刘效岩
,
刘玉岭
,
梁艳
,
胡轶
,
刘海晓
,
李晖
稀有金属材料与工程
在低压无磨料条件下,利用碱性FA/O型螯合剂具有极强螫合能力的特性,对铜互连线进行化学机械平坦化,获得了高抛光速率和表面一致性.提出了铜表面低压无磨料抛光技术的平坦化原理,在分析了抛光液化学组分与铜化学反应机理的基础上,对抛光液中的主要成分FA/O型螯合剂、氧化剂的配比和抛光工艺参数压力、抛光机转速进行了研究.结果表明:在压力为6.34 kPa和抛光机转速为60 r/min时,抛光液中添加5％螯合剂与1％氧化剂(体积分数,下同),抛光速率为1825 nm/min,表面非均匀性为0.15.
关键词:
铜互连线
,
无磨料
,
低压
,
FA/O型螫合剂
,
化学机械平坦化
无
材料科学与工程学报
本刊2012年第五期第801页刊登了熊晓英等作者的论文,这是本刊编辑部自创刊以来收到的第一篇这样的论文,该文对本刊在材料科学期刊中所处的地位及面临问题、发展方向作出如此客观、中肯的评价与指引,均使编辑部成员十分感动。今年恰是本刊创刊30周年纪念,谨以此《编后记》供奉广大读者,
关键词:
科学评价
,
论文
,
作者
,
务实
,
科学期刊
,
编辑部
,
创刊
阳祥
,
丁鹏
,
李增耀
,
陶文铨
工程热物理学报
本文用正交分解(POD)方法对径向旋转方通道内直接数值模拟得到的湍流数据进行处理得到了湍流大尺度结构和POD模态的能量分布.对于不同的工况,文中均采用了200个具有相同时间间隔的湍流瞬时主流速度场作为样本.为研究浮升力对湍流大尺度结构的影响及POD模态的能量分布,对四个不同格拉晓芙数GrT下的主流速度场进行了POD处理和分析.结果表明:湍流大尺度结构主要集中在通道的非稳定壁面(y=0)附近和侧壁面附近,随着格拉晓芙数的增加湍动能分布于更多的模态中.
关键词:
湍流
,
浮升力
,
大尺度信息
,
正交分解
,
模态
中国腐蚀与防护学报
＄lP海水腐蚀导致铜镍合金的沿晶析出…………………………………………………………… .林乐耘 刘少峰 朱,]、龙门）阵列电极法测量聚合物/金属界面电位分布……………………… ..林昌健 卓向东 陈纪东 王 辉（7）叫义钢管桩阴极保护时的电位分布…………………… 邱 枫 徐乃欣卜）钠筋在混凝土模拟液中腐蚀行为的＊IS特证… ,……….刘晓敏 史志明 林海潮 宋光铃 曹楚南（19）磁场和 C厂对铁在中性 Na:SOa溶液中阳极极化行为?...
关键词:
彭晓
腐蚀学报（英文）
若干金属体系的氧化及内氧化的微观结构与机制研究彭晓(中国科学院金属腐蚀与防护研究所九五届博士研究生,沈阳110015)采用OM、SEM/EDS、TEM及HREM等手段观测金属氧化膜或内氧化层,对研究体系的氧化及内氧化的微观机制进行了详细探讨。在金属氧化方面,主要研究活性元素对金属氧化行为的影。研究的体系及主要结果如下。(1)Ni-La2O3复合镀层的氧化。用La2O3随Ni共电沉积的方法,制备了Ni-La2O3型复合镀层。通过对该复合镀层的微观?...
关键词:
石科峰
,
刘捷
,
卢文强
工程热物理学报
针对多组元化合物晶体的Bridgman生长过程,通过对液相区流场和浓度场的数值模拟,研究生长过程中容器内部双扩散对流与组分分布的情况.首先对比了三段场和梯度场炉壁温度设计情况下液相区的流体双扩散对流以及组分分布情况.在此基础上,针对梯度场炉壁温度条件,分析了不同参数的影响.结果表明:在溶质格拉晓夫数较大时,它的增大能够明显地削弱液相区的流体流动,从而使得界面附近的组分分布也产生变化;此外,拉晶速度的增大也能够使得液相区的双扩散对流受到抑制.
关键词:
Bridgman法
,
多组元化合物晶体
,
双扩散对流
腐蚀学报（英文）
化学镀镍研讨班在京举办中国腐蚀与防护学会咨询工作委员会于93年12月7日至14日在北京科技大学举办了全国化学镀镍技术研讨班.来自全国25个单位近30人参加了研讨班.研讨班学员大多来自从事化学镀镍的厂矿企业.中科院金属研究所姜晓霞研究员,机电部武汉材保所沈伟高级工程师,北京科技大学杨德钧教授,孙冬柏博士分别就化学镀镍工艺的原理、特点、应用、设备以及质量控制、三废处理等广大工程技术人员所关心的主题进行了系统,全面?...
关键词:
