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低压下碱性铜抛光液对300mm多层铜布线平坦化的研究

, 刘玉岭 , 王辰 , , 魏文浩 , 岳红维 , 曹冠龙

功能材料

随着微电子技术进一步发展,低k介质的引入使得铜的化学机械平坦化(CMP)须在低压下进行。提出了一种新型碱性铜抛光液,其不含常用的腐蚀抑制剂,并研究了其在低压下抛光及平坦化性能。静态条件下,铜的腐蚀速率较低仅为2nm/min。在低压10.34kPa时,铜的平均去除速率可达633.3nm/min,片内非均匀性(WIWNU)为2.44%。平坦化效率较高,8层铜布线平坦化结果表明,60s即可消去约794.6nm的高低差,且抛光后表面粗糙度低(0.178nm),表面状态好,结果表明此抛光液可用于多层铜布线的平坦化。

关键词: 低压 , 碱性 , 铜布线化学机械平坦化 , 高低差 , 速率

基于图像处理的扰消除方法

李清蓉 , 夏军

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132803.0413

提出一种基于图像处理的消除扰方法,该方法在不对器件本身作任何改动的前提下,通过对显示图像内容进行预处理来消除三维图像中的扰.通过matlab测试和生成不同扰等级的图片,运用该方法对这些具有不同扰等级的图片进行算法的仿真和验证.同时采用主观实验,对具有不同等级的扰图片和相应的扰消除图片进行比较与评估,验证了消除扰方法的有效性.

关键词: 扰消除 , 主观实验 , 图片质量

2011年度何梁何基金获奖科学家年轻化突出

中国材料进展

2011年8日下午,何梁何基金2011年度颁奖大会在京举行。我国高性能计算机领域杰出科学家、国防科技大学杨学军教授荣获“科学与技术成就奖”,丁岳等35人获“科学与技术进步奖”,吴朝晖等15人获“科学与技术创新奖”。中共中央政治局委员、国务委员刘延东向大会发来贺信,全国人大常委会副委员长桑国卫、全国政协副主席万钢出席会议并为获奖代表颁奖。何梁何基金评选委员会主任朱丽兰向大会作工作报告。

关键词: 科学家 , 基金 , 中共中央政治局 , 全国人大常委会 , 突出 , 国防科技大学 , 计算机领域 , 科学与技术

作波分复用AWG同频扰的相关特性及理论研究

丁么明 , 鲁德初 , 张国平

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.05.013

本文讨论了光信号在阵列波导光栅(AWG)中同频光电流扰的自相关函数,从理论上探讨了同频扰的自相关系数,研究了相关系数与同频扰引起延时的关系,及同频扰噪声功率和扰的极化方向的关系,得到了相关系数RF与AWG延时时间T、记录值n之间的关系曲线.数值计算表明:扰延时使AWG的传输信号存在负相关、弱相关、正相关,其扰延时对记录长度的影响呈周期性变化.

关键词: 阵列波导光栅 , 同频 , 相关系数 , 延时

结合图像内容的立体显示灰阶扰量化方法研究

夏振平 , 李晓华

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153006.1040

为了更直接地评价和比较立体显示中的扰现象,结合图像内容对灰阶扰进行了单一数值量化。提出的平均灰阶转换概念,选取了多幅具有代表性的立体图像,并对立体显示图像中每一灰阶转换组合出现的概率进行了统计,得到的平均灰阶转换也是以矩阵的形式出现。灰阶扰单一数值量化就是利用平均灰阶转换矩阵对灰阶扰矩阵进行加权平均,加权平均后的扰矩阵中所有值相加得到单一的扰评价值。提出的灰阶扰单一数值量化方法充分考虑了图像内容的影响,得到的灰阶扰单一数值评价结果更加客观、准确。同时,研究结果对扰现象的优化以及视觉舒适度的提高具有指导和推动作用。

关键词: 立体显示 , 灰阶 , 单一数值量化 , 平均灰阶转换

多组份稀土体系级萃取分离理论级数计算公式

丁永权 , 喻民 , 刘正平 , 陈立红

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2003.03.003

对多组份级萃取理论级数计算公式进行了研究,并推导出多组份级萃取理论级数计算公式.在多组份的组份数减少到两组份时,级数计算公式可还原成两组份级数计算公式,说明本文推导出的多组份级萃取理论级数计算公式是正确的.

关键词: 稀土 , 多组份分离 , 级数计算 , 平均分离因素

AWG作光路分插复用器扰对信道数的影响

丁么明 , 张国平

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.04.015

研究了阵列波导路由器作光路分插复用器(OADM)扰的影响,其路由器含有m个上路/下路信道和n个传输信道.理论分析表明:随着上路/下路信道m和传输信道n的增加,扰使OADM的信噪比QCT成非线性下降.由于在阵列波导路由器中存在扰,限制了基于OADM的网络复用信道数.

关键词: 光路分插复用器 , , 信噪比 , 信道

高斯脉冲在光纤中运行时的热折射噪声分析

万珍珠 , 吴世臣 , 刘中柱

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2007.03.020

当高斯脉冲在光纤中运行时,脉冲功率耗散使光纤温度上升,引起光纤折射率变化,结果产生热折射噪声.在利用光孤子存储环探测引力红移时,热折射噪声会影响光孤子的运行时间,这种影响可以由研究高斯脉冲给出.在光纤一维热传导方程的基础上,计算出了光纤温度涨落的上限,并确定了脉冲总运行时间的上限跟脉冲比特率的关系.通过该关系,人们可以根据运行时间的变化和测量装置灵敏度的要求来选择合适的脉冲的比特率,从而对设计使用光孤子存储环之类的脉冲的装置提供帮助,为光孤子存储环探测引力红移提供参考依据.

关键词: 非线性光纤光学 , 热折射噪声 , 脉冲耗散 , 高斯脉冲

基于视觉显著性的立体显示灰阶扰量化

夏振平 , 程成

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173201.0062

为了更为合理地评价立体显示系统中的扰现象,对传统灰阶扰进行了加权并进一步单一数值量化。研究选取了大量涵盖各种类型和场景的立体图像,对每一灰阶转换组合出现的概率进行统计,同时提取立体图像视觉显著性,提出了平均灰阶转换显著性的概念。平均灰阶转换显著性以矩阵形式呈现,应用其对传统灰阶扰矩阵加权后可获得更为合理的灰阶扰。加权后的灰阶扰矩阵求和后即可获得数值范围在0%~100%的单一数值扰。提出的加权灰阶扰及其数值单一化方法充分考虑了图像内容和人眼视觉关注机理的影响,得到的评价结果更加客观、合理。同时,研究结果对扰现象的优化以及视觉舒适度的提高具有指导和推动作用。

关键词: 立体显示 , 视觉显著性 , 灰阶 , 单一数值量化 , 测量评价

基于磁光晶体的光纤电流传感器磁扰效应研究

刘再旺 , 杨丽君 , 尉长江 , 钦明亮 , 王来龙

人工晶体学报

对光学电流传感器测量电流时存在的相邻导线磁扰问题进行了研究,提出了一种利用传感头的摆放位置和角度来消除磁扰对电流测量影响的方法.通过理论分析给出了磁扰的大小与两导线间距以及传感头与主导线的距离和夹角之间的定量关系,从而确定测量条件下的传感头的最佳摆放方案,并以此为依据进行了相应的实验测量和分析,结果表明当传感头处于最佳摆放位置时较好的消除了相邻导线磁扰的影响,提高了光学电流传感器的测量精度.

关键词: 磁光晶体 , 光纤电流传感器 , , 较佳摆放位置

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