徐军
,
司继良
,
李红军
,
周国清
,
杭寅
,
邓佩珍
,
梁晓燕
,
冷雨欣
,
陆海鹤
,
林礼煌
,
李儒新
,
徐至展
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.05.041
关键词:
周国清
,
徐军
,
邓佩珍
,
徐科
,
周永宗
,
干福熹
,
朱人元
,
田玉莲
,
蒋建华
,
王洲光
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.008
用温度梯度法(Temperature Gradient Technique,简称温梯法或TGT法),定向籽晶[0001]方向,生长出φ110mm×80mm Al2O3单晶,晶体完整、透明.采用硼酸钠玻璃液作为Al2O3晶体的化学抛光和化学腐蚀剂,观察了晶体不同部位处(0001)、(112-0)晶片的化学腐蚀形貌相,(0001)切片的位错腐蚀坑呈三角形,位错密度为2×103～3×103/cm2;(112-0)切片位错腐蚀坑呈菱形,位错密度为7×103～8×103/cm2;而且等径生长部位的完整性比放肩处高.利用同步辐射X射线白光衍射实验分析了(0001)晶片的(2-021),(11-01)和(112-0)衍射面内的位错组态.确定了两组位错线的Burgers矢量,温梯法生长的Al2O3晶体中的位错主要是刃型位错.
关键词:
Al2O3晶体
,
位错
,
腐蚀
,
衍射衬度
,
温梯法
彭观良
,
李抒智
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
刘世良
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.014
采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.
关键词:
白宝石
,
γ-LiAlO2
,
气相传输平衡
,
GaN
,
衬底
彭观良
,
周圣明
,
周国清
,
李抒智
,
王银珍
,
邹军
,
苏凤莲
,
刘世良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.002
本文采用导向温梯法(TGT)生长[0001]方向的白宝石晶体,利用气相传输平衡(VTE)技术对晶体表面进行处理,发现双面抛光的C面白宝石晶片高温下与富锂(Li2O蒸气)气氛发生反应,表面生成一层γ-LiAlO2,随着VTE反应温度从750℃下降到730℃,γ-LiAlO2晶核的颗粒也随着减小,在730℃时已在1μm以下,经稀盐酸(HCl)腐蚀后形成多孔的表面,此方法有望制备出用于外延GaN的多孔衬底.
关键词:
白宝石
,
温梯法
,
气相传输平衡
,
多孔表面
,
GaN
,
多孔衬底
彭观良
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
刘世良
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.004
由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γ-LiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料.本文首先使用提拉法生长出了尺寸达φ45×50mm3的γ-LiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1-xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征.结果表明LiAl-xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γ-LiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1.
关键词:
晶体生长
,
提拉法
,
γ-LiAlO2
,
LiAl1-xGaxO2
,
掺质
邹军
,
彭观良
,
陈俊华
,
李抒智
,
杨卫桥
,
周国清
,
徐军
,
周圣明
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.024
本文采用导向温度梯度法生长出了透明γ-LiAlO2晶体,借助扫描电镜和X射线粉末衍射系统地研究了温度梯度法生长晶体的工艺过程,坩埚中晶体上部为LiAl5O8和LiAlO2多晶体,中部[100]方向自由结晶形成了单一透明的γ-LiAlO2晶体,下部为钼金属颗粒,蓝宝石籽晶被严重污染;坩埚内分成上、中、下三部分是晶体生长过程中熔体组分中Li2O挥发和腐蚀造成的.
关键词:
铝酸锂
,
导向温度梯度法
,
钼
,
氧化锂
邹军
,
彭观良
,
陈俊华
,
钱晓波
,
李抒智
,
杨卫桥
,
周国清
,
徐军
,
周圣明
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.010
利用温度梯度法生长出了透明的γ-LiAlO2单晶,通过扫描电镜和X射线薄膜衍射分析了不同退火气氛对所切得的(001)晶片表面结构的影响.结果表明:1100℃/70h空气和真空中的退火处理使γ-LiAlO2晶片表层变成LiAl5O8多晶,而同温度富锂气氛退火可以有效地抑制锂的挥发,保持了晶格完整性并且提高了晶体质量.
关键词:
温度梯度法
,
退火
,
γ-LiAlO2
,
VTE
彭观良
,
周国清
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
李抒智
,
杨卫桥
,
周圣明
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.019
本文描述使用温梯法(TGT)生长(1102)方向的白宝石单晶,应用X射线双晶摇摆曲线(XRC)测定了晶体内部的完整性,再利用KOH熔体腐蚀出样品的r面(1102)上的位错蚀坑,借助扫描电子显微镜(SEM)进行观察,发现r面白宝石的位错腐蚀坑呈等腰三角形,并且有台阶状结构,并分析了位错的成因.
关键词:
温梯法
,
r面白宝石
,
位错
,
化学腐蚀
,
腐蚀坑
,
缺陷
彭观良
,
邹军
,
庄漪
,
张涟翰
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.018
由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γ-LiAlO2单晶有望成为一种很有希望的CaN外延衬底材料.本文使用提拉法生长出了尺寸达φ45×50mm3的γ-LiAlO2单晶.对该晶体毛坯的各个有代表性的位置作了X射线粉末衍射(XRPD)分析,结果表明仅仅在晶体毛坯的底部生成了一种缺锂相(LiAl5O8).γ-LiAlO2晶体化学稳定性差,在室温时轻微水解.当在空气中于1100℃退火70h,γ-LiAlO2晶体挥发出锂组分,在表面产生缺锂相(LiAl5O8).值得注意的是,在γ-LiAlO2晶体的红外光谱区不存在氢氧根吸收带.
关键词:
晶体生长
,
提拉法
,
γ-LiAlO2
,
外延
,
GaN
,
衬底
,
红外
徐军
,
周国清
,
邓佩珍
,
司继良
,
钱小波
,
周永宗
,
王银珍
,
周圣明
,
朱人元
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.05.013
温度梯度法(TGT)生长的Al2O3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,晶体在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(φ110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即"两步法"退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.
关键词:
Al2O3晶体
,
去色
,
脱碳
,
退火
