李铸国
,
俞海良
,
吴毅雄
,
三宅正司
金属学报
利用诱导型等离子体辅助双靶磁控溅射法在Si(100)基板表面沉积Cu含量(原子分数)为0—10.0% 的Ti-Cu-N膜, 研究了Cu含量对薄膜结构及硬度的影响. 结果表明, 添加少量Cu可极大地提高薄膜硬度. Cu含量为2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性, 硬度HV达到42, 约为纯TiN薄膜硬度的2倍. 超硬质Ti-Cu-N薄膜为nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜, 具有柱状晶结构. 薄膜的超硬特性源于薄膜的纳米复合结构.
关键词:
磁控溅射
,
ion irradiation
,
nanocomposite film
,
hardness
杨尚磊
,
吕学勤
,
俞海良
,
楼松年
,
邹增大
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2004.12.004
碳化钛的形成依赖于钛、钒等强碳化物形成元素,高温电弧冶金反应时钛、钒能够直接与碳化合生成TiC和VC.用扫描电镜(SEM)、电子探针(EMPA)对TiC-VC形态及分布进行了研究,探讨了TiC-VC形成的机理.结果表明:TiC-VC主要在熔滴反应阶段生成并形核,熔池反应阶段聚集长大并在熔渣和熔敷金属界面发生扩散.TiC-VC的形成固定了大量碳元素,避免了结晶和相变过程中二次碳化物沿晶界网状析出.
关键词:
TiC-VC
,
电弧冶金
,
堆焊
王迎春
,
李延民
,
丁建君
,
俞海良
,
李建国
,
周尧和
功能材料
脉冲激光沉积法制备HAP生物陶瓷涂层是近年来发展的制备生物陶瓷涂层的一个十分活跃的研究领域.本文简要介绍了它的研究背景、原理与特点,并对其四个研究方向-溅射机理,沉积条件与涂层质量的关系,脉冲激光沉积新工艺,HAP涂层的生理功能的研究现状进行了概括与总结.
关键词:
脉冲激光沉积
,
生物陶瓷涂层
,
溅射机理
,
沉积条件
,
生物相容性
李铸国
,
俞海良
,
吴毅雄
,
三宅正司
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2006.09.019
利用诱导型等离子体辅助双靶磁控溅射法在Si(100)基板表面沉积Cu含量(原子分数)为0-10.0%的Ti-Cu-N膜,研究了Cu含量对薄膜结构及硬度的影响.结果表明,添加少量Cu可极大地提高薄膜硬度.Cu含量为2.0%的Ti-Cu-N薄膜具有超硬特性,硬度HV达到42,约为纯TiN薄膜硬度的2倍.超硬质Ti-Cu-N薄膜为nc-TiN/nc-Cu纳米复合薄膜,具有柱状晶结构.薄膜的超硬特性源于薄膜的纳米复合结构.
关键词:
磁控溅射
,
离子照射
,
纳米复合膜
,
硬度
程军
,
杨学明
,
杨晓勇
,
王昌燧
,
王巨宽
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2000.04.001
本文利用ICP-MS对新石器时代良渚文化瑶山遗址出土的古玉器进行了稀土元素分析,并与产于新疆和阗玉石矿的软玉进行了对比.结果表明,瑶山古玉器的稀土元素配分型式、特征比值均明显不同于和阗玉,说明良渚文化玉器的玉石应选自当地,这与李约瑟[1]教授认为中国古玉器都源于新疆和阗的论点不同.
关键词:
良渚玉器
,
ICP-MS
,
稀土元素(REE)
,
产地分析
洪乃丰
腐蚀与防护
"海砂屋"是使用了不合格海砂作为混凝土砂料的建筑物.在地震灾害中,"海砂屋"可能造成严重的后果.须引起重视并加强管理.
关键词:
刘伟
,
谢友均
,
董必钦
,
邢锋
硅酸盐通报
受河床生态环境保护的需要,可供应的建筑用河砂资源日益匮乏,海底砂已经成为我国部分沿海城市建筑用砂的重要来源.分别采用淡化海砂、原状海砂和河砂,对比分析了海砂特性及海砂混凝土的力学性能.试验研究表明,珠江口海砂及盐田海砂均属于级配良好的混凝土细集料,海砂中所含的氯离子和少量的贝壳并不影响混凝土的工作性、抗压强度、抗折强度及弹性模量,不考虑氯离子对混凝土钢筋的腐蚀时,原状海砂均也可等同于河砂使用.
关键词:
海砂
,
混凝土
,
强度
,
弹性模量
刘晓伟
,
郭会斌
,
李梁梁
,
郭总杰
,
郝昭慧
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0548
纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方法在不同温度下沉积纯铝薄膜作为薄膜晶体管的栅极,并通过电学检测、扫描电子显微镜和应力测试等方法对不同温度下沉积的纯铝薄膜的小丘生长情况进行了研究.实验结果表明:纯铝成膜温度提高,薄膜的晶粒尺寸增大,退火后产生小丘的密度和尺寸明显降低,温度应力曲线中屈服点温度也相应提高.量产中适当提高成膜温度,可以有效抑制小丘的发生,提高TFT阵列工艺的量产良率.
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
磁控溅射
,
纯铝薄膜
,
小丘
,
量产良率
