潘伦桃
,
李彬
,
郑爱国
,
吕建波
,
李海军
,
王秋迎
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.005
介绍了在硅基片上用钽溅射靶溅射沉积和用钽的化合物气相化学沉积钽基膜(金属钽、碳化钽、氮化钽、硅化钽、氮化硅化钽、氮化碳化钽)作为集成电路中防止铜向基片硅中扩散的阻挡层, 介绍了钽溅射靶的技术要求, 加工方法以及化学气相沉积钽基薄膜的方法.
关键词:
钽
,
阻挡层
,
钽溅射靶
,
化学气相沉积
吕建波
电镀与涂饰
从氧的光化学能态方面分析了紫外光固化涂料的氧阻聚机理,详细讨论了抑制紫外光固化涂料氧阻聚的方法,包括开发阳离子聚合机理的反应体系,提高引发剂浓度或增加辐射剂量,使用对氧敏感度低的预聚物和单体,在光固化体系中加入氧清除剂,以及采用惰性气体保护法、石蜡保护法,覆膜法、强光辐照法和分步照射法等光固化工艺.
关键词:
涂料
,
紫外光固化
,
氧阻聚
吕建波
影像科学与光化学
本文以改性聚氨酯丙烯酸酯为主体,制备了一种PET光学膜用透明硬涂层材料.讨论了光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂等因素对PET光学膜加硬后的硬度、耐磨性、附着力等性能的影响,并从反应机理方面分析探讨了实验结果.经测试:实验制备的涂层硬度5H,附着力100％,经RCA纸带耐磨擦试(500 g,1000 cycles),PET膜可见光透过率无损失,同时具有低表面张力,出色的柔韧性和良好的耐化学品性.
关键词:
PET光学膜
,
加硬
,
耐磨涂层
,
紫外光固化
