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热丝CVD法沉积固态扩散源制备晶硅太阳电池p+/n+发射极研究

宿世超 , 王涛 , 韩宇哲 , 田罡煜 , 黄海宾 , 高超 , , 袁吉仁 , 周浪

人工晶体学报

为进一步提高晶硅太阳能电池发射极的性能,本文提出了一种新的发射极制备技术-低温CVD法沉积固态薄膜扩散源并进行高温扩散.采用热丝化学气相沉积法(HWCVD)在单晶硅片上沉积重掺杂硅基薄膜作为固态扩散源,然后在空气氛围下的管式炉中进行高温扩散,最后用稀HF溶液去除表面的BSG/PSG.通过掺磷薄膜扩散在P型单晶硅片上制备了方阻在50~250 Ω/□范围内可控的n+型发射极;通过掺硼薄膜扩散在N型硅片上制备了方阻在150 ~600Ω/□□范围内可控的p+型发射极.并且通过在源气体中加入CO2作为氧源,实现了扩散后硅片表面残留扩散源层的彻底去除.

关键词: HWCVD , 晶硅太阳电池 , 固态扩散源 , 发射极 , 方阻

热丝CVD法低温制备的多晶硅薄膜质量对衬底依赖性的研究

张磊 , 沈鸿烈 , 黄海宾 , , 李斌斌

功能材料

以SiH4和H2作为反应气体,采用HWCVD的方法分别在石英玻璃、AZO、Si(100)和Si(111)衬底上制备了多晶硅薄膜。利用X射线衍射(XRD),拉曼(Raman)光谱和傅里叶红外(FT-IR)吸收光谱研究了不同衬底对多晶硅薄膜的择优取向、晶化率和应力的影响,用SEM观察了多晶硅薄膜的表面形貌。研究发现在4种衬底上生长的多晶硅薄膜均为(111)择优取向。单晶硅片对多晶硅薄膜有很强的诱导作用,并且Si(111)的诱导作用优于Si(100)的诱导作用。AZO对多晶硅薄膜生长也有一定的诱导作用。通过计算薄膜晶态比,得到除以石英为衬底的样品外,其它3种样品的晶态比均在90%以上,尤其以单晶硅片为衬底的样品更高。石英玻璃、AZO和Si(100)上生长的多晶硅薄膜中均存在压应力。

关键词: 热丝化学气相沉积 , 衬底诱导 , 多晶硅薄膜 , 结晶性

热丝CVD工艺参数对GeSi薄膜键结构影响的研究

黄海宾 , 沈鸿烈 , 吴天如 , 张磊 ,

功能材料

对高H2稀释比条件下热丝CVD法制备GeSi薄膜的工艺参数对薄膜的键结构的影响进行了研究.用Raman谱和FT-IR谱对薄膜中非极性键(Ge-Ge、Ge-Si和Si-Si)相对含量的变化和极性键(Ge-H、Ge-H2、Si-H等H键)相对含量的变化进行了分析.研究结果表明,热丝CVD工艺参数对制备的GeSi薄膜中非极性键和极性键的影响规律是不同的.热丝温度和锗烷硅烷流量比(RS/G)对非极性键相对含量的变化均有影响.随着热丝温度上升Ge-Si和Si-Si相对含量均增加.随着RS/G增加Si-Si相对含量一直增加,Ge-Si相对含量先增加,当RS/G>1.4时开始下降.但热丝温度和RS/G对H键的影响规律有很大不同:随着RS/G增加,Si-H键的相对含量增加,Ge-H和Ge-H2键的相对含量减少,而热丝温度对H键相对含量基本无影响.

关键词: 热丝CVD , 锗硅薄膜 , 键结构 , 热丝温度 , 锗烷硅烷流量比

大桥钢箱梁油漆与电弧喷铝涂装方案对比

王延东 , 杨笑宇 , 洪伟 , 贾平 , 晁宇

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.029

通过对涂层的形成原理及失效方式、耐腐蚀寿命、结合力、涂装施工工艺和防腐涂层维护5个方面进行对比,分析了油漆和电弧喷铝涂装方案的特点.针对荆大桥所处的腐蚀环境,指出在钢箱梁防腐蚀施工中,电弧喷铝比油漆重防腐方案具有更优秀的防腐蚀效果,进而说明电弧喷铝防腐涂装能够更广泛地应用到钢结构防腐施工中.

关键词: 大桥 , 钢箱梁 , 油漆重防腐 , 电弧喷铝

内蒙古乌拉特尧尔忽洞金矿床的勘查与开发

高永军 , 行天伟 , 杨志刚

黄金 doi:10.11792/hj20130404

内蒙古太平矿业有限公司尧尔忽洞金矿是中国北方最大的露天开采黄金堆浸矿山.论述了尧尔忽洞金矿床的地质特征,总结了找矿标志,并重点阐述了地质找矿成果及开发规划,形成了科学论证、探矿会战、整体开发、科技领先、绿色和谐的矿业开发模式,对中国“十二五”期间利用找矿新机制实现找矿大突破有一定的借鉴.

