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氧化铟薄膜制备及其特性研究

原子健 , 朱夏明 , 王雄 , 张莹莹 , 万正芬 , 邱东江 , 吴惠桢 , 杜滨阳

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00141

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜, 通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应, 研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性. 实验发现, 氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大. X射线衍射结果表明薄膜为立方结构的多晶体, 并且随着生长温度的升高, 可以看到氧化铟薄膜的晶粒变大以及半高宽减小, 这也说明结晶质量的改善. 在可见光范围的透射率超过90%. 同时, 在氩气氛围下制备的薄膜迁移率最大, 其电阻率、霍尔迁移率和电子浓度分别达到了0.31Ω·cm、9.69cm2/(V·s)和1 ×1018cm-3. 退火处理可以改善氩氧氛围下制备的薄膜的电学性能.

关键词: 氧化铟 , RF magnetron sputtering , surface morphology , XRD , electrical properties

氧化铟薄膜制备及其特性研究

原子健 , 朱夏明 , 王雄 , 张莹莹 , 万正芬 , 邱东江 , 吴惠桢 , 杜滨阳

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00141

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射线衍射结果表明薄膜为立方结构的多晶体,并且随着生长温度的升高,可以看到氧化铟薄膜的晶粒变大以及半高宽减小,这也说明结晶质量的改善.在可见光范围的透射率超过90%.同时,在氩气氛围下制备的薄膜迁移率最大,其电阻率、霍尔迁移率和电子浓度分别达到了0.31Ω·cm、9.69cm~3/(V·s)和1×10~(18)cm~(-3).退火处理可以改善氩氧氛围下制备的薄膜的电学性能.

关键词: 氧化铟 , 射频磁控溅射 , 表面形貌 , X射线衍射 , 电学特性

磁控溅射气体参数对氧化铟薄膜特性的影响

才玺坤 , 原子健 , 朱夏明 , 张兵坡 , 邱东江 , 吴惠桢

人工晶体学报

采用射频磁控溅射法生长氧化铟薄膜,研究了溅射气压和溅射气体对氧化铟薄膜结构及光电特性的影响.X射线衍射结果表明制得的薄膜为立方结构的多晶体,随着溅射气压的升高,薄膜晶粒尺寸变大.1 Pa下沉积的氧化铟薄膜具有最大的迁移率和最小的载流子浓度,分别为15.2 cm2/V·s和1.19×1019cm-3.用O2溅射的氧化铟薄膜载流子浓度降至4.39×1013cm-3,在红外区(1.5~5.5μm)的平均透射率为85%,高于Ar溅射的薄膜,这可能是由于O2的加入减少了氧空位,降低了载流子浓度,使得自由载流子对红外光的吸收减弱.

关键词: In2O3 , 磁控溅射 , 溅射气压 , 电学特性 , 氧空位

原子吸收法简介(Ⅰ)

丘星初 , 丘山 , 丘圣 , 储荣邦

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2012.02.009

叙述了原子吸收光谱分析法在电镀工业园区分析中的应用.简要介绍了原子吸收光谱分析的基本原理和原子吸收分光光度计的构造及其功能;着重介绍了原子吸收法中仪器最佳操作条件的选择,包括吸收波长、灯电流、预热时间、狭缝宽度、火焰性质、观测高度、燃烧器角度及试液提升量等,以便分析工作者根据仪器型号的不同进行优选.最后还介绍了仪器的日常使用与维护,及一般故障的排除方法.可供电镀工业园区实验室化验员参政.

关键词: 原子吸收光谱分析法 , 电镀分析应用 , 仪器使用与维护

原子介质诱导的纠缠

张彩云 , 李虎

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.03.003

提出了一个利用原子介质在光机械系统中产生纠缠的方案.研究结果表明,当腔场和原子介质间的耦合系数取合适值时,腔场和动镜,镜子与原子,以及腔场和原子之间都是纠缠的.此外,考虑了腔场耗散效应,并给出用“logarithmic negativity”去度量系统纠缠的数值解.

关键词: 量子光学 , 光机械系统 , 原子介质 , 哈密顿 , 纠缠

原子与双原子分子的碰撞反应

丁世良 , 孔涛 , 董顺乐

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2002.z1.010

一个原子与宁一个同核双原子分子反应碰撞的过渡态构型是线型的, 计算了平衡临界键长的统计分布函数及其平均值、反应活化能和反应速率常数, 理论结果与实验值相符.

关键词: 过渡态 , 统计平均 , 临界键长

晶格原子光学及其应用

恽旻 , 印建平

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.01.002

首先介绍了近年来发展起来的晶格原子光学,包括冷原子光学晶格、磁晶格和磁光晶格,并报道了国内一些小组研究磁晶格和磁光晶格的一些新结果.其次,简单综述了光学晶格中原子动力学、玻色-爱因斯坦凝聚(BEC)和量子态的相干传输与控制等晶格原子光学研究的最新进展.最后,介绍了冷原子光学晶格、磁晶格和磁光晶格在光子晶体制备等方面的潜在应用.

关键词: 量子光学 , 原子光学 , 光学晶格 , 原子 , 磁晶格 , 磁光晶格 , 玻色-爱因斯坦凝聚

原子吸收法简介(Ⅱ)(续完)

丘星初 , 丘山 , 丘圣 , 储荣邦

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2012.03.010

叙述了原子吸收光谱分析法在电镀工业园区分析中的应用.简要介绍了原子吸收光谱分析的基本原理和原子吸收分光光度计的构造及其功能;着重介绍了原子吸收法中仪器最佳操作条件的选择,包括吸收波长、灯电流、预热时间、狭缝宽度、火焰性质、观测高度、燃烧器角度及试液提升量等,以便分析工作者根据仪器型号的不同进行优选.最后还介绍了仪器的日常使用与维护,及一般故障的排除方法.可供电镀工业园区实验室化验员参考.

关键词: 原子吸收光谱分析法 , 电镀分析应用 , 仪器使用与维护

中性原子的磁导引及其应用

刘南春 , 印建平

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.05.001

本文综述了采用载流导线或永久磁管等实现中性原子磁导引的原理、方法及其最新进展,并简单介绍了原子磁导引技术在原子光学和玻色-爱因斯坦凝聚(BEC)实验以及各种原子光学器件研制等方面的应用.

关键词: 中性原子 , 磁导引 , 原子光学 , 原子光学器件

光腔中原子的定位

程桂平 , 方立铭 , 刘冬梅

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.05.005

研究了置于一个驻波光腔中的二能级原子的定位情况,发现通过利用测量场正交分量的方法可以很好地定位单个原子的位置.在腔中放入两个二能级原子,根据瑞利极限条件可知若置于腔中的两个原子距离太近,很难区分出这两个原子.但同样地利用测量场的正交分量方法后仍然可以很好地分辨出这两个距离很近的原子.然而若考虑腔场的损耗时,腔损耗将会损害两原子之间的相对定位.并且随着腔的衰减系数增大,两原子之间相对定位情况也越差.

关键词: 量子光学 , 原子定位 , 场的正交分量 , 驻波光腔 , 二能级原子

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