高娇娇
,
刘玉岭
,
王辰伟
,
王胜利
,
崔晋
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2016.08.008
为了确保整个晶圆片上残余铜的去除,精抛后的过抛步骤至关重要,然而在铜过抛过程中会产生铜碟形坑和介质蚀坑等问题,去除残余铜的同时控制铜碟形坑和介质蚀坑是铜化学机械平坦化(CMP)研究的最重要的课题之一.为了解决这一问题,提出了一种铜过抛化学机械平坦化过程中基于氧化反应的平坦化效率计算方法.实验显示该方法计算结果与实验数据一致.采用碱性铜精抛液对铜光片进行抛光,获得的数据显示,增加过氧化氢浓度可以获得较低的铜去除率以及几乎为零的阻挡层去除速率.布线片CMP的结果表明,增加过氧化氢浓度可以获得较小的碟形坑.对含有不同浓度过氧化氢的抛光液进行电化学实验研究,研究结果表明在铜表面有钝化层形成.综上所述,该计算方法是计算过抛过程平坦化效率的适当方法.
关键词:
平坦化效率
,
碱性铜精抛液
,
过抛
,
过氧化氢
,
碟形坑
,
钝化层
马慧宇
,
赵林涛
,
刘昕光
,
洪文帅
,
万庆
有色金属工程
doi:10.3969/j.issn.2095-1744.2017.02.014
根据晋蒙地体集宁群上部孔兹岩系和下部麻粒岩系的不整合构造接触,将本区划分为4个构造单元.通过对集宁群岩石学特征的分析及变质原岩的恢复,分析出其沉积环境具有差异.同时依据麻粒岩系形成于晚太古代而孔兹岩系形成于早元古代,对金红石的形成过程进行反演,推断其第一次主成矿期为阜平期,含矿岩层为集宁群下部麻粒岩系,右所堡组含石墨黑云角闪片麻岩.后经吕梁期地层重熔成矿物质迁移,最终在集宁群上部孔兹岩系下白窑组下段富集成矿,矿石岩性为含夕线石榴二长浅粒岩.
关键词:
集宁群
,
原岩,金红石
,
成矿规律
钢铁研究
近日,武钢＂高速铁路用U71Mn系列重轨生产成套技术研究＂项目,通过了由湖北省科技厅组织、工程院院士崔崑教授主持的科技成果鉴定,达国际领先水平。
关键词:
国际领先水平
,
生产成套技术
,
重轨
,
武钢
,
科技成果鉴定
,
工程院院士
,
铁路用
,
科技厅
崔忠兴
腐蚀学报（英文）
油井缓蚀剂研究与应用崔忠兴(中原油田设计院,濮阳457001)1.前言中原油田已进入高含水期,油井系统腐蚀严重,直接影响了油田的正常生产l’].为了解决油井系统腐蚀问题,在中科院腐蚀所的专种“基础f,联合开发研制了!MC—SDeZS油井缓蚀剂.该剂以合成炔氧甲基胺和炔氧甲基季法盐衍生物,以这两种衍生物为主体成分复配辅助成分而成的水溶油分散吸附成股型缓蚀剂l’1.通过室内高温高压模拟评价试验.ZI口油井加药试验及测试表明l‘],平?...
关键词:
null
,
inhibitor
,
IMC-80-2S
于敬敦
,
吴幼林
,
崔秀岭
,
张陆
中国腐蚀与防护学报
０８ＣｕＰＶＲＥ钢耐大气腐蚀的机理于敬敦，吴幼林，崔秀岭，张陆（冶金部钢铁研究总院）一、前言我国研制的０８ＣｌｌＰＶＲＥ耐候钢，在成都郊外经两年大气暴晒试验以及室内加速试验，表明其耐蚀性能明显优于碳钢，与日本耐候钢ＳＰＡ－Ｃ的水平相当．为深入研究０８ＣｌｌＰＶＲＥ钢的耐蚀特性，选用碳钢和ＳＰＡ－Ｃ耐候钢作为对比试样，通过多种方法进行测试分析，以揭示０８ＣｌｌＰＶＲＥ钢的耐蚀机理．二、试样与测?...
关键词:
冯向前
,
冯松林
,
张文江
,
樊昌生
,
权奎山
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2005.01.043
对江西洪州窑从东汉晚期至晚唐五代8期400个瓷胎样品进行了中子活化分析, 分析结果显示碱金属元素Na和Rb、碱土金属元素Ba及Fe等作为胎的助熔剂元素随年代的变化趋势相似, 都呈现出两头高中间低的U字形变化规律, 其中Fe作为呈色元素, 其含量的高低与瓷胎颜色的深浅是一致的.分析结果还揭示洪州窑的发展与衰落以及窑址的不断变迁可能都与制瓷原料的发现与消耗有关.对分析数据进行主成分分析, 可以将不同时期烧制的瓷胎样品大致分为5组: (1)东汉晚期东吴时期; (2)两晋和南朝时期; (3)隋代; (4)初唐和盛唐时期; (5)晚唐五代时期.
关键词:
核分析技术
,
洪州窑古瓷
,
元素特征
崔秀岭
,
马中华
,
张陆
,
王相润
,
黄桂桥
腐蚀学报（英文）
实海飞溅区低合金钢锈层分析(摘要)崔秀岭,马中华,张陆(冶金部钢铁研究总院,北京100080)王相润,黄桂桥(青岛海洋腐蚀研究所,青岛266071)19种碳钢和低合金钢试样固定在青岛海水飞溅区栅式试验架L,经8年试验后,低合金钢15MnMoVN耐蚀性能明显优于其他十几种钢,为了弄清15MnMoVN锈层的特性,选用A3钢作对比试样,通过多种方法综合测试,研究它们的形貌、物相组成、结构及合金元素分布与耐蚀性的关系.15MnMoVN和A3钢的化学成分见表1.Tab....
关键词:
