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氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响

任瑛 , 张贵锋 , 侯晓多 , 姜辛

机械工程材料

采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氢气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力.结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力,并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势;当氩气体积分数为98%时,即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54 nm、均方根粗糙度约为14.7 nm的纳米金刚石膜.

关键词: 纳米金刚石膜 , 热丝化学气相沉积 , 氩气浓度

类金刚石薄膜残余应力的研究进展

张婷 , 何娟 , 任瑛 , 邹文俊

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.01.014

类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落.这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效.因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要.介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进展进行综述.使用有限元分析法模拟薄膜的残余应力可为类金刚石薄膜的制备和工艺设计提供参考.

关键词: DLC薄膜 , 残余应力 , 有限元分析法

全面推进钢结构任宅产业化

薛发

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2004.03.008

关键词:

中国生物材料学会成立张兴栋院士任理事长

中国材料进展

2012年4月6日上午，中国生物材料学会成立大会暨第一届理事会在北京航空航天大学召开。这个新的一级学会的成立标志着我国生物材料学科和产业发展的一个新的里程碑。

关键词: 材料学会 , 生物 , 中国 , 理事长 , 北京航空航天大学 , 院士 , 材料学科 , 理事会

任学平:一路探索,一路撒播,一路收获

娄奥 , 叶楠

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2017.01.01

关键词:

一本用理论指导实践,具有创新和特色的著作评王承遇、陶瑛撰写的<玻璃表面装饰>

徐季陶

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.02.019

关键词:

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材料保护

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