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放电功率对VHF-PECVD微晶硅薄膜生长过程的影响

杨仕娥 , 崔宗超 , 郭巧能 , 陈永生 , 李艳阳 , 卢景霄

人工晶体学报

采用基于有限元的数值模拟方法,研究了VHF-PECVD法制备微晶硅薄膜的等离子体放电和气相反应过程,模拟了放电功率对等离子体特性及气相化学的影响,并与光发射谱(OES)在线监测结果进行了比较.模拟结果表明:当放电功率从30 W增大至70W时,等离子体中心区域的电子温度t基本保持不变,电子浓度ne和等...

关键词: 微晶硅 , 等离子体 , 数值模拟 , 光发射谱

《崔化学报》作者指南

催化学报

关键词:

著名金属材料科学家-崔崑院士 --庆祝崔崑先生八十大寿

材料热处理学报

关键词:

材料科学与工程专家—刘宗昌

兵器材料科学与工程

关键词:

纳米超分子化学

张来新 , 胡小兵

合成材料老化与应用

简要介绍了纳米超分子化学的产生、发展及应用,重点综述了:①超分子纳米材料的合成及应用;②新型超分子纳米材料制备的新...

关键词: 纳米超分子化学 , 合成 , 应用

晶体的超精密抛光

谢会东 , 王晓青 , 沈光球

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.034

超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义.超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法.本文对

关键词: 超光滑表面 , 超精密抛光 , 表面粗糙度 , 平面度

中国黄金协会副会长崔建国：银市机遇良好

中国黄金网

黄金

关键词:

铁电超晶格薄膜

郝兰众 , 李燕 , 刘云杰 , 邓宏

功能材料

介质铁电超晶格薄膜是一类新型的薄膜材料,已逐渐开始受到重视,成为研究的热点.本文主要分析了铁电超晶格薄膜的结构特点、组分材料、介电铁电性能;介绍了其在实际中的应用以及在近几年的...

关键词: 铁电超晶格 , y薄膜 , 分子束外延

超纯洁弹簧钢

惠卫军 , 董瀚 , 曾新光 , 邢献强 , 李强

钢铁

从钢中夹杂物的评定方法和控制途径、超纯洁化冶炼工艺、夹杂物水平及其疲劳性能等方面对超纯洁弹簧钢的特点作了比较详细的介绍.

关键词: 弹簧钢 , 非金属夹杂物 , 疲劳性能

低温超塑性钛合金的超塑性研究

曾立英 , 赵永庆 , 李丹柯 , 李倩

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2006.05.002

对一种超塑性温度相对较低的双相钛合金SPZ的超塑性能进行了研究.结果表明:740～800℃,应变速率恒为1.11×10-3s-1时,SPZ合金的最大拉伸延伸率均超过1600%;...

关键词: 低温超塑性 , 双相钛合金 , 延伸率 , 细晶组织 , 变形机制