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a-C∶H膜在不同真空度下的摩擦学行为研究

采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip（111）基体上制备了含氢无定形碳（a-C∶H）薄膜,沉积的薄膜表面光滑,硬度高,内应力小,膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度（1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×10-3 Pa）下的摩擦学行为进行了研究,结果表明,随...

关键词: 磁控溅射 , a-C∶H膜 , 真空度 , 摩擦学性能

N2流量对中频非平衡磁控溅射TiAlN薄膜结构及性能的影响

吴劲峰 , 何乃如 , 邱孟柯 , 吉利 , 李红轩 , 黄小鹏

功能材料

采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查.结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/...

关键词: 磁控溅射 , TiAlN薄膜 , N2流量 , 微观结构 , 硬度

退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响

王永霞 , 冶银平 , 李红轩 , 吉利 , 陈建敏 , 周惠娣

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00209

为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响, 将a-C:H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱、3D表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H膜的结构、组成和性能进行了系统地考察. 研究发现, 在较低的退火温度下(300℃), a-C...

关键词: a-CH膜 , annealing temperature , structure , tribologicalproperty

多元碳基薄膜中自形成纳米多层结构的研究进展?

王伟奇 , 吉利 , 宋惠 , 李红轩 , 周惠娣 , 陈建敏

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.015.002

碳基薄膜作为一种新型的固体润滑材料其结构设计与调控一直是研究的重点与热点。近年来，在利用物理气相沉积法制备金属-碳多元薄膜时发现原位自形成纳米多层结构的奇特现象，研究表明在薄膜中形成纳米多层结构，可以很好地从微观尺度上增强薄膜材料的机械与摩擦学性能，从而利用纳米多层结构的自形成特性使润滑材料实现强韧...

关键词: 自形成 , 纳米多层 , 碳基薄膜

溅射电流对磁控溅射CrNx薄膜结构与性能的影响

孔庆花 , 吉利 , 李红轩 , 刘晓红 , 陈建敏 , 周惠娣

功能材料

采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢以及单晶硅基体上制备了CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、能量色散X射线能谱仪(EDS)和纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明,随着溅射电流的增大,薄膜中N/Cr比值减小,相组成由CrN(200)向Cr2N(111)转变...

关键词: 氮化铬薄膜 , 磁控溅射 , 溅射电流 , 微结构 , 硬度

退火温度对a-C:H膜结构及摩擦学性能的影响

王永霞 , 冶银平 , 李红轩 , 吉利 , 陈建敏 , 周惠娣

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00209

为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C∶H)膜结构和性能的影响,将a-C∶H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱、3D表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C∶H膜的结构、组成和性能进行了系统地考察.研究发现,在较低的退火温度下(300℃),a-C∶H膜结...

关键词: a-C:H膜 , 退火温度 , 结构 , 摩擦学性能

Ti、Cr元素在Cr2O3薄膜中的扩散及其对摩擦学性能的影响

何乃如 , 王飞飞 , 吉利 , 李红轩 , 陈建敏

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.06.010

为了研究Ti和Cr元素在Cr2O3薄膜中的扩散行为及其对摩擦学性能的影响,对Cr2O3薄膜在l 000℃大气环境下进行不同保温时间的退火处理.利用扫描电子显微镜、三维轮廓仪、X射线衍射仪以及透射电镜对薄膜的表面形貌、成分以及结构进行分析,采用球盘式摩擦磨损试验机对Cr2O3薄膜的摩擦学性能进行研究....

关键词: Cr2O3薄膜 , 元素扩散 , 类网状凸起结构 , 摩擦与磨损