刘海鹰
,
刁训刚
,
王丽玲
,
杨盟
,
武哲
,
舒远杰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.002
利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜.利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化.结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150 ℃大气下热处理30 min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5 W/□增加至18 W/□,红外发射率由0.17增加到0.69.AgCu合金薄膜性质未发生明显变化.方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250 ℃大气下热处理40 min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加.
关键词:
TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜
,
低红外发射率
,
磁控溅射
陈顺利
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刁训刚
,
杨盟
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刘海鹰
,
王天民
功能材料
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2和TiO2-xNx薄膜样品,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及UV-Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能.结果表明制备的薄膜为锐钛矿相结构.随着N2/Ar气流比的增大薄膜样品出现新的物相,吸收光谱向可见光方向展宽,在N2/Ar流量比为3:100时,制备的薄膜在可见光区具有很好的光催化性能.
关键词:
掺氮TiO2薄膜
,
光催化
,
磁控溅射
杨盟
,
刁训刚
,
刘海鹰
,
武哲
,
舒远杰
功能材料
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,分别采用两种方法对薄膜进行氮化处理,即:(1)利用氩气溅射在室温下制备薄膜,随后在氮气和氨气气氛下对薄膜进行热处理;(2)利用氩气/氮气共溅射成膜.利用X射线衍射、霍尔效应、UV-vis-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,对比研究了两种氮化处理方法对ITO薄膜光电特性的影响.结果发现对于低温生长的薄膜,两种方法均能明显提高其在可见光区的透过率.氩气/氮气共溅射的方法会降低薄膜的结晶程度,降低载流子浓度,但使得其紫外/可见/近红外光谱发生明显红移;而热处理方法则能增加薄膜的结晶程度,提高其导电能力.
关键词:
射频磁控溅射
,
氨气和氮气气氛下热处理
,
氮气共溅射
,
ITO薄膜
杨盟
,
刁训刚
,
孙裔
,
刘海鹰
,
武哲
,
舒远杰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.022
利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜,将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构,最终得到吸波能力较强的透明吸波体.该吸波体在Ku带(12～18GHz)范围波段衰减低于-10dB,峰值超过-20dB,且在可见光区透光率达到68%.
关键词:
直流磁控溅射
,
ITO薄膜
,
透明吸波体
冯兰
,
刁训刚
,
王涛
,
刘海鹰
,
康明生
功能材料
利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜.研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍射谱及薄膜表面形貌的影响.结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜具有(002)择优取向,当靶偏角为23°时,薄膜方块电阻最低,可达17Ω/□,电阻率为2.2×10-3Ω·cm,可见光平均透过率在85%以上,最高可在95%以上.紫外截止和近红外反射效果明显.
关键词:
ZnO:Al薄膜
,
透明导电薄膜
,
共溅射
,
倾斜溅射
杨盟
,
刁训刚
,
刘海鹰
,
王天民
稀有金属材料与工程
利用射频磁控溅射在室温玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,并分别在氨气、氮气和空气气氛下对薄膜进行了热处理.利用X射线衍射、霍尔效应、UV-VIS-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了不同热处理气氛及温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果发现在不同气氛下热处理均能明显提高ITO薄膜在可见光区的透过率,氨气气氛下更有利于薄膜导电特性的改善.
关键词:
射频磁控溅射
,
氨气和氮气气氛
,
热处理
,
ITO薄膜
白晶
,
孙扬善
,
薛烽
,
薛山
,
强婧
,
陶卫健
,
刘海峰
金属学报
陶卫健, 刘海峰//金属学报.—2006；42(12).12671273
系统研究了Mg-6Al-2Sr和Mg-6Al-(1-2)Sr-1Ca合金在水冷模铸造和压铸态下的显微组织、力学及蠕变性能. Mg-6Al-2Sr合金的铸态组织由-Mg和沿枝晶界分布呈片状的-Mg+Al4Sr共晶相组成. 在Mg-6Al-2Sr基础上加入少量的Ca, 合金中的Al4Sr被Mg2Ca取代, 且出现了Mg-Al-Sr三元中间相, 合金的抗蠕变性能显著提高. 对蠕变后试样进行的扫描电镜观察表明, Mg-6Al合金中添加Sr和Ca后形成的中间相均具有很高的热稳定性. Mg-6Al-2Sr合金蠕变后的试样中出现了-Mg17Al12相的非连续析出; 而采用Sr和Ca复合合金化的试样显微组织在蠕变后无明显变化, 也未析出相, 因而显著地提高了合金的抗蠕变性能. 与水冷模铸造试样相比, 压铸试样具有更细的显微组织和更高的室温与高温力学性能, 但抗蠕变性能略低.
关键词:
Mg-Al-(Sr
,
strontium
,
calcium
,
die cast
