王俊玲
,
代海洋
材料保护
制备参数对类金刚石(DLC)薄膜的性能和结构有显著影响.利用中频脉冲非平衡磁控溅射新技术制备了DLC薄膜,采用Raman光谱、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、光谱型椭偏仪研究了溅射电压对DLC薄膜微观结构、力学性能和光学性能的影响.结果表明:当溅射电压由550 V增加到750 V时,DLC薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而增加,当溅射电压超过750 V时,薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而减少;DLC薄膜的纳米硬度、折射率均随溅射电压的增加先增加而后减小,溅射电压为750 V时制备薄膜的纳米硬度及折射率最大.
关键词:
类金刚石膜
,
中频脉冲非平衡磁控溅射
,
溅射电压
,
膜结构
,
膜性能
代海洋
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陈镇平
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程学瑞
,
翟凤潇
,
苏玉玲
功能材料
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.
关键词:
类金刚石薄膜
,
辅助气体组成
,
中频脉冲非平衡磁控溅射技术
,
结构
,
性能
秦洪花
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赵霞
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李汉清
,
张卓群
,
王云飞
涂料工业
通过对全球海洋涂料专利信息的检索,分析研究了海洋涂料总体技术发展趋势、全球专利市场布局、专利技术国家分布、重点及热点技术领域,重点对创新机构的专利申请特点、创新机构的研发领域及研发能力等进行介绍,以期帮助企业增强知识产权意识,了解海洋涂料产业发展的趋势和主要竞争对手专利申请情况,为技术合作及人才交流提供依据和参考.
关键词:
海洋涂料
,
专利分析