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高介电常数的栅极电介质LaAlO3薄膜的性能研究

, 于涛 , 游彪 , , 胡安 , 刘治国

无机材料学报

在室温下,采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了具有高介电常数的LaAlO3薄膜,这是一种新的栅极电介质材料.在高纯O2中经过15min650℃的高温退火后LaAlO3薄膜仍然不晶化,这种热稳定性有利于减小薄膜的漏电流.本工作研究了LaAlO3薄膜的介电性能,其电容等效氧化物厚度为2.33nm,在外加偏压±1V处的漏电流很低,分别为3.73mA/cm2(+1V处)和5.32×10-4mA/cm2(-1V处),两者相差四个数量级.此结果表明,Pt/LaAlO3/Si结构具有良好的单向导电性能. C-V曲线的滞后电压VH=0.09V,界面态密度的值约为8.35×1011cm-2.研究结果表明,在今后的半导体器件的甚大规模集成(ULSI)中,具有高介电常数的LaAlO3薄膜将会是一种极有希望的栅极电介质材料.

关键词: 栅极电介质材料 , high-k , LaAlO3 thin films

高介电常数的栅极电介质LaAlO3薄膜的性能研究

, 于涛 , 游彪 , , 胡安 , 刘治国

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.01.038

在室温下,采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了具有高介电常数的LaAlO3薄膜,这是一种新的栅极电介质材料.在高纯O2中经过15min 650℃的高温退火后LaAlO3薄膜仍然不晶化,这种热稳定性有利于减小薄膜的漏电流.本工作研究了LaAlO3薄膜的介电性能,其电容等效氧化物厚度为2.33nm,在外加偏压士1V处的漏电流很低,分别为3.73mA/cm2(+1V处)和5.32×10-4mA/cm2(-1V处),两者相差四个数量级.此结果表明,Pt/LaAlO3/Si结构具有良好的单向导电性能.C-V曲线的滞后电压VH=0.09V,界面态密度的值约为8.35×1011cm-2.研究结果表明,在今后的半导体器件的甚大规模集成(ULSI)中,具有高介电常数的LaAlO3薄膜将会是一种极有希望的栅极电介质材料.

关键词: 栅极电介质材料 , 高介电常数 , LaAlO3薄膜

耐火可塑料马值的测定

曹喜营 , 张三华 , 石会营 , 王金相 , 洪彦若 , 李再耕

耐火材料 doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2009.06.015

采用特级矾土、黏土为主要原料,液体磷酸盐做结合剂,制备了6种满足不同施工方式的w(Al2O3)>70%的高铝可塑料,并采用马值测定仪测定了可塑料的可塑性.结果表明:马值测定法可以用于耐火可塑料的可塑性测定,而且其检测范围更宽,可测定采用橡皮锤人工捣打或风镐机械捣打等不同施工方式的可塑料的可塑性.橡皮锤人工捣打可塑料的马值范围为1.36~3.74 MPa,风镐机械捣打可塑料的马值范围为7.1~22 MPa.

关键词: 耐火可塑料 , , 可塑性 , 施工方法

甸金矿提升系统优化与应用

郭建军 , 江国建 , 汪宗文

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2002.11.007

甸金矿充分利用现有的提升系统,将相邻两矿区提升系统统筹考虑,进行优化,应用取得了良好的经济效益和社会效益.

关键词: 提升系统 , 优化 , 应用

甸金矿分级尾砂充填材料试验研究

唐占信 , 王金波 , , 秦秀合 , 何少博 , 林卫星

黄金 doi:10.11792/hj20160610

为增加甸金矿分级尾砂供应量,提高了全尾砂旋流器分级产率并开展了相关充填材料试验.介绍了分级尾砂胶结充填体强度试验、分级尾砂充填料浆塌落度试验及分级尾砂胶结充填料浆凝固时间测定试验.试验结果表明,甸金矿选厂全尾砂经旋流器分级的尾砂是一种良好的充填骨料,可以作为充填骨料进行充填.试验所得数据和结论对于矿山充填作业具有直接的指导意义.

关键词: 充填采矿 , 分级尾砂 , 强度 , 塌落度 , 凝结时间

采用OHTP工艺生产西气输二线用22 mm厚X80钢板

聂文金 , 王志福 , 李冉 , 李玉藏 , 张晓兵

钢铁

针对西气输二线项目用厚规格X80钢板技术要求和沙钢炼钢、轧钢技术装备条件,采用低碳、高铌的HTP成分和OHTP(Optimized High Temperature Processing)控轧控冷工艺,进行了22 mm厚X80钢板批量生产和JCOE直缝焊管制管试验。结果表明,OHTP X80钢板无论力学性能、-15 ℃落锤性能,还是JCOE制管后管体屈强比均比HTP钢有明显改善。OHTP X80钢板-80 ℃下比冲击吸收能仍处于上平台,CVN值大于270 J,50%FATT低于-100 ℃,-30 ℃下DWTT落锤试验断口剪切面积的比例大于90%,85%DWTT为-34 ℃。

关键词: X80管线钢;宽厚板;OHTP

采用OHTP工艺生产西气输二线用22 mm厚X80钢板

聂文金 , 王志福 , 李冉 , 李玉藏 , 张晓兵

钢铁

针对西气输二线项目用厚规格X80钢板技术要求和沙钢炼钢、轧钢技术装备条件,采用低碳、高铌的HTP成分和OHTP(Optimized High Temperature Processing)控轧控冷工艺,进行了22 mm厚X80钢板批量生产和JCOE直缝焊管制管试验.结果表明,OHTP X80钢板无论力学性能、-15℃落锤性能,还是JCOE制管后管体屈强比均比HTP钢有明显改善.OHTP X80钢板-80℃下比冲击吸收能仍处于上平台,CVN值大于270 J,50%FATT低于-100℃,-30℃下DWTT落锤试验断口剪切面积的比例大于90%,85%DWTT为-34℃.

关键词: X80管线钢 , 宽厚板 , OHTP

西气输沿线水土腐蚀勘测方法

阳光 , 罗心 , 高立群

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2003.01.008

简要介绍了西气输工程中水土腐蚀勘测的方法,给出了郑州至郸城高桥段水土腐蚀性勘测结果.

关键词: 西气 , 腐蚀调查 , 土壤

坪金矿充填采矿法充填工艺的实践

米继武 , 王爱民

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2004.12.009

叙述了坪金矿两步骤回采嗣后充填采矿法充填工艺,介绍了充填过程中的技术措施,并提出了进一步改进设想.

关键词: 坪金矿 , 充填采矿法 , 块石胶结充填 , 充填设施

川气送管道内腐蚀调查分析

尹恒 , 董华清 , 原徐杰 , 陈维 , 王方 , 李爱莲

腐蚀与防护

为了调查川气送管道内的腐蚀状况,根据相关标准 NACE SP0110-2010对管道的内腐蚀环境参数进行了调查,并对管道内积水来源、水露点、管道临界角和清管作业进行了主要的分析。结果表明,川气送管道已经发生了内腐蚀。

关键词: 天然气管道 , 内腐蚀 , 水露点 , 管道临界角

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