黄君
,
毛智彪
,
景旭斌
,
曹坚
,
甘志峰
,
李芳
,
崇二敏
,
孟祥国
,
李全波
功能材料与器件学报
相对来讲,i线(i-line)抗酸性要大大强于KrF而不容易产生类似的缺陷,但器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后,由于受到分辨率(Resolution)和焦深(Depth of Focus)的限制,双栅极(Dual Gate)蚀刻所用光刻胶由之前通用的i-line(波长365nm)改成KrF(波长248nm).由于这种缺陷会导致在双栅极氧化层湿法蚀刻后应该被蚀刻去除的栅极氧化层有残留,最终导致核心器件区栅极氧化层厚度不均匀而影响器件的性能.因此,KrF抗酸性研究就成为器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后的一个课题.本文主要阐述了对双栅极氧化层湿法刻蚀中KrF光刻胶在DHF(Diluted Hydrogen Fluoride)中浸泡去除清洗过程中出现的隐形残留缺陷问题的发现,并且研究产生这种由于缺乏抗酸性而产生缺陷的机理,进而阐述通过多项基于这种现象和机理的DHF工艺蚀刻时间、光刻胶显影后烘焙硬化处理、UV光照处理、等离子体抗酸处理等实验过程及效果,最终总结出有效的解决方案:基于低温(摄氏90度)、低功率(小于1000W)下的以氧气和氮氢混合气为反应气体的Descum等离子处理非常有效地解决了光刻胶在酸液中形成残留缺陷的问题.
关键词:
闫鹏勋
,
李晓春
,
李春
,
崇二敏
,
刘洋
,
李鑫
,
徐建伟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.029
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦试验仪对制备的非晶金刚石薄膜进行了结构和性能表征.实验结果表明:制备的非晶金刚石薄膜表面十分光滑,表面粗糙度仅为0.1nm;薄膜中sp3键成份高达70.7%,对应薄膜硬度达到74.8GPa,接近金刚石的硬度;薄膜摩擦系数在0.12～0.16之间.文中也讨论了偏压类型对沉积薄膜结构的影响.
关键词:
磁过滤等离子体
,
非晶金刚石膜
,
周期性偏压
,
性能
艾鹏
,
龚乃良
,
刘应开
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.14.019
利用热蒸发法制备了纯净的SnO2纳米带及Sb掺杂SnO2纳米带.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和气敏测试仪器对其结构和性能进行了表征和测试.结果表明纳米带表面光滑,厚度约为50 nm.纯净SnO2纳米带为理想的单晶结构,掺杂Sb后并没有改变二氧化锡的晶体结构和晶胞参数.使用单根Sb掺杂和纯净的SnO2纳米带制作成传感器并进行气敏性能测试,结果显示:Sb掺杂SnO2纳米带对乙二醇和丙酮的最佳响应温度为180℃,在100×10-6浓度下对乙二醇和丙酮的气敏响应分别为10倍和1.2倍;对乙醇的最佳响应温度为200℃,响应为2.6倍.在最佳响应温度,随乙二醇浓度的增加器件气敏响应增强,其响应时间随乙二醇浓度的增加而缩短,在50×10-6及100×10-6时,其响应时间分别为15 s和14 s.
关键词:
Sb掺杂SnO2
,
单片纳米带
,
气体传感器
,
乙二醇
孙胜童
,
武培怡
材料科学与工艺
doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20160386
基于二维相关光谱的多维分子光谱技术是近些年发展起来的先进光谱分析手段，特别适合于在分子水平上研究各种外扰作用下的物理化学体系的结构变化.本文就二维相关光谱及其衍生的外扰相关移动窗口技术对温敏水溶性聚合物体系尤其是LCST型聚合物体系的研究进展进行了综述.LCST型聚合物水溶液在LCST（低临界溶解温度）变化前后会发生线团－胶束的分子链构象变化，而在凝胶体系内则表现为体积的塌缩与溶胀.红外光谱可以很好地跟踪这一温度变化的过程，而一维及二维相关光谱分析可以方便地确定相转变温度、转变温度区间、响应程度及各基团的响应次序，非常有助于诠释温敏聚合物体系的响应机制.本文综述了二维相关光谱分析在LCST型均聚物、共聚物和共混物、凝胶以及聚合物刷体系中的典型应用.
关键词:
温敏水溶性聚合物
,
LCST
,
相转变
,
二维相关光谱
,
外扰相关移动窗口
孙雪
,
方海涛
,
余慧龙
,
储一
,
张宝友
,
杜金红
,
王大伟
,
李峰
,
王福平
新型炭材料
采用SnCl2溶液法制备二氧化锡包覆多壁碳纳米管(SnO2 coated multi-wall carbon nanotubes,SnO2/MWCNTs), 研究了SnO2/MWCNTs的室温氢敏性能.SEM和TEM形貌观察表明: 粒径5nm的SnO2均匀包覆在MWCNTs表面,并形成连续的包覆层.氢敏性能测试表明:SnO2/MWCNTs材料具有室温氢敏性能,可以实现体积浓度0.01%氢气的检测.在对0.1%氢/氩混合气的室温氢敏测试中发现,当通入空气后出现电流反向波动的现象,这是由于空气中的O2与样品周围的H2生成H2O并吸附在SnO2表面,降低了SnO2/MWCNTs的电阻,随后由于O2的竞争吸附,H2O又脱附所导致.这一电流反向波动现象暗示SnO2/MWCNTs具有室温湿敏性能.
关键词:
二氧化锡
,
包覆
,
多壁碳纳米管
,
氢敏性能
张雄斌
,
贺辛亥
,
李宗迎
,
杨超女
,
宋宇宽
,
王俊勃
,
崔云浩
硅酸盐通报
气敏材料作为检测有毒有害及可燃气体的工具,已深入到人类生活的各个领域.SnO2作为无机气敏材料的代表,具有很多优异的性能.如物理、化学稳定性好,耐腐蚀性强、对气体的检测可逆、吸脱附时间短、电阻随浓度变化一般呈抛物线变化、制备费用较低,受到气敏研究者的广泛关注.本文从纳米SnO2的制备技术、添加气体过滤膜、运用表面修饰和掺杂改性等4个方面,归纳近年来国内外研究者为提高SnO2气敏材料的气敏性能所做的工作.并对其中存在的问题进行分析总结,对该领域今后的研究提出一些建议并对其发展趋势做了展望.
关键词:
气敏材料
,
SnO2
,
改性研究
,
发展趋势
易静
,
颜文斌
,
徐辉
,
何新波
,
高峰
,
张传宝
冶金分析
不需要预先分离基体,采用苯基荧光酮光度法直接测定了五氧化二钒中微量铝.考察了测定条件、表面活性剂的增敏作用、铁和基体钒对铝测定的干扰及干扰的消除方法.结果表明:以非离子表面活性剂吐温-80作为增敏剂显色反应的增敏效果最好,采用酒石酸钠可以消除五氧化二钒中铁离子对铝的干扰.由于钒在显色体系中随着浓度的变化吸光度呈现出线性变化规律,所以对于钒基体的干扰,提出了用平面模拟方程进行校正.校正后铝的计算值与理论值吻合较好,相对偏差在±2％以内,表明了方法是可行的.方法用于实际样品分析,铝的测定值与国家标准方法的测定值一致.方法所涉原理及计算都比较简单,这不仅适用于实验室,也同样适用于工业流程分析.
关键词:
苯基荧光酮
,
铝
,
吐温-80
,
光度法
,
五氧化二钒
,
最小二乘法