关键词:

稳定多晶氧化铝纤维质量研究

王孝瑞 , 付顺德 , 夏超 , 申超伟 , 梁献雷 , 阴怀亮

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2000.04.006

通过改变胶体添加剂和热处理参数,提高纤维化器的转速,达到了稳定胶体粘度、改善成纤性能、降低纤维直径、稳定并提高氧化铝纤维质量、降低生产成本目的.

关键词: 多晶纤维 , 氧化铝纤维

氧化鋯基陶瓷承受循環負荷奇特式能量吸收機制

材料导报

以往成信氧化鋯基陶瓷材料韌化機制主要爲正方相轉變爲單斜相相變化及正方晶鐵彈性域轉移,惟其主要應用在發生塑性變形範圍,而在承受循環負荷彈性變形範圍則鮮少論及.本研究發現該材料系統在承受彈性循環負荷作用下,表現出奇特之能量吸收特性,亦即,因應力誘發而使立方相轉换爲具有類橡膠特性斜方相,或是立方相轉换爲不會發生相變正方相,此應爲氧化鋯基材料系統在彈性變形範圍韌化機制,爲一國際上創新發現.

关键词: 氧化鋯 , 相變化 , 同步輻射 , X-光繞射 , 拉曼光譜 , 應力-應變曲綫

氧化鋯基陶瓷承受循環負荷奇特式能量吸收機制

喻盛地

材料导报

以往咸信氧化鋯基陶瓷材料韌化機制主要爲正方相轉變爲單斜相相變化及正方晶鐵彈性域轉移,惟其主要應用在發生塑性變形範圍,而在承受循環負荷彈性變形範圍則鮮少論及.本研究發現該材料系統在承受彈性循環負荷作用下,表現出奇特之能量吸收特性,亦即,因應力诱發而使立方相轉换爲具有類橡膠特性斜方相,或是立方相轉换爲不會發生相變正方相,此應爲氧化锆基材料系統在彈性變形範圍韌化機制,爲一國際上創新發現.

关键词: 氧化鋯 , 相變化 , 同步輻射 , X-光繞射 , 拉曼光譜 , 應力-應變曲綫

金屬薄膜退火非晶質化現象

材料导报

本文系探討一種具高玻璃形成能力鋯基(Zr-Cu-Al-Ni)的非晶合金薄膜,以减鍍沉積成達10μm以上厚度薄膜,再經由退火過程而誘發廣泛遍布整個薄膜的部份或全部非晶相.此種可控制整佃薄膜的內泛非晶相反應能明顯影響薄膜性質(如硬度與電阻值等),方便建立組成結構和薄膜性質間的關系,退而設計出具有特定性質的薄膜,文章將進一步探討固態非晶化的機制.

关键词: 固熊非晶質化 , 濺鍍薄膜 , 大塊非晶

熔融還原煉鐵渣黏度計算模式

連雙喜 , 陳柏楊 , 劉世賢 , 蔡辛慈

材料导报

熔融還原煉鐵法爲直接以煤及鐵礦粉取代焦碳和燒結礦爲原料的一替代性有發展潜力的制程.而熔融還原爐法中鐵礦還原速率好壞與泡沫渣控制,亦即溶渣的黏度、表面張力及密度和温度等有極重要的關系.本文主要希望介绍熔融還原煉鐵法爐渣黏度與爐渣成份及温度等變數關系.研究的爐渣成份主要分成兩大類,分别是①四元系列的SiO2-CaO-MgO-Al2O3,鹽基度變化爲0.9~1.3;②氧化鐵範圍爲FeO 1%~7%,氧化镁MgO,鹽基度固定爲1.08的五元渣系SiO2-CaO-MgOsat-Al2O3-FeO爐渣.實難以高温轉鉅黏度計,量測不同成份及温度的黏度值.實難結果發現黏度與温度基本上呈反比的趨勢,可以Arrhenius equation或Eyring′s expression式子說明黏度與温度的關系.有關黏度與成份的關系,分别以熱力學綱状結構黏度模式、氧橋鍵結矽離子黏度模式與光學鹽基度黏度模式計算其黏度值,其結果爲利用氧橋鍵矽離子黏度模式與本實難的黏度量測值及文獻黏度量測值最接近.基本上黏度值随基鹽度的上升及随FeO量增加而下降,但黏度随著SiO2量增加而增加.至於黏度與温度則呈現反比的趨勢.

关键词: 熔融還原 , 鐵渣 , 黏度 , 計算模式

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