货之前在实验室内的联合测试,项目的投产时间得以优化."工厂回路测试(PILT)"将仿真或甚至机械部件本身与真实的自动化系统(1级,2级和人机界面HMI)结合在一起.通过这样的共同解决方案,西马克德马格公司在电气和自动化领域已发展成"从电机轴一直到生产计划系统"的成套供货商和系统集成商,其目标就是致力于与其用户的长期伙伴关系,并与用户分享其所拥有的工艺经验.
关键词:
